本实用新型专利技术提供了一种镀膜机用腔体冷却装置，包括底座，底座上设置有水箱，水箱上设置有冷却箱，所述冷却箱的内部安装有腔体，所述冷却箱的底部开设有与水箱相连接的回流口，所述冷却箱的内部位于腔体的两侧设置有冷却腔，所述冷却腔靠近腔体的一侧设置有若干喷管，所述水箱内设置有制冷器，所述水箱的两侧通过连接管与水泵相连接，所述水泵的另一端连接到冷却腔内部。本实用新型专利技术通过在腔体的外侧设置冷却箱、冷却腔、水箱和制冷器，使得冷却水直接作用于腔体，使得冷却效果良好，冷却腔内侧设置喷管，通过水泵作用将冷却水喷洒到腔体，同时水泵和回流水泵构成水流通道，使得冷却水流速加快，便于吸收热量进行冷却。便于吸收热量进行冷却。便于吸收热量进行冷却。
【技术实现步骤摘要】
一种镀膜机用腔体冷却装置
[0001]本技术涉及镀膜机
，具体涉及一种镀膜机用腔体冷却装置。
技术介绍
[0002]真空镀膜机主要指一类需要在较高真空度下进行的镀膜，具体包括很多种类，包括真空离子蒸发，磁控溅射，MBE分子束外延，PLD激光溅射沉积等很多种，主要思路是分成蒸发和溅射两种，蒸发镀膜一般是加热靶材使表面组分以原子团或离子形式被蒸发出来，并且沉降在基片表面，通过成膜过程形成薄膜，对于溅射类镀膜，可以简单理解为利用电子或高能激光轰击靶材，并使表面组分以原子团或离子形式被溅射出来，并且最终沉积在基片表面，经历成膜过程，最终形成薄膜，真空镀膜机在工作的时候会产生大量的热量，需要通过冷却装置进行冷却，以确保设备正常工作。
[0003]但现有的水冷散热通常在是在真空镀膜机腔体外表面设置散热水管，或者开设水槽，通过散热水管进行散热，水不与真空镀膜机腔体直接接触，冷却效果不佳，通过在真空镀膜机腔体外表面开设水槽进行降温，真空镀膜机腔体外表面厚度有限，水流量小降温效果差。因此，本技术提供了一种镀膜机用腔体冷却装置。
技术实现思路
[0004]本技术的目的在于提供一种镀膜机用腔体冷却装置，解决现有镀膜机腔体冷却效果差的问题。
[0005]为了解决上述技术问题，本技术提供了一种镀膜机用腔体冷却装置，包括底座，所述底座上设置有水箱，所述水箱上设置有冷却箱，所述冷却箱的内部安装有腔体，所述腔体的上端与冷却箱的上端连接，下端通过支柱与冷却箱的底部相连接，所述冷却箱的底部开设有与水箱相连接的回流口，所述冷却箱的内部位于腔体的两侧设置有冷却腔，所述冷却腔靠近腔体的一侧设置有若干喷管，所述水箱内设置有制冷器，所述水箱的两侧通过连接管与水泵相连接，所述水泵的另一端连接到冷却腔内部。
[0006]优选的，在本技术所公开的技术方案中，所述回流口处设置有回流水泵。
[0007]优选的，在本技术所公开的技术方案中，两个所述冷却腔呈圆环状包围在腔体的四周，所述喷管水平设置或者向上倾斜设置。
[0008]优选的，在本技术所公开的技术方案中，所述水箱的前端面安装有控制开关，控制开关通过导线与制冷器、水泵、回流水泵相连接，控制开关通过导线与外界电源相连接。
[0009]优选的，在本技术所公开的技术方案中，所述水箱内部填充有冷却水。
[0010]本技术的有益效果为：本技术通过在腔体的外侧设置冷却箱、冷却腔、水箱和制冷器，使得冷却水直接作用于腔体，使得冷却效果良好，同时冷却腔内侧设置喷管，通过水泵作用将冷却水喷洒到腔体，同时水泵和回流水泵构成水流通道，使得冷却水流速加快，便于吸收热量进行冷却。
附图说明
[0011]图1为本技术的结构示意图；
[0012]图2为冷却箱的俯视结构图。
[0013]其中，1底座、2水箱、3冷却箱、4腔体、5回流口、6冷却腔、7喷管、8制冷器、9连接管、10水泵、11回流水泵、12控制开关。
具体实施方式
