机台联动性的监控方法及监控系统技术方案

本发明专利技术的机台联动性的监控方法及监控系统中，机台联动性的监控方法包括：选择半导体有生产工艺时间限制的工艺路线中预定线路上的多个机台，并获取各个机台的可利用时间率；基于各个机台的可利用时间率，根据相关系数理论计算任意两个机台之间的相关系数；根据相关系数与预设条件判断相关系数关联的两个机台的可利用时间率是否需要调整，以及是否同步调整剩余的机台的可利用时间率，使得根据各个机台调整后的可利用时间率计算得到的相关系数满足预设条件。如上配置，可以加强预定线路上机台的可利用时间率的联动性、提高各个机台的利用率、加快芯片的流通速度、减少预定线路上芯片的堆积量，使整个半导体工艺路线生产更加均衡，增加车间的产量。增加车间的产量。增加车间的产量。

【技术实现步骤摘要】
机台联动性的监控方法及监控系统


[0001]本专利技术涉及半导体制造
，特别涉及一种机台联动性的监控方法及监控系统。

技术介绍

[0002]随着半导体技术的发展，芯片的集成度越来越高，半导体工艺也越来越复杂，工艺的跟踪等待时间的限制也越来越多，导致生产计划的调控也越来越困难，工工艺的跟踪等待时间可理解为，在芯片上一个工艺完成的一定时间内(比如8小时)，必须完成芯片在下一个工艺的处理。在实际生产作业中，在整个工艺路线的某一段线路上，既要保证芯片加工过程中不超过相应的工艺的跟踪等待时间，即此线路上不能堆积太多的芯片，又要充分提高此线路上各个机台的利用率，增大此线路上的产出量，这就需要加强此线路上各个机台之间的维护和保养的联动性，调整各个机台的作业时间，从而实现此线路下货更平衡、芯片加工流通速度得到加快、机台的整体利用率得到提高。但是，目前的生产车间中，在上述选定的整个工艺路线的某一线路上的机台维护和保养的联动性不是很好，且没有一种较为科学和合理的方法来监控各个机台之间维护和保养的联动性，进而联动调整各个机台可供作业的时间。
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【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种机台联动性的监控方法，应用于半导体工艺路线，其特征在于，包括：选择有生产工艺时间限制的所述半导体工艺路线中预定线路上的多个机台，并获取各个所述机台的可利用时间率；基于各个所述机台的可利用时间率，根据相关系数理论计算任意两个所述机台之间的相关系数；根据所述相关系数与预设条件来判断所述相关系数关联的两个所述机台的可利用时间率是否需要调整，以及是否同步调整剩余的所述机台的可利用时间率，使得根据各个所述机台调整后的可利用时间率计算得到的相关系数满足所述预设条件。2.根据权利要求1所述的机台联动性的监控方法，其特征在于，所述预设条件包括任意两个所述机台之间的相关系数大于零。3.根据权利要求1或2所述的机台联动性的监控方法，其特征在于，所述相关系数小于或等于零时，调整与所述相关系数关联的两个所述机台的可利用时间率，并同步调整剩余的所述机台的可利用时间率。4.根据权利要求1所述的机台联动性的监控方法，其特征在于，所述机台联动性的监控方法还包括：将计算得到的各个所述机台之间的相关系数形成相关系数矩阵。5.根据权利要求1所述的机台联动性的监控方法，其特征在于，计算任意两个所述机台之间的相关系数之前，所述机台联动性的监控方法还包括：计算任意两个所述机台关于各自可利用时间率的方差，进而计算协方差。6.一种机台联动性的监控系统，应用于半导体工艺路线，其特征在于，包括：数据获取模块，其被配置为选择有生产工艺时间限制...

【专利技术属性】
技术研发人员：张峰，贾宇，程杰，管维康，张嘉炯，
申请(专利权)人：上海华力微电子有限公司，
类型：发明
国别省市：