探针装置制造方法及图纸

提供一种探针装置，电气特性以及探针负载的偏差足够小，并且使用寿命足够长。包括作为信号端子的探针(3a)(第一金属板)以及作为接地端子的探针(3b)(第二金属板)，端子保持部(4)包括由导电体形成的保持部主体(41)、能够夹持探针(3a、3b、3b)且分别由电介质形成的夹持用构件(42、43)、能够将夹持着探针(3a、3b、3b)的两个夹持用构件(42、43)固定至保持部主体(41)的固定用构件(44)以及阳螺钉(固定件)，探针(3a、3b、3b)在沿板面方向排列的状态下被两个夹持用构件(42、43)夹持，并且前端部(31a、31b、31b)侧的部位分别从两个夹持用构件(42、43)突出，前端部(31a、31b、31b)侧的部位构成为能够沿板厚方向弹性变形。能够沿板厚方向弹性变形。能够沿板厚方向弹性变形。

【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】探针装置


[0001]本专利技术涉及一种探针装置，在该探针装置中，信号端子与接地端子靠近地配置。

技术介绍

[0002]例如，在下述专利文献中公开了一种探针测定系统的专利技术，该探针测定系统的专利技术用于利用高频信号对集成电路以及超小型电子装置的电气特性进行测定。
[0003]该专利文献公开的探针测定系统的晶圆探针(wafer probe 20：以下，也称为“探针装置”)包括半刚性同轴线缆(semirigid coaxial cable 40：以下，也简称为“同轴线缆”)，其中，半刚性同轴线缆具有铜制内部导体(copper inner conductor 41：以下，也简称为“内部导体”)和铜制外部导体(copper outer conductor 43：以下，也简称为“外部导体”)，所述铜制内部导体在前端部焊接有内侧接触端子(inner conductive finger 70)，并且在基端部连接有输入端口(input port 30)，所述铜制外部导体在前端部焊接有外侧接触端子(outer conductive finger 72a、72b)，并且基端部连接并固定于第一支撑块(primary support block 32)，所述晶圆探针采用在上述同轴线缆的弹性回复力的作用下向探测对象推压内侧接触端子以及外侧接触端子的结构。
[0004]此外，在该探针装置中采用了下述结构：在进行探测时使同轴探针产生了弹性变形时，同轴线缆(详细而言，插通有同轴线缆的管(tube 148))与安装于第一支撑块之下的刚性支承块(rigid support block)抵接而使同轴线缆的变形受到限制，由此，能够向探测对象可靠地推压内侧接触端子以及外侧接触端子。现有技术文献专利文献
[0005]专利文献1：美国专利第5506515号说明书

