一种应用双U型钣金的XYZ三向减振结构制造技术

本发明专利技术公开了一种应用双U型钣金的XYZ三向减振结构，包括缓冲板和隔振板，缓冲板包括缓冲板Ⅰ和缓冲板Ⅱ，缓冲板Ⅰ与缓冲板Ⅱ通过螺栓连接固定，隔振板安设在缓冲板Ⅰ上，与现有技术相比，本发明专利技术的有益效果是：该结构安设在微电子封装设备的底部，可实现X轴、Y轴以及Z轴三个方向的振幅，经过系列测试可将Z向振动振幅控制在22微米摄偏差以内，当加装特定发泡软材，可降低至14微米以内，可将Y向振动振幅控制在34微米摄偏差以内，当加装特定发泡软材，可降低至18微米以内，可将X向振动振幅控制在37微米摄偏差以内，当加装特定发泡软材，可降低至21微米以内。至21微米以内。至21微米以内。

【技术实现步骤摘要】
一种应用双U型钣金的XYZ三向减振结构


[0001]本专利技术涉及一种应用双U型钣金的XYZ三向减振结构，具体地，为微电子封装设备组件。

技术介绍

[0002]在微电子封装设备中，需要保证很高的精确度才能达到相应的工艺要求，但是在现有产品中固定结构为简单整体结构，此类结构在工作中会导致产品固定不稳定，并因设备XY运行振动导致产品位移，并进而导致液体分配加工质量欠佳和影响产品安全。
[0003]XY运行振动的根源是高速点位运动（3G加速度，2m/s速度）工作时XZ机构重量惯性能量向基座扩散导致的，所以提高减振效果的配套结构亟待推出。

技术实现思路

[0004]针对现有技术存在的上述问题，本专利技术的目的在于提供一种应用双U型钣金的XYZ三向减振结构，在无额外的基座消振措施的情形下，开发出一种产品固定稳定，不受基座振动影响的结构，以满足精细流体加工时定位的一致性。
[0005]为实现上述专利技术的目的，本专利技术采用的技术方案如下：一种应用双U型钣金的XYZ三向减振结构，包括缓冲板和隔振板，缓冲板包括缓冲板Ⅰ和缓冲板本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种应用双U型钣金的XYZ三向减振结构，包括缓冲板和隔振板，其特征在于：缓冲板包括缓冲板Ⅰ和缓冲板Ⅱ，缓冲板Ⅰ与缓冲板Ⅱ通过螺栓连接固定，缓冲板Ⅱ位于缓冲板Ⅰ底部，隔振板安设在缓冲板Ⅰ上。2.根据权利要求1所述的一种应用双U型钣金的XYZ三向减振结构，其特征在于：缓冲板Ⅰ和缓冲板Ⅱ为钣金件，钣金件两端为对称的双U型结构。3.根据权利要求2所述的一种应用双U型钣金的XYZ三向减振结构，其特征在于：缓冲板Ⅰ和缓冲板Ⅱ上包括平板部和U型部，U型部为平板部两端折弯形成的结构，U型部位于平板部两侧，形成非封闭的钣金结构。4.根据权利要求3所述的一种应用双U型钣金的XYZ三向减振结构，其特征在于：缓冲板Ⅰ上的U型部上远离平板部的一侧设有定位孔Ⅰ，对应地，缓冲板Ⅱ的平板部上设有定位孔Ⅱ。5.根据权利要求4所述的一种应用双U型钣金的XYZ三向减振结构，其特征在于：通过螺栓Ⅰ穿过定位孔Ⅰ和定位孔Ⅱ，实现缓冲板Ⅰ和缓冲板Ⅱ定位。6.根据权利要求5所述的一种应用双U型钣金的XYZ三向减振结构，其特征在于：缓冲板Ⅰ和缓冲板Ⅱ定位后，缓冲板Ⅰ的U型部与缓冲板Ⅱ的U型部相互垂直。7.根据权利要求3所述的一种应用双U型钣金的XYZ三向减振结构，其特征在于：缓冲板Ⅰ的平板部上设有定位孔Ⅲ，螺栓Ⅱ安设在定位...

【专利技术属性】
技术研发人员：潘玉刚，
申请(专利权)人：东莞市恒发电子科技有限公司，
类型：发明
国别省市：