机台联动性的监控方法及监控系统技术方案

本发明专利技术的机台联动性的监控方法及监控系统中，机台联动性的监控方法包括：选择半导体有生产工艺时间限制的工艺路线中预定线路上的多个机台，并获取各个机台的可利用时间率；基于各个机台的可利用时间率，根据相关系数理论计算任意两个机台之间的相关系数；根据相关系数与预设条件判断相关系数关联的两个机台的可利用时间率是否需要调整，以及是否同步调整剩余的机台的可利用时间率，使得根据各个机台调整后的可利用时间率计算得到的相关系数满足预设条件。如上配置，可以加强预定线路上机台的可利用时间率的联动性、提高各个机台的利用率、加快芯片的流通速度、减少预定线路上芯片的堆积量，使整个半导体工艺路线生产更加均衡，增加车间的产量。增加车间的产量。增加车间的产量。

【技术实现步骤摘要】
机台联动性的监控方法及监控系统


[0001]本专利技术涉及半导体制造
，特别涉及一种机台联动性的监控方法及监控系统。

技术介绍

[0002]随着半导体技术的发展，芯片的集成度越来越高，半导体工艺也越来越复杂，工艺的跟踪等待时间的限制也越来越多，导致生产计划的调控也越来越困难，工工艺的跟踪等待时间可理解为，在芯片上一个工艺完成的一定时间内(比如8小时)，必须完成芯片在下一个工艺的处理。在实际生产作业中，在整个工艺路线的某一段线路上，既要保证芯片加工过程中不超过相应的工艺的跟踪等待时间，即此线路上不能堆积太多的芯片，又要充分提高此线路上各个机台的利用率，增大此线路上的产出量，这就需要加强此线路上各个机台之间的维护和保养的联动性，调整各个机台的作业时间，从而实现此线路下货更平衡、芯片加工流通速度得到加快、机台的整体利用率得到提高。但是，目前的生产车间中，在上述选定的整个工艺路线的某一线路上的机台维护和保养的联动性不是很好，且没有一种较为科学和合理的方法来监控各个机台之间维护和保养的联动性，进而联动调整各个机台可供作业的时间。

