检测系统技术方案

本申请公开了一种检测系统，检测系统包括检测光路、泵浦光路、光纤及光纤调节器，检测光沿所述检测光路传输至待检测件；泵浦光沿所述泵浦光路传输至所述待检测件；所述检测光路与所述泵浦光路中的至少一个设置有所述光纤；及所述光纤调节器与所述光纤连接，所述光纤调节器用于调节所述光纤的属性，以调节所述检测光与所述泵浦光的相位差。通过光纤调节器可以调节光纤的属性，进而调节检测光和泵浦光的相位差，使得检测光和泵浦光在一个时刻可以同时照射在待检测件上，便于对待检测件进行检测。便于对待检测件进行检测。便于对待检测件进行检测。

【技术实现步骤摘要】
检测系统


[0001]本申请涉及检测
，更具体而言，涉及一种检测系统。

技术介绍

[0002]在检测系统中，要求检测光与泵浦光能够在一个时刻同时照射到样品上。但是，由于检测光和泵浦光之间存在相位差，导致检测光的脉冲与泵浦光的脉冲无法同时照射到样品上。

技术实现思路

[0003]本申请实施方式提供一种检测系统。
[0004]本申请实施方式的检测系统包括检测光路、泵浦光路、光纤及光纤调节器，检测光沿所述检测光路传输至待检测件；泵浦光沿所述泵浦光路传输至所述待检测件；所述检测光路与所述泵浦光路中的至少一个设置有所述光纤；及所述光纤调节器与所述光纤连接，所述光纤调节器用于调节所述光纤的属性，以调节所述检测光与所述泵浦光的相位差。
[0005]在某些实施方式中，所述检测光路和所述泵浦光路中的至少一个中的部分光路设置有所述光纤。
[0006]在某些实施方式中，所述检测光路和所述泵浦光路中的至少一个中的全部光路设置有所述光纤。
[0007]在某些实施方式中，所述光纤设置于所述泵浦光路，所述泵浦光经所述光纤传输至所述待检测件；所述光纤调节器调节所述光纤的长度，以改变所述泵浦光在所述光纤中传输的光程。
[0008]在某些实施方式中，所述检测系统还包括设置于所述检测光路的第一回射器，所述检测光沿第一方向入射至所述第一回射器，所述第一回射器沿第二方向反射所述检测光，所述第一方向与所述第二方向相反，移动所述第一回射器能够调整所述检测光在所述检测光路中的光程。
[0009]在某些实施方式中，所述泵浦光路中的部分光路设置有所述光纤，所述检测系统还包括设置在所述泵浦光路中的第二回射器，所述泵浦光沿第三方向入射至所述第二回射器，所述第二回射器沿第四方向反射所述泵浦光，所述第三方向与所述第四方向相反，移动所述第二回射器能够改变所述泵浦光的光程。
[0010]在某些实施方式中，所述光纤设置于所述检测光路，所述检测光经所述光纤传输至所述待检测件；所述光纤调节器调节所述光纤的长度，以改变所述检测光在所述光纤中传输的光程。
[0011]在某些实施方式中，所述检测系统还包括设置在所述泵浦光路中的第二回射器，所述泵浦光沿第三方向入射至所述第二回射器，所述第二回射器沿第四方向反射所述泵浦光，所述第三方向与所述第四方向相反，移动所述第二回射器能够改变所述泵浦光的光程。
[0012]在某些实施方式中，所述检测光路中的部分光路设置有所述光纤，所述检测系统
还包括设置于所述检测光路的第一回射器，所述检测光沿第一方向入射至所述第一回射器，所述第一回射器沿第二方向反射所述检测光，所述第一方向与所述第二方向相反，移动所述第一回射器能够调整所述检测光在所述检测光路中的光程。
[0013]在某些实施方式中，所述检测系统还包括泵浦光光源，所述泵浦光光源用于出射所述泵浦光，所述泵浦光光源能够线性移动，以改变所述泵浦光的光程。
[0014]在某些实施方式中，所述检测系统还包括检测光光源，所述检测光光源用于出射所述检测光，所述检测光光源能够线性移动，以改变所述检测光的光程。
[0015]申请实施方式的检测系统中，检测光路和泵浦光路中的至少一个设置有光纤，光纤调节器与光纤连接，通过光纤调节器可以调节光纤的属性，进而调节检测光和泵浦光的相位差，使得检测光和泵浦光在一个时刻可以同时照射在待检测件上，便于对待检测件进行检测。
[0016]本申请的实施方式的附加方面和优点将在下面的描述中部分给出，部分将从下面的描述中变得明显，或通过本申请的实施方式的实践了解到。
附图说明
[0017]本申请的上述和/或附加的方面和优点从结合下面附图对实施方式的描述中将变得明显和容易理解，其中：
[0018]图1是本申请某些实施方式的检测系统的结构示意图；
[0019]图2是本申请某些实施方式的检测系统的结构示意图；
[0020]图3是本申请某些实施方式的检测系统的结构示意图；
[0021]图4是本申请某些实施方式的检测系统的结构示意图；
