一种蒸镀机的掩膜板基台和蒸镀机制造技术

本实用新型专利技术实施例公开了一种蒸镀机的掩膜板基台和蒸镀机。该蒸镀机的掩膜板基台包括：控制单元；中空区域；边框区域，边框区域围绕中空区域设置，用于承托掩膜板的边沿，边框区域包括：至少一个升降装置，升降装置包括：开孔，开孔设置于边框区域与掩膜板的边沿的接触面；升降支撑单元，升降支撑单元至少部分容置于开孔内；升降动作模块，升降动作模块连接升降支撑单元，升降动作模块的被控端连接控制单元。本实用新型专利技术实施例通过升降装置的调节，减小掩膜板与位于掩膜板上方的基板边缘间的缝隙，使得掩膜板与基板平整贴合。因此大大减小了掩膜板的开孔和基板待蒸镀区域的偏移量。大大降低了量产产能的浪费和有机材料的浪费。大降低了量产产能的浪费和有机材料的浪费。大降低了量产产能的浪费和有机材料的浪费。

【技术实现步骤摘要】
一种蒸镀机的掩膜板基台和蒸镀机


[0001]本技术实施例涉及蒸镀技术，尤其涉及一种蒸镀机的掩膜板基台。

技术介绍

[0002]蒸镀机是显示面板制造过程中的重要设备，其性能直接影响生产出的显示面板质量。因此随着显示面板的发展，蒸镀机越来越受到人们的关注。
[0003]现有蒸镀机的不同制程腔体和不同掩膜板之间的匹配较差，由此导致掩膜板和待蒸镀的基板不能紧密贴合，进而导致掩膜板的开孔和基板待蒸镀区域存在偏移量，二者不能很好地嵌合。
[0004]解决上述问题的通常方式只能通过实际镀膜，用荧光光致发光量测系统量测不同位置的镀膜偏移量。如果在实际生产中发现镀膜偏移问题，也就是混色，只能将蒸镀腔体降温开腔来处理，会浪费大量的量产产能和有机材料。

