【技术实现步骤摘要】
一种高能粒子表面处理系统
[0001]本专利技术涉及离子束加工
，特别涉及一种高能粒子表面处理系统。
技术介绍
[0002]高能粒子是现代粒子散射实验中的炮弹，是研究物质基元结构的最有用的工具，而且可以说，到目前为止，几乎是粒子物理学家们唯一的工具，没有高能粒子的散射实验，近代物理几乎不会发展起来，早期的高能粒子来源于天然放射性元素如铀、镭等放出的高能射线，粒子加速器和对撞机等现代大型实验装置应运而生，大批粒子不断被发现，为了满足用于工具的各种组件、用于传输设备、化学和发电设备等的组件所需的机械和电化学特性，所以需要用到高能粒子进行表面处理；发现现有技术中至少存在如下问题没有得到解决：1、处理系统不能根据产品不同，来调节产品与离子赋能器之间的距离，也不能对产品进行不同方向的旋转，不能满足使用者的使用需求，降低了装置的实用性；2、处理系统以较大固体颗粒的赋能撞击为主，由于固体颗粒的物理尺寸大撞击力大，处理过程中造成薄片产品表面产生变形；3、气体离子表面处理装置由于能量较小，只能作为产品表面杂质的清洗工具，无法对表面的微观...
【技术保护点】
【技术特征摘要】
1.一种高能粒子表面处理系统，包括底座（1），其特征在于：所述底座（1）的上端左部固定连接有电气控制箱（2），所述底座（1）的上端右部固定连接有排气装置（6），所述排气装置（6）的左端上部穿插固定连接有工作腔室（3），所述工作腔室（3）的上端中部穿插固定连接有调节装置（4），所述调节装置（4）的下端中部设置有产品台架（5），所述工作腔室（3）的左端通过合页活动连接有密封门（12），所述工作腔室（3）的下端中部固定连接有导入器（10），所述导入器（10）的上端贯穿工作腔室（3）的下腔壁并固定连接有离子赋能器（11），且离子赋能器（11）的下端与工作腔室（3）的下腔壁固定连接，所述工作腔室（3）的前腔壁中部和后腔壁中部均穿插固定连接有观察窗口（13），所述工作腔室（3）的下端四角均固定连接有支撑脚（14），所述排气装置（6）的左端下部固定连接有水气供应箱（7），且水气供应箱（7）的下端和四个支撑脚（14）的下端均与底座（1）的上端固定连接，所述水气供应箱（7）的上端左部穿插固定连接有供气管（8），所述水气供应箱（7）的左端下部穿插固定连接有供水管（9），且供水管（9）和供气管（8）远离水气供应箱（7）的一端均与导入器（10）穿插固定连接。2.根据权利要求1所述的一种高能粒子表面处理系统，其特征在于：所述调节装置（4）包括调节气缸（41），所述调节气缸（41）的输出端贯穿工作腔室（3）的上腔壁并固定连接有固定架（42），所述固定架（42）的下端固定连接有调节板（43），所述调节板（43）的上端四角均固定连接有限位装置（44），所述调节板（43）的下端周边之间共同开有限位槽（45）。3.根据权利要求2所述的一种高能粒子表面处理系统，其特征在于：所述限位装置（44）包括限位筒（441），所述限位筒（441）的下筒壁中部开有通孔（443），所述通孔（443）内穿插活动连接有限位杆（442），所述限位杆（442）的外表面下部套接有弹簧（444），所述限位杆（442）的上端固定连接有限位板（445），所述限位筒（441）的下端与工作腔室（3）的上端穿插固定连接。4.根据权利要求1所述的一种高能粒子表面处理系统，其特征在于：所述产品台架（5）包括驱动器（51），所述驱动器（51），所述驱动器（51）的输出端贯穿调节板（43）的上端并固定连接有旋转台（52），所述旋转台（52）的下端中部固定连接有固定装置（53），所述旋转台（52）的上端周边固定连接有若干个限位块（54），若干个所述限位块（54）的外表面上部均与限位槽（45）滑动连接，所述旋转台（52）的上端通过轴承与调节板（43）的下端活动连接。5.根据权利要求4所述的一种高能粒子表面处理系统，其特征在于：所述固...
【专利技术属性】
技术研发人员：陈晓东，
申请(专利权)人：常州鑫立离子技术有限公司，
类型：发明
国别省市：
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