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本发明公开了一种高能粒子表面处理系统，包括底座，所述底座的上端左部固定连接有电气控制箱，所述底座的上端右部固定连接有排气装置，所述排气装置的左端上部穿插固定连接有工作腔室，所述工作腔室的上端中部穿插固定连接有调节装置，所述调节装置的下端中部...
该专利属于常州鑫立离子技术有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过常州鑫立离子技术有限公司授权不得商用。

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