本实用新型专利技术公开了一种光电子元件制造的光刻装置，包括本体机构、翻转机构、调节机构、夹持机构和缓冲机构，所述本体机构包括底座，所述翻转机构包括连接于底座的支撑板组、安装于所述支撑板组的驱动电机、设于所述支撑板组之间的翻转架体以及同时连接于驱动电机和翻转架体的连接轴，所述调节机构包括内置于翻转架体的电动马达、连接于电动马达输出轴的丝杆以及连接于所述丝杆的两组夹持组件。本实用新型专利技术中，通过翻转机构、调节机构和夹持机构的相互配合，使得光电子元件被夹持后，驱动电机的工作能够使翻转架体进行翻转，从而固定后的光电子元件翻转后利于对背面进行光刻工作，避免了人工翻转效率慢和损坏元件的问题。了人工翻转效率慢和损坏元件的问题。了人工翻转效率慢和损坏元件的问题。
【技术实现步骤摘要】
一种光电子元件制造的光刻装置
[0001]本技术涉及光电子元件生产
，具体为一种光电子元件制造的光刻装置。
技术介绍
[0002]光刻是通过一系列生产步骤，将晶圆表面薄膜的特定部分除去的工艺。光刻生产的目标是根据电路设计的要求，生成尺寸精确的特征图形，并且在晶圆表面的位置正确且与其它部件的关联正确。
[0003]现有光电子元件在生产制造过程中，需要对其进行光刻，但现有的生产光刻装置只能对其一面进行光刻，然后需要对其背面光刻时，需要人工进行翻面后再次进行光刻，该方式不仅降低了光刻的工作效率，还存在着人工翻转造成光刻表面部件受损的问题。
技术实现思路
[0004]本技术旨在解决现有技术或相关技术中存在的技术问题之一。
[0005]为此，本技术所采用的技术方案为：
[0006]一种光电子元件制造的光刻装置，包括本体机构、翻转机构、调节机构、夹持机构和缓冲机构，所述本体机构包括底座，所述翻转机构包括连接于所述底座的支撑板组、安装于所述支撑板组的驱动电机、设于所述支撑板组之间的翻转架体以及同时连接于所述驱动电机和翻转架体的连接轴，所述调节机构包括内置于所述翻转架体的电动马达、连接于所述电动马达输出轴的丝杆以及连接于所述丝杆的两组夹持组件，所述夹持组件包括连接于所述丝杆的凸形块、安装于所述凸形块的调节栓、连接于所述调节栓的下压板以及连接于所述丝杆并穿插于所述下压板的竖杆，所述夹持机构包括内置于所述下压板的稳固组以及内置于所述凸形块的适配组，所述稳固组包括内置于所述下压板的弹簧一和连接于所述弹簧一并滑动于所述下压板的按压板，所述适配组包括内置于所述凸形块的弹簧二和连接于所述弹簧二的伸缩板，所述缓冲机构所述缓冲机构连接于所述支撑板组。
[0007]本技术在一较佳示例中可以进一步配置为：所述缓冲机构包括连接于所述支撑板组的收缩箱、内置于所述收缩箱的弹簧三以及连接于所述弹簧三并滑动于所述收缩箱的顶板。
[0008]通过采用上述技术方案，便于对翻转后的翻转架体进行缓冲，从而保证翻转后光电子元件的平稳性。
[0009]本技术在一较佳示例中可以进一步配置为：所述一种光电子元件制造的光刻装置还包括连接于所述翻转架体的限位板，所述限位板设于远离缓冲机构的一侧。
[0010]通过采用上述技术方案，用于抵触顶板使其翻转架体进行平稳。
[0011]本技术在一较佳示例中可以进一步配置为：所述本体机构还包括连接于所述底座的龙门轨架以及滑动于所述龙门轨架的光刻机。
[0012]通过采用上述技术方案，便于光刻机对光电子元件进行光刻。
[0013]本技术在一较佳示例中可以进一步配置为：所述调节机构还包括内置于所述翻转架体的导杆，所述导杆穿插于所述凸形块。
[0014]通过采用上述技术方案，丝杆移动时导杆便于凸形块的移动。
[0015]本技术在一较佳示例中可以进一步配置为：所述适配组设有若干个，所述伸缩板的一端设有硅胶垫片。
[0016]通过采用上述技术方案，方便于针对不同形状的光电子元件进行夹持。
[0017]本技术在一较佳示例中可以进一步配置为：所述丝杆具有对称的正螺纹段和反螺纹段，两组所述夹持组件对称设置在丝杆的正螺纹段和反螺纹段上。
[0018]通过采用上述技术方案，便于两组夹持组件做相对或相反运动，以此达到根据元件尺寸调节的目的。
[0019]通过采用上述技术方案，本技术所取得的有益效果为：
[0020]1.本技术中，通过翻转机构、调节机构和夹持机构的相互配合，使得光电子元件被夹持后，驱动电机的工作能够使翻转架体进行翻转，从而固定后的光电子元件翻转后利于对背面进行光刻工作，避免了人工翻转效率慢和损坏元件的问题。