技术实现思路

[0005]本技术提供一种蒸镀机的掩膜板基台和蒸镀机，用以对齐掩膜板的开孔和基板待蒸镀区域，大大降低了量产产能的浪费和有机材料的浪费。
[0006]第一方面，本技术实施例提供了一种蒸镀机的掩膜板基台，所述掩膜板基台包括：
[0007]控制单元；
[0008]中空区域；
[0009]边框区域，所述边框区域围绕所述中空区域设置，用于承托掩膜板的边沿，所述边框区域包括：
[0010]至少一个升降装置，所述升降装置包括：
[0011]开孔，所述开孔设置于所述边框区域与所述掩膜板的边沿的接触面；
[0012]升降支撑单元，所述升降支撑单元至少部分容置于所述开孔内；
[0013]升降动作模块，所述升降动作模块连接所述升降支撑单元，所述升降动作模块的被控端连接所述控制单元。
[0014]可选的，所述升降支撑单元还包括压力感知器，所述压力感知器的输入输出端连接所述控制单元。
[0015]可选的，所述边框区域包括至少三个边框，每个所述边框包括至少一个所述升降装置。
[0016]可选的，所述边框区域包括四个所述边框。
[0017]可选的，所述边框区域包括四个边框，四个所述边框中相对的两个所述边框设置有所述升降装置。
[0018]可选的，设置有所述升降装置的所述边框设置有多个所述升降装置，所述升降装置沿所在所述边框的延伸方向分布。
[0019]可选的，设置有所述升降装置的所述边框上的所述升降装置，沿所在所述边框的延伸方向呈双排分布。
[0020]可选的，设置有所述升降装置的所述边框上的所述升降装置，沿所在所述边框的延伸方向等间隔分布。
[0021]可选的，所述边框区域沿轴对称，所述轴位于所述边框区域所在平面内，所述边框区域中相对的两个所述边框上的多个所述升降装置沿所述轴对称。
[0022]第二方面，本技术实施例还提供了一种蒸镀机，使用上述任一蒸镀机的掩膜板基台。
[0023]本技术实施例中的掩膜板基台包括：控制单元；中空区域；边框区域，所述边框区域围绕所述中空区域设置，用于承托掩膜板的边沿，所述边框区域包括：至少一个升降装置，所述升降装置包括：开孔，所述开孔设置于所述边框区域与所述掩膜板的边沿的接触面；升降支撑单元，所述升降支撑单元至少部分容置于所述开孔内；升降动作模块，所述升降动作模块连接所述升降支撑单元，所述升降动作模块的被控端连接所述控制单元。通过升降装置的调节，减小掩膜板与位于掩膜板上方的基板边缘间的缝隙，使得掩膜板与基板平整贴合。因此大大减小了掩膜板的开孔和基板待蒸镀区域的偏移量。大大降低了量产产能的浪费和有机材料的浪费。
附图说明
[0024]图1为本技术实施例提供的一种掩膜板基台的平面结构示意图；
[0025]图2为本技术实施例提供的一种掩膜板基台的剖面结构示意图；
[0026]图3为本技术实施例提供的一种掩膜板基台的另一剖面结构示意图；
[0027]图4为本技术实施例提供的一种掩膜板基台的另一剖面结构示意图；
[0028]图5为本技术实施例提供的一种掩膜板基台的另一剖面结构示意图；
[0029]图6为本技术实施例提供的一种掩膜板基台的另一平面结构示意图；
[0030]图7为本技术实施例提供的一种掩膜板基台的另一平面结构示意图；
[0031]图8为本技术实施例提供的一种掩膜板基台的另一平面结构示意图；
[0032]图9为本技术实施例提供的一种掩膜板基台的另一平面结构示意图；
[0033]图10为本技术实施例提供的一种掩膜板基台的另一平面结构示意图。
具体实施方式
[0034]下面结合附图和实施例对本技术作进一步的详细说明。可以理解的是，此处所描述的具体实施例仅仅用于解释本技术，而非对本技术的限定。另外还需要说明的是，为了便于描述，附图中仅示出了与本技术相关的部分而非全部结构。
[0035]在本技术实施例中使用的术语是仅仅出于描述特定实施例的目的，而非旨在限制本技术。需要注意的是，本技术实施例所描述的“上”、“下”、“左”、“右”等方位词是以附图所示的角度来进行描述的，不应理解为对本技术实施例的限定。此外在上下文中，还需要理解的是，当提到一个元件被形成在另一个元件“上”或“下”时，其不仅能够直接形成在另一个元件“上”或者“下”，也可以通过中间元件间接形成在另一元件“上”或者“下”。术语“第一”、“第二”等仅用于描述目的，并不表示任何顺序、数量或者重要性，而只是
用来区分不同的组成部分。对于本领域的普通技术人员而言，可以根据具体情况理解上述术语在本技术中的具体含义。
[0036]图1为本技术实施例提供的一种掩膜板基台的平面结构示意图，图2为本技术实施例提供的一种掩膜板基台的剖面结构示意图。其中图2为图1虚线处剖面的剖面图，参考图1和图2。本技术实施例提供了一种蒸镀机的掩膜板基台，掩膜板基台包括：控制单元(图中未示出)；中空区域1；边框区域2，边框区域2围绕中空区域1设置，用于承托掩膜板的边沿，边框区域2包括：至少一个升降装置，升降装置包括：
[0037]开孔(图中未示出)，开孔设置于边框区域2与掩膜板的边沿的接触面；
[0038]升降支撑单元31，升降支撑单元31至少部分容置于开孔内；
[0039]升降动作模块32，升降动作模块32连接升降支撑单元31，升降动作模块32的被控端连接控制单元。
[0040]其中，掩膜板基台的边框区域2承托掩膜板的边沿。在蒸镀过程中，被蒸镀物蒸汽通过掩膜板基台的中空区域1达到掩膜板和被蒸镀基板上，以实现蒸镀。升降支撑单元31可以是柱状物，可以在开孔内沿垂直于边框区域2所在面的方向移动。升降支撑单元31可以包括金属柱，升降动作模块32可以在控制单元的控制下将升降支撑单元31升起或降下，进而改变升降支撑单元31与蒸镀机背板之间的掩膜板和基板贴合的紧密程度。在实际使用时，控制单元可以根据操作手柄的控制信号，控制升降动作模块32向蒸镀机背板运动。压紧掩膜板和本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种蒸镀机的掩膜板基台，其特征在于，所述掩膜板基台包括：控制单元；中空区域；边框区域，所述边框区域围绕所述中空区域设置，用于承托掩膜板的边沿，所述边框区域包括：至少一个升降装置，所述升降装置包括：开孔，所述开孔设置于所述边框区域与所述掩膜板的边沿的接触面；升降支撑单元，所述升降支撑单元至少部分容置于所述开孔内；升降动作模块，所述升降动作模块连接所述升降支撑单元，所述升降动作模块的被控端连接所述控制单元。2.根据权利要求1所述的蒸镀机的掩膜板基台，其特征在于，所述升降支撑单元还包括压力感知器，所述压力感知器的输入输出端连接所述控制单元。3.根据权利要求1所述的蒸镀机的掩膜板基台，其特征在于，所述边框区域包括至少三个边框，每个所述边框包括至少一个所述升降装置。4.根据权利要求3所述的蒸镀机的掩膜板基台，其特征在于，所述边框区域包括四个所述边框。5.根据权利要求1所述的蒸镀机的掩膜板基台，其特征在于，所述边框区域包...

【专利技术属性】
技术研发人员：宫鹏，
申请(专利权)人：上海和辉光电股份有限公司，
类型：新型
国别省市：