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本发明公开了一种应用双U型钣金的XYZ三向减振结构，包括缓冲板和隔振板，缓冲板包括缓冲板Ⅰ和缓冲板Ⅱ，缓冲板Ⅰ与缓冲板Ⅱ通过螺栓连接固定，隔振板安设在缓冲板Ⅰ上，与现有技术相比，本发明的有益效果是：该结构安设在微电子封装设备的底部，可实现X...
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