[0021]2.本技术中，通过夹持机构内弹簧二和伸缩板的设计，使得不同形状的光电子元件被夹持时，矩形元件的夹持可贴合在伸缩板上，圆形元件的夹持可使多个伸缩板处于不统一的伸缩，从而能够适配于圆形元件的边角，达到本技术针对不同形状元件夹持的目的，提高本技术的实用性。
附图说明
[0022]图1为本技术一个实施例的整体结构示意图；
[0023]图2为本技术一个实施例的翻转架体结构示意图；
[0024]图3为本技术一个实施例的右视部分结构示意图；
[0025]图4为本技术一个实施例的A处放大结构示意图；
[0026]图5为本技术一个实施例的B处放大结构示意图。
[0027]附图标记：
[0028]100、本体机构；110、底座；120、龙门轨架；130、光刻机；
[0029]200、翻转机构；210、支撑板组；220、驱动电机；230、翻转架体；240、连接轴；
[0030]300、调节机构；310、电动马达；320、丝杆；330、凸形块；340、调节栓；350、下压板；360、竖杆；370、导杆；
[0031]400、夹持机构；410、弹簧一；420、按压板；430、弹簧二；440、伸缩板；
[0032]500、缓冲机构；510、收缩箱；520、弹簧三；530、顶板；
[0033]600、限位板。
具体实施方式
[0034]为使本技术的目的、技术方案和优点更加清楚明了，下面结合具体实施方式并参照附图，对本技术进一步详细说明。需要说明的是，在不冲突的情况下，本技术的实施例及实施例中的特征可以相互组合。
[0035]该理解，这些描述只是示例性的，而并非要限制本技术的范围。
[0036]下面结合附图描述本技术的一些实施例提供的一种光电子元件制造的光刻装置。
[0037]实施例一：
[0038]结合图1
‑
5所示，本技术提供的一种光电子元件制造的光刻装置，包括本体机构100、翻转机构200、调节机构300、夹持机构400和缓冲机构500，本体机构100包括底座110，本体机构100还包括连接于底座110的龙门轨架120以及滑动于龙门轨架120的光刻机130，其设计的作用是光刻机130用于对光电子元件进行光刻，龙门轨架120利于光刻机130的智能移动。
[0039]翻转机构200包括连接于底座110的支撑板组210、安装于支撑板组210的驱动电机220、设于支撑板组210之间的翻转架体230以及同时连接于驱动电机220和翻转架体230的连接轴240，调节机构300包括内置于翻转架体230的电动马达310、连接于电动马达310输出轴的丝杆320以及连接于丝杆320的两组夹持组件，夹持组件包括连接于丝杆320的凸形块330、安装于凸形块330的调节栓340、连接于调节栓340的下压板350以及连接于丝杆320并穿插于下压板350的竖杆360，调节机构300还包括内置于翻转架体230的导杆370，导杆370穿插于凸形块330，其设计的作用是导杆370利于凸形块本文档来自技高网...
【技术保护点】
【技术特征摘要】
1.一种光电子元件制造的光刻装置，其特征在于，包括：本体机构(100)，包括底座(110)；翻转机构(200)，包括连接于所述底座(110)的支撑板组(210)、安装于所述支撑板组(210)的驱动电机(220)、设于所述支撑板组(210)之间的翻转架体(230)以及同时连接于所述驱动电机(220)和翻转架体(230)的连接轴(240)；调节机构(300)，包括内置于所述翻转架体(230)的电动马达(310)、连接于所述电动马达(310)输出轴的丝杆(320)以及连接于所述丝杆(320)的两组夹持组件；所述夹持组件包括连接于所述丝杆(320)的凸形块(330)、安装于所述凸形块(330)的调节栓(340)、连接于所述调节栓(340)的下压板(350)以及连接于所述丝杆(320)并穿插于所述下压板(350)的竖杆(360)；夹持机构(400)，包括内置于所述下压板(350)的稳固组以及内置于所述凸形块(330)的适配组；所述稳固组包括内置于所述下压板(350)的弹簧一(410)和连接于所述弹簧一(410)并滑动于所述下压板(350)的按压板(420)；所述适配组包括内置于所述凸形块(330)的弹簧二(430)和连接于所述弹簧二(430)的伸缩板(440)；缓冲机构(500)，所述缓冲机构(500)连接于所述支撑板组(210)。2.根据权...
【专利技术属性】
技术研发人员：何玉兵，
申请(专利权)人：江苏迈克尔电子科技有限公司，
类型：新型
国别省市：
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