技术实现思路

专利技术所要解决的技术问题
[0006]然而，在上述专利文献公开的探针装置中存在下述应当解决的技术问题。
[0007]具体而言，在上述专利文献公开的探针装置中采用了下述结构：在内侧接触端子(信号端子)焊接于内部导体且外侧接触端子(接地端子)焊接于外部导体的同轴线缆的弹性回复力的作用下，向探测对象推压内侧接触端子以及外侧接触端子。在该情况下，已知，当通过焊接的方式进行导体彼此的连接时，根据焊剂量、焊料量以及焊接处理时的温度等，被焊接的两个导体间的电气特性会变化。因此，在现有的探针装置中存在下述技术问题：根据相对于内侧导体以及外侧导体的内侧接触端子以及外侧接触端子的焊接处理的环境，有时，电气特性会存在偏差。
[0008]此外，在上述探针装置中，当进行探测时，作为探测负荷(向探测对象推压内侧接触端子以及外侧接触端子的力)作用至内侧接触端子以及内部导体的焊接部位或者外侧接触端子以及外部导体的焊接部位的结果，在反复进行探测的过程中，会形成内侧接触端子
容易从内部导体剥离以及外侧接触端子容易从外部导体剥离的状态。因此，上述探针装置还存在使用寿命短的技术问题。
[0009]此外，在上述探针装置中，如前文所述那样采用了在同轴线缆的弹性回复力的作用下产生探针负载(向探测对象推压两个连接端子的力)的结构。因此，为了能够发挥适当大小的探针负载，需要采用具有与这样的探针负载相应的弹性回复力的同轴线缆来构成装置。然而，在这种装置中，从能够采用的高频信号特性优异的同轴线缆中选定具有适当的弹性回复力的同轴线缆是困难的，根据能够获取到的同轴线缆，需要确定能够发挥适当大小的探针负载的各部分的尺寸，因此，还存在其设计自由度降低这一技术问题。
[0010]此外，在上述探针装置中，仅同轴线缆的基端部固定于第一支撑块以及安装于第一支撑块的输入端口，同轴探针的长度方向的中央部以及前端部未在任何部位固定，但采用了在进行探测时同轴线缆的长度方向的中央部与刚性支承块抵接而使变形受到限制的结构。因此，在该探针装置，在进行探测时同轴线缆变形而从其中央部未与刚性支承块抵接的状态转变至与刚性支承块抵接的状态时，探针负载会急剧变大。因此，在该探针装置中存在下述技术问题：在适当大小的探针负载下的探测变得困难。
[0011]本专利技术是鉴于上述技术问题而形成的，其主要目的在于提供一种探针装置，电气特性以及探针负载的偏差足够小，使用寿命足够长，并且设计自由度足够高。解决技术问题所采用的技术方案
[0012]为了实现上述目的，技术方案一的探针装置是信号端子以及接地端子在靠近配置的状态下通过端子保持部进行保持的探针装置，其中，所述探针装置包括作为所述信号端子的第一金属板以及作为所述接地端子的第二金属板，所述端子保持部包括由导电体形成的保持部主体、能够夹持所述第一金属板以及所述第二金属板且分别由电介质形成的一对夹持用构件、能够将夹持着所述第一金属板以及所述第二金属板的状态的两个所述夹持用构件固定至所述保持部主体的固定件，所述第一金属板以及所述第二金属板在沿板面方向排列的状态下被两个所述夹持用构件夹持，并且所述第一金属板以及所述第二金属板的前端部侧部位分别从两个所述夹持用构件突出，所述前端部侧部位构成为能够沿板厚方向弹性变形。
[0013]在技术方案一所述的探针装置的基础上，在技术方案二的探针装置中，所述固定件包括由导电体形成的固定用构件以及由导电体形成的至少两根阳螺钉，并且，构成为：通过插通于在所述固定用构件上形成的螺钉插通部的各所述阳螺钉被拧入配设于所述保持部主体的阴螺纹，能够将夹持着所述第一金属板以及所述第二金属板的两个所述夹持用构件通过所述固定用构件推压并固定至所述保持部主体。
[0014]在技术方案二所述的探针装置的基础上，在技术方案三的探针装置中，所述第二金属板被夹入所述保持部主体与所述固定用构件之间，从而所述第二金属板、所述保持部主体以及所述固定用构件彼此电连接。
[0015]在技术方案二或技术方案三所述的探针装置的基础上，在技术方案四的探针装置中，所述固定用构件夹着与所述夹持用构件抵接的第一部位设置有至少两个部位的第二部位，在各所述第二部位形成螺钉插通部，并且，与所述第一部位的沿所述阳螺钉相对于所述螺钉插通部的插通方向的厚度相比，所述第一部位与所述第二部位之间的第三部位的沿所述插通方向的厚度形成得较薄。
[0016]在技术方案一至技术方案四中任一技术方案所述的探针装置的基础上，在技术方案五的探针装置中，比所述第一金属板以及所述第二金属板的厚度浅的定位用凹部形成于两个所述夹持用构件的至少一者，在该定位用凹部嵌入并定位有所述第一金属板以及所述第二金属板。
[0017]在技术方案一至技术方案五中任一技术方案所述的探针装置的基础上，在技术方案六的探针装置中，所述探针装置包括两块所述第二金属板，所述第一金属板配置在两块所述第二金属板之间。专利技术效果
[0018]在技术方案一所述的探针装置中，端子保持部包括由导电体形成的保持部主体、能够夹持作为信号端子的第一金属板以及作为接地端子的第二金属板且分别由电介质形成的一对夹持用构件、能够将夹持着第一金属板以及第二金属本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】1.一种探针装置，在所述探针装置中，信号端子以及接地端子在靠近配置的状态下通过端子保持部进行保持，其特征在于，所述探针装置包括作为所述信号端子的第一金属板以及作为所述接地端子的第二金属板，所述端子保持部包括由导电体形成的保持部主体、能够夹持所述第一金属板以及所述第二金属板且分别由电介质形成的一对夹持用构件、能够将夹持着所述第一金属板以及所述第二金属板的状态的两个所述夹持用构件固定至所述保持部主体的固定件，所述第一金属板以及所述第二金属板在沿板面方向排列的状态下被两个所述夹持用构件夹持，并且所述第一金属板以及所述第二金属板的前端部侧部位分别从两个所述夹持用构件突出，所述前端部侧部位构成为能够沿板厚方向弹性变形。2.如权利要求1所述的探针装置，其特征在于，所述固定件包括由导电体形成的固定用构件以及由导电体形成的至少两根阳螺钉，并且，构成为：通过插通于在所述固定用构件上形成的螺钉插通部的各所述阳螺钉被拧入配设于所述保持部主体的阴螺纹，能够将夹持着所述第一金属板以及所述第二金属板的两...

【专利技术属性】
技术研发人员：小林昌史，
申请(专利权)人：日置电机株式会社，
类型：发明
国别省市：