一种退火炉温度调节控制系统技术方案

本发明专利技术公开了一种退火炉温度调节控制系统，包括温度控制终端，所述温度控制终端一端设置有燃气控制阀，所述温度控制终端一端设置有空气控制阀，所述温度控制终端一端设置有炉压控制阀；本发明专利技术中通过参数输入模块可人工调整参数，从而适应退火炉使用情况进行调整参数，能够更加精确调整整体控制精度，通过手动控制模块，在控制系统出现故障时，能够进行人工调控，尽量降低损失，在温度控制终端对温度进行调控时，调控数据以及温度数据通过数据存储模块，实时存储备份；数据调取模块调取数据存储模块中存储备份数据，通过数据对比模块，对往期数据进行对比分析，分析退火炉具体使用情况，以及温度调整情况，为参数调整提供有效数据支持。数据支持。数据支持。

【技术实现步骤摘要】
一种退火炉温度调节控制系统


[0001]本专利技术涉及温度控制系统
，具体是一种退火炉温度调节控制系统。

技术介绍

[0002]退火炉是在半导体器件制造中使用的一种工艺，其包括加热多个半导体晶片以影响其电性能。热处理是针对不同的效果而设计的。可以加热晶片以激活掺杂剂，将薄膜转换成薄膜或将薄膜转换成晶片衬底界面，使致密沉积的薄膜，改变生长的薄膜的状态，修复注入的损伤，移动掺杂剂或将掺杂剂从一个薄膜转移到另一个薄膜或从薄膜进入晶圆衬底，退火炉可以集成到其他炉子处理步骤中，例如氧化，或者可以自己处理。
[0003]退火炉在使用中，需要使用到一种退火炉温度调节控制系统，对退火炉内的温度进行调控。