[0014]下面结合说明书附图以及具体实施例对本技术做进一步描述。本领域普通技术人员在基于这些说明的情况下将能够实现本技术。此外，下述说明中涉及到的本技术的实施例通常仅是本专利技术一部分的实施例，而不是全部的实施例。因此，基于本技术中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动的前提下所获得的所有其他实施例，都应当属于本技术保护的范围。
[0015]一种镀膜机用腔体冷却装置，包括底座1，所述底座1上设置有水箱2，所述水箱2上设置有冷却箱3，所述冷却箱3的内部安装有腔体4，所述腔体4的上端与冷却箱3的上端连接，下端通过支柱与冷却箱3的底部相连接，所述冷却箱3的底部开设有与水箱2相连接的回流口5，所述冷却箱3的内部位于腔体4的两侧设置有冷却腔6，所述冷却腔6靠近腔体4的一侧设置有若干喷管7，所述水箱2内设置有制冷器8，所述水箱2的两侧通过连接管9与水泵10相连接，所述水泵10的另一端连接到冷却腔6内部。
[0016]优选的，在本技术所公开的技术方案中，所述回流口5处设置有回流水泵11。
[0017]优选的，在本技术所公开的技术方案中，两个所述冷却腔6呈圆环状包围在腔体4的四周，所述喷管7水平设置或者向上倾斜设置。
[0018]优选的，在本技术所公开的技术方案中，所述水箱2的前端面安装有控制开关12，控制开关12通过导线与制冷器8、水泵10、回流水泵11相连接，控制开关12通过导线与外界电源相连接。
[0019]优选的，在本技术所公开的技术方案中，所述水箱2内部填充有冷却水。
[0020]实施例中，底座1上安装有水箱2，水箱2的内部填充有冷却水，水箱2内设置有制冷器8，制冷器8用于对冷却水进行降温制冷，水箱2上端安装有冷却箱3，冷却箱3的内部安装有腔体4，腔体4的上端与冷却箱3的上端相连接，腔体4的下端通过支柱与冷却箱3的底部相连接，使得腔体4和冷却箱3之间间隔，便于冷却水回流，冷却箱3的两侧设置有两个半圆形的冷却腔6，冷却腔6包围在腔体4的外侧，冷却腔6的内侧设置有若干喷管7，喷管7可水平设置，或者向上倾斜设置，冷却箱3的底部开设有与水箱2连接通的回流口5，回流口5处设置有回流水泵11，通过回流水泵11将冷却箱3内的水回流到水箱2内进行冷却，水箱2的两侧通过连接管9连接水泵10，水泵10的另一端连接到冷却腔6的内部，制冷器8、水泵10、回流水泵11通过导线与控制开关12相连接，使用时，通过控制开关12打开制冷器8、水泵10和回流水泵11，制冷器8将水箱2内的冷却水进行降温冷却，冷却后水泵10将水箱2内的冷却水灌入冷却腔6内，进入冷却腔6内的冷却水通过内侧的喷管7喷洒到腔体4上，对其进行冷却降温，喷洒的冷却水集聚到冷却箱3内，通过回流水泵11将冷却后温度升高的水回流到水箱2内进行制冷，通过水泵10和回流水泵11使得冷却水形成循环，同时增大了水流速度，使得冷却效果提高。
本文档来自技高网...
【技术保护点】
【技术特征摘要】
1.一种镀膜机用腔体冷却装置，包括底座(1)，其特征在于，所述底座(1)上设置有水箱(2)，所述水箱(2)上设置有冷却箱(3)，所述冷却箱(3)的内部安装有腔体(4)，所述腔体(4)的上端与冷却箱(3)的上端连接，下端通过支柱与冷却箱(3)的底部相连接，所述冷却箱(3)的底部开设有与水箱(2)相连接的回流口(5)，所述冷却箱(3)的内部位于腔体(4)的两侧设置有冷却腔(6)，所述冷却腔(6)靠近腔体(4)的一侧设置有若干喷管(7)，所述水箱(2)内设置有制冷器(8)，所述水箱(2)的两侧通过连接管(9)与水泵(10)相连接，所述水泵(10)的另一端连接到冷却腔(6)内部。2.根据...
【专利技术属性】
技术研发人员：丁庆峰，
申请(专利权)人：浙江鼎梓塑胶科技股份有限公司，
类型：新型
国别省市：
还没有人留言评论。发表了对其他浏览者有用的留言会获得科技券。