[0022]图5是本申请某些实施方式的检测系统的结构示意图；
[0023]图6是本申请某些实施方式的检测系统的结构示意图。
具体实施方式
[0024]以下结合附图对本申请的实施方式作进一步说明。附图中相同或类似的标号自始至终表示相同或类似的元件或具有相同或类似功能的元件。
[0025]另外，下面结合附图描述的本申请的实施方式是示例性的，仅用于解释本申请的实施方式，而不能理解为对本申请的限制。
[0026]在本申请中，除非另有明确的规定和限定，第一特征在第二特征“上”或“下”可以是第一和第二特征直接接触，或第一和第二特征通过中间媒介间接接触。而且，第一特征在第二特征“之上”、“上方”和“上面”可以是第一特征在第二特征正上方或斜上方，或仅仅表示第一特征水平高度高于第二特征。第一特征在第二特征“之下”、“下方”和“下面”可以是第一特征在第二特征正下方或斜下方，或仅仅表示第一特征水平高度小于第二特征。
[0027]请参阅图1至图3，本申请实施方式的检测系统100包括检测光路11、泵浦光路12、光纤13及光纤调节器14，检测光沿检测光路11传输至待检测件200；泵浦光沿泵浦光路12传输至待检测件200；检测光路11与泵浦光路12中的至少一个设置有光纤13；光纤调节器14与光纤13连接，光纤调节器14用于调节光纤13的属性，以调节检测光与泵浦光的相位差。
[0028]本申请实施方式的检测系统100中，检测光路11和泵浦光路12中的至少一个设置
有光纤13，光纤调节器14与光纤13连接，通过光纤调节器14可以调节光纤13的属性，进而调节检测光和泵浦光的相位差，使得检测光可以和泵浦光在一个时刻同时照射在待检测件200上，便于对待检测件200进行检测。
[0029]其中，待检测件200可以是面板(例如LCD屏、OLED屏等)、晶圆、背壳、芯片、膜层等元件，在此一一列举。检测系统100可以用于检测面板是否存在缺陷；或者可以检测晶圆是否存在缺陷，检测晶圆的厚度；或者可以检测背板是否存在缺陷。当然，检测系统100还可以用于检测其他元件，在此不一一列举。
[0030]请参阅图1至图3，检测系统100包括检测光路11、泵浦光路12、光纤13及光纤调节器14。
[0031]具体地，检测光可以沿检测光路11传输至待检测件200并可以在待检测件200上形成检测光斑，泵浦光可以沿泵浦光路12传输至待检测件200并可以在待检测件200上形成泵浦光斑。检测光和泵浦光可以由一个光源15穿过分光元件得到，检测光和泵浦光也可以分别由两个光源15出射。
[0032]请继续参阅图1至图3，在一些实施方式中，检测系统100包括光源15及分束器16，光源15可以用于出射信号光，光源15可以是激光光源(例如飞秒激光光源)，光源15也可以是LED(light
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【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种检测系统，其特征在于，所述检测系统包括：检测光路，检测光沿所述检测光路传输至待检测件；泵浦光路，泵浦光沿所述泵浦光路传输至所述待检测件；光纤，所述检测光路与所述泵浦光路中的至少一个设置有所述光纤；及光纤调节器，所述光纤调节器与所述光纤连接，所述光纤调节器用于调节所述光纤的属性，以调节所述检测光与所述泵浦光的相位差。2.根据权利要求1所述的检测系统，其特征在于，所述检测光路和所述泵浦光路中的至少一个中的部分光路设置有所述光纤；或所述检测光路和所述泵浦光路中的至少一个中的全部光路设置有所述光纤。3.根据权利要求1所述的检测系统，其特征在于，所述光纤设置于所述泵浦光路，所述泵浦光经所述光纤传输至所述待检测件；所述光纤调节器调节所述光纤的长度，以改变所述泵浦光在所述光纤中传输的光程。4.根据权利要求3所述的检测系统，其特征在于，所述检测系统还包括设置于所述检测光路的第一回射器，所述检测光沿第一方向入射至所述第一回射器，所述第一回射器沿第二方向反射所述检测光，所述第一方向与所述第二方向相反，移动所述第一回射器能够调整所述检测光在所述检测光路中的光程。5.根据权利要求3或4所述的检测系统，其特征在于，所述泵浦光路中的部分光路设置有所述光纤，所述检测系统还包括设置在所述泵浦光路中的第二回射器，所述泵浦光沿第三方向入射至所述第二回射器，所述第二回射器沿第四方向反射所述泵浦...

【专利技术属性】
技术研发人员：白园园，马砚忠，陈鲁，张嵩，
申请(专利权)人：深圳中科飞测科技股份有限公司，
类型：新型
国别省市：