技术实现思路

[0004]本专利技术的目的在于提供一种退火炉温度调节控制系统，以解决上述
技术介绍
中提出的问题。
[0005]为实现上述目的，本专利技术提供如下技术方案：
[0006]一种退火炉温度调节控制系统，包括温度控制终端，所述温度控制终端一端设置有燃气控制阀，所述温度控制终端一端设置有空气控制阀，所述温度控制终端一端设置有炉压控制阀，所述温度控制终端一端设置有数据存储模块。
[0007]作为本专利技术进一步的方案：所述温度控制终端一端电性连接有参数输入模块，所述温度控制终端一端电性连接有数据计算模块，所述温度控制终端一端电性连接有手动控制模块。
[0008]作为本专利技术再进一步的方案：所述温度控制终端一端电性连接有数据调取模块，所述温度控制终端一端电性连接有数据对比模块。
[0009]作为本专利技术再进一步的方案：所述温度控制终端一端电性连接有AD转换器，所述AD转换器一端电性连接有温度传感器。
[0010]作为本专利技术再进一步的方案：退火炉温度调节控制系统步骤如下：
[0011]选取多组温度传感器，安装与退火炉各个部位，通过参数输入模块输入预设温度参数和控制参数至温度控制终端中；
[0012]温度传感器监测退火炉内部温度，将温度信号传输至AD转换器，AD转换器接收温度传感器信号，将信号转换为数字信号传输至温度控制终端；
[0013]温度控制终端接收温度传感器监测数据，通过数据计算模块计算控制参数，计算完毕后温度控制终端控制燃气控制阀和空气控制阀，调整燃气与助燃空气的混合比例，从而调整燃烧效率，控制温度，控制炉压控制阀，从而调整退火炉内部炉压，从而精确调整炉内温度；
[0014]根据使用情况，通过参数输入模块可人工调整参数，从而适应退火炉使用情况进
行调整参数，能够更加精确调整整体控制精度，通过手动控制模块，在控制系统出现故障时，能够进行人工调控，尽量降低损失；
[0015]在温度控制终端对温度进行调控时，调控数据以及温度数据通过数据存储模块，实时存储备份；
[0016]数据调取模块调取数据存储模块中存储备份数据，通过数据对比模块，对往期数据进行对比分析，分析退火炉具体使用情况，以及温度调整情况，为参数调整提供有效数据支持。
[0017]与现有技术相比，本专利技术的有益效果是：
[0018]1、本专利技术中根据使用情况，通过参数输入模块可人工调整参数，从而适应退火炉使用情况进行调整参数，能够更加精确调整整体控制精度，通过手动控制模块，在控制系统出现故障时，能够进行人工调控，尽量降低损失。
[0019]2、本专利技术中在温度控制终端对温度进行调控时，调控数据以及温度数据通过数据存储模块，实时存储备份；数据调取模块调取数据存储模块中存储备份数据，通过数据对比模块，对往期数据进行对比分析，分析退火炉具体使用情况，以及温度调整情况，为参数调整提供有效数据支持。
附图说明
[0020]图1为退火炉温度调节控制系统的设备结构示意图。
[0021]图2为退火炉温度调节控制系统的模块结构示意图。
具体实施方式
[0022]下面将结合本专利技术实施例中的附图，对本专利技术实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本专利技术一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本专利技术中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本专利技术保护的范围。
[0023]请参阅图1～2，本专利技术实施例中，一种退火炉温度调节控制系统，包括温度控制终端，所述温度控制终端一端设置有燃气控制阀，所述温度控制终端一端设置有空气控制阀，所述温度控制终端一端设置有炉压控制阀，所述温度控制终端一端设置有数据存储模块。
[0024]实施例一
[0025]所述温度控制终端一端电性连接有参数输入模块，所述温度控制终端一端电性连接有数据计算模块，所述温度控制终端一端电性连接有手动控制模块。
[0026]实施例二
[0027]所述温度控制终端一端电性连接有数据调取模块，所述温度控制终端一端电性连接有数据对比模块。
[0028]实施例三
[0029]所述温度控制终端一端电性连接有AD转换器，所述AD转换器一端电性连接有温度传感器。
[0030]本专利技术的工作原理是：选取多组温度传感器，安装与退火炉各个部位，通过参数输入模块输入预设温度参数和控制参数至温度控制终端中；温度传感器监测退火炉内部温
度，将温度信号传输至AD转换器，AD转换器接收温度传感器信号，将信号转换为数字信号传输至温度控制终端；温度控制终端接收温度传感器监测数据，通过数据计算模块计算控制参数，计算完毕后温度控制终端控制燃气控制阀和空气控制阀，调整燃气与助燃空气的混合比例，从而调整燃烧效率，控制温度，控制炉压控制阀，从而调整退火炉内部炉压，从而精确调整炉内温度；根据使用情况，通过参数输入模块可人工调整参数，从而适应退火炉使用情况进行调整参数，能够更加精确调整整体控制精度，通过手动控制模块，在控制系统出现故障时，能够进行人工调控，尽量降低损失；在温度控制终端对温度进行调控时，调控数据以及温度数据通过数据存储模块，实时存储备份；数据调取模块调取数据存储模块中存储备份数据，通过数据对比模块，对往期数据进行对比分析，分析退火炉具体使用情况，以及温度调整情况，为参数调整提供有效数据支持。
[0031]对于本领域技术人员而言，显然本专利技术不限于上述示范性实施例的细节，而且在不背离本专利技术的精神或基本特征的情况下，能够以其他的具体形式实现本专利技术。因此，无论从哪一点来看，均应将实施例看作是示范性的，而且是非限制性的，本专利技术的范围由所附权利要求而不是上述说明限定，因此旨在将落在权利要求的等同要件的含义和范围内的所有变化囊括在本专利技术内。不应将权利要求中的任何附图标记视为限制所涉及的权利要求。
[0032]此外，应当理解，虽然本说明书按照实施方式加以描述，但并非每个实施方式仅包含一个独立的技术方案，说明书的这种叙述方式仅仅是为清楚起见，本领域技术人员应当将说明书作为一个整体，各实施例中的技术方案也可以经适当组合，形成本领域技术人员可以理解的其他实施方式。
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【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种退火炉温度调节控制系统，包括温度控制终端，其特征在于，所述温度控制终端一端设置有燃气控制阀，所述温度控制终端一端设置有空气控制阀，所述温度控制终端一端设置有炉压控制阀，所述温度控制终端一端设置有数据存储模块。2.根据权利要求1所述的退火炉温度调节控制系统，其特征在于，所述温度控制终端一端电性连接有参数输入模块，所述温度控制终端一端电性连接有数据计算模块，所述温度控制终端一端电性连接有手动控制模块。3.根据权利要求1所述的退火炉温度调节控制系统，其特征在于，所述温度控制终端一端电性连接有数据调取模块，所述温度控制终端一端电性连接有数据对比模块。4.根据权利要求1所述的退火炉温度调节控制系统，其特征在于，所述温度控制终端一端电性连接有AD转换器，所述AD转换器一端电性连接有温度传感器。5.根据权利要求1
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4所述的退火炉温度调节控制系统，其特征在于，所述退火炉温度调节控制系统步骤如下：S1：选取多组温度传感器，安装与退火炉各个部位，通过参数...

【专利技术属性】
技术研发人员：邵德辉，鲁庆霞，
申请(专利权)人：襄阳鑫明宇光电科技有限公司，
类型：发明
国别省市：