技术实现思路

[0003]为解决如
技术介绍
所言的技术问题，本专利技术提供一种机台的联动性的监控方法及监控系统。
[0004]基于本专利技术的一个方面，本专利技术提供一种机台联动性的监控方法，其应用于半导体工艺路线，所述机台联动性的监控方法包括：
[0005]选择有生产工艺时间限制的所述半导体工艺路线中预定线路上的多个机台，并获取各个所述机台的可利用时间率；
>[0006]基于各个所述机台的可利用时间率，根据相关系数理论计算任意两个所述机台之间的相关系数；
[0007]根据所述相关系数判断与预设条件来判断所述相关系数关联的两个所述机台的可利用时间率是否需要调整，以及是否同步调整剩余的所述机台的可利用时间率，使得根据各个所述机台调整后的可利用时间率计算得到的相关系数满足所述预设条件。
[0008]可选的，所述预设条件包括任意两个所述机台之间的相关系数大于零。
[0009]可选的，所述相关系数小于或等于零时，调整与所述相关系数关联的两个所述机台的可利用时间率，并同步调整剩余的所述机台的可利用时间率。
[0010]可选的，所述机台联动性的监控方法还包括：将计算得到的各个所述机台之间的相关系数形成相关系数矩阵。
[0011]可选的，计算任意两个所述机台之间的相关系数之前，所述机台联动性的监控方法还包括：计算任意两个所述机台各自关于可利用时间率的方差，进而计算协方差。
[0012]基于本专利技术的另一个方面，本专利技术还提供一种机台联动性的监控系统，其应用于半导体工艺路线，所述机台联动性的监控系统包括：
[0013]数据获取模块，其被配置为选择有生产工艺时间限制的所述半导体工艺路线中预定线路上的多个机台，并获取各个所述机台的可利用时间率；
[0014]数据处理模块，其被配置为基于各个所述机台的可利用时间率，根据相关系数理论计算任意两个所述机台之间的相关系数；
[0015]数据调整模块，其被配置为根据所述相关系数与预设条件来判断所述相关系数关联的两个所述机台的可利用时间率是否需要调整，以及是否同步调整剩余的所述机台的可利用时间率，使得根据各个所述机台调整后的可利用时间率计算得到的相关系数满足预设条件。
[0016]可选的，所述数据调整模块包括条件配置单元，所述条件配置单元用于配置所述预设条件，使得所述预设条件包括任意两个所述机台之间的相关系数大于零。
[0017]可选的，所述数据调整模块包括判断调整单元，所述判断调整单元用于在所述相关系数小于或等于零时，调整与所述相关系数关联的两个所述机台的可利用时间率，并同步调整剩余的所述机台的可利用时间率。
[0018]可选的，所述数据处理模块包括矩阵形成单元，所述矩阵形成单元用于根据计算得到的各个所述机台之间的相关系数形成相关系数矩阵。
[0019]可选的，所述数据处理模块预处理单元，所述预处理单元用于计算任意两个所述机台各自关于可利用时间率的方差，进而计算协方差。
[0020]综上所述，在本专利技术提供的机台联动性的监控方法及监控系统中，机台联动性的监控方法包括：选择所述半导体工艺路线中预定线路上的多个机台，并获取各个所述机台的可利用时间率；基于各个所述机台的可利用时间率，根据相关系数理论计算任意两个所述机台之间的相关系数；根据所述相关系数判断与预设条件来判断所述相关系数关联的两个所述机台的可利用时间率是否需要调整，以及是否同步调整剩余的所述机台的可利用时间率，使得根据各个所述机台调整后的可利用时间率计算得到的相关系数满足所述预设条件。本专利技术通过相关系数理论计算半导体工艺路线中预定线路上的任意两个机台的相关系数，再根据相关系数判断是否调整此预定线路上的各个机台的可利用时间率，使得重新计算的任意两个机台之间的相关系数满足预设条件，可以加强预定线路上机台的可利用时间率的联动性、提高各个机台的利用率、加快芯片的流通速度、减少预定线路上芯片的堆积量，使整个半导体工艺路线生产更加均衡，增加车间的产量。
附图说明
[0021]本领域的普通技术人员应当理解，提供的附图用于更好地理解本专利技术，而不对本专利技术的范围构成任何限定。其中：
[0022]图1是本专利技术一实施例的机台联动性的监控方法的示意图；
[0023]图2是本专利技术一实施例的机台联动性的监控系统的示意图。
具体实施方式
[0024]为使本专利技术的目的、优点和特征更加清楚，以下结合附图和具体实施例对本专利技术
作进一步详细说明。需说明的是，附图均采用非常简化的形式且未按比例绘制，仅用以方便、明晰地辅助说明本专利技术实施例的目的。此外，附图所展示的结构往往是实际结构的一部分。特别的，各附图需要展示的侧重点不同，有时会采用不同的比例。
[0025]如在本专利技术中所使用的，单数形式“一”、“一个”以及“该”包括复数对象，术语“或”通常是以包括“和/或”的含义而进行使用的，术语“若干”通常是以包括“至少一个”的含义而进行使用的，术语“至少两个”通常是以包括“两个或两个以上”的含义而进行使用的，此外，术语“第一”、“第二”、“第三”仅用于描述目的，而不能理解为指示或暗示相对重要性或者隐含指明所指示的技术特征的数量。由此，限定有“第一”、“第二”、“第三”的特征可以明示或者隐含地包括一个或者至少两个该特征，“一端”与“另一端”以及“近端”与“远端”通常是指相对应的两部分，其不仅包括端点，术语“安装”、“相连”、“连接”应做广义理解，例如，可以是固定连接，也可以是可拆卸连接，或成一体；可以是机械连接，也可以是电连接；可以是直接相连，也可以通过中间媒介间接相连，可以是两个元件内部的连通或两个元件的相互作用关系。此外，如在本专利技术中所使用的，一元件设置于另一元件，通常仅表示两元件之间存在连接、耦合、配合或传动关系，且两元件之间可以是直接的或通过中间元件间接的连接、耦合、配合或传动，而不能理解为指示或暗示两元件之间本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种机台联动性的监控方法，应用于半导体工艺路线，其特征在于，包括：选择有生产工艺时间限制的所述半导体工艺路线中预定线路上的多个机台，并获取各个所述机台的可利用时间率；基于各个所述机台的可利用时间率，根据相关系数理论计算任意两个所述机台之间的相关系数；根据所述相关系数与预设条件来判断所述相关系数关联的两个所述机台的可利用时间率是否需要调整，以及是否同步调整剩余的所述机台的可利用时间率，使得根据各个所述机台调整后的可利用时间率计算得到的相关系数满足所述预设条件。2.根据权利要求1所述的机台联动性的监控方法，其特征在于，所述预设条件包括任意两个所述机台之间的相关系数大于零。3.根据权利要求1或2所述的机台联动性的监控方法，其特征在于，所述相关系数小于或等于零时，调整与所述相关系数关联的两个所述机台的可利用时间率，并同步调整剩余的所述机台的可利用时间率。4.根据权利要求1所述的机台联动性的监控方法，其特征在于，所述机台联动性的监控方法还包括：将计算得到的各个所述机台之间的相关系数形成相关系数矩阵。5.根据权利要求1所述的机台联动性的监控方法，其特征在于，计算任意两个所述机台之间的相关系数之前，所述机台联动性的监控方法还包括：计算任意两个所述机台关于各自可利用时间率的方差，进而计算协方差。6.一种机台联动性的监控系统，应用于半导体工艺路线，其特征在于，包括：数据获取模块，其被配置为选择有生产工艺时间限制...

【专利技术属性】
技术研发人员：张峰，贾宇，程杰，管维康，张嘉炯，
申请(专利权)人：上海华力微电子有限公司，
类型：发明
国别省市：