传输复合体以及包括其的传输模组制造技术

本发明专利技术公开传输复合体以及包括其的传输模组。一实施例的传输复合体可以包括：金属条，包括在一方向上隔开的一面以及另一面；第一保护片以及第二保护片，分别与金属条的一面以及另一面相邻。第一保护片以及第二保护片可以在380nm以上且800nm以下的波长区域中各自的透光率为0％以上且50％以下，并在380nm以上且800nm以下的波长区域中各自的吸光度为不足95％。由此，一实施例的传输复合体可以从金属条容易分离第一保护片以及第二保护片。条容易分离第一保护片以及第二保护片。条容易分离第一保护片以及第二保护片。

【技术实现步骤摘要】
传输复合体以及包括其的传输模组


[0001]本专利技术涉及传输复合体以及包括其的传输模组，更加详细地涉及包括颜色以及透明度中的至少一个被调整的保护片的传输复合体。

技术介绍

[0002]光刻工艺是在基板上形成金属图案的工艺。光刻工艺用于制造包括集成电路、高集成电路等的半导体以及包括半导体的显示装置等。
[0003]为了形成金属图案，使用掩模条等金属条，金属条可以以层叠的状态进行搬运。在搬运时，可以在层叠的金属条之间提供保护片。保护片需要使杂质的产生最小化的同时保护金属条的功能。

技术实现思路

[0004]本专利技术的目的在于提供一种传输复合体，该传输复合体包括金属条以及与金属条容易分离且杂质的产生得到改善的保护片。
[0005]本专利技术的目的在于提供一种传输模组，该传输模组包括多个传输复合体，该传输复合体包括金属条以及与金属条容易分离且杂质的产生得到改善的保护片。
[0006]一实施例提供一种传输复合体，其包括：金属条，包括在一方向上隔开的一面以及另一面；第一保护片，与所述一面相邻；以及第二保护片，与所述另一面相邻，所述第一保护片以及所述第二保护片分别在380nm以上且800nm以下的波长区域中透光率为0％以上且50％以下，并在380nm以上且800nm以下的波长区域中各自的吸光度为不足95％。
[0007]可以是，所述第一保护片以及所述第二保护片分别包括聚丙烯、聚苯乙烯以及聚乙烯中的至少一种。
[0008]可以是，所述第一保护片以及所述第二保护片中的至少一个包括无光涂层。
[0009]可以是，所述第一保护片包括在所述一方向上隔开的第一面以及第二面，所述第一面以及所述第二面中的至少一个被无光涂层。
[0010]可以是，所述第一保护片以及所述第二保护片分别反射400nm以上且800nm以下、570nm以上且620nm以下或者380nm以上且500nm以下波长的光。
[0011]可以是，所述第一保护片以及所述第二保护片各自包括防静电剂。
[0012]可以是，所述第一保护片以及所述第二保护片各自的厚度为100μm以上且500μm以下。
[0013]可以是，所述第一保护片与所述第二保护片整面重叠，所述第一保护片以及所述第二保护片分别包括：重叠部，与所述金属条重叠；以及非重叠部，配置在所述重叠部的外围且与所述金属条不重叠。
[0014]可以是，所述金属条是用于光刻工艺的掩模条，在平面上所述第一保护片以及所述第二保护片各自的面积大于所述掩模条的面积。
[0015]可以是，在平面上所述第一保护片、所述第二保护片以及所述金属条各自是包括
两个长边以及两个短边的四边形形状，所述第一保护片以及所述第二保护片各自的长边长度比所述金属条的长边长度长20mm以上，所述第一保护片以及所述第二保护片各自的短边长度比所述金属条的短边长度长10mm以上。
[0016]可以是，所述金属条是镍以及铁的合金。
[0017]一实施例提供一种传输模组，其包括：多个金属条，在一方向上层叠；以及两个以上的保护片，配置在所述金属条之间，所述保护片分别在380nm以上且800nm以下的波长区域中透光率为0％以上且50％以下，并在380nm以上且800nm以下的波长区域中吸光度为不足95％。
[0018]可以是，所述传输模组包括相邻的第一传输复合体以及第二传输复合体，所述第一传输复合体以及所述第二传输复合体分别包括：所述多个金属条中的任一个金属条；以及与所述任一个金属条的上面以及下面分别相邻配置的第一保护片以及第二保护片。
[0019]可以是，所述保护片各自包括聚丙烯、聚苯乙烯以及聚乙烯中的至少一种。
[0020]可以是，所述保护片各自包括在所述一方向上隔开的第一面以及第二面，所述第一面以及所述第二面中的至少一个被无光涂层。
[0021]可以是，所述第一面被无光涂层，所述第一面以所述一方向为基准位于上侧。
[0022]可以是，所述保护片各自反射400nm以上且800nm以下、570nm以上且620nm以下或者380nm以上且500nm以下波长的光。
[0023]可以是，所述保护片各自包括防静电剂。
[0024]可以是，在与所述保护片接触的所述金属条的一面上平均杂质数是20个以下。
[0025]可以是，所述金属条包括依次层叠的第一金属条以及第二金属条，所述保护片分别配置在所述第一金属条的上方、所述第一金属条和所述第二金属条之间以及所述第二金属条下方。
[0026](专利技术效果)
[0027]一实施例的传输复合体可以提供金属条以及与金属条容易分离且杂质的产生得到改善的保护片。
[0028]另外，一实施例可以提供一种传输模组，该传输模组包括多个传输复合体，该传输复合体包括金属条以及与金属条容易分离且杂质的产生得到改善的保护片。
附图说明
[0029]图1是示出一实施例的传输复合体的分解立体图。
[0030]图2是示出一实施例的传输复合体的分解立体图。
[0031]图3是示出与图1的I
‑
I'线相对应的部分的截面图。
[0032]图4是示出一实施例的传输复合体的截面图。
[0033]图5是示出一实施例的传输模组的分解立体图。
[0034]图6是示出金属条中含有的杂质数的图表。
[0035](附图标记说明)
[0036]PS：保护片
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MD：金属条
[0037]TC：传输复合体
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TM：传输模组
具体实施方式
[0038]本专利技术可以施加各种变形，可以具有各种形式，将特定实施例在附图中进行例示并在本文中进行详细说明。但是，其并不是要将本专利技术限定为特定的公开形式，应理解为包括包括在本专利技术的构思以及技术范围中的所有变形、等同物乃至替代物。
[0039]在本说明书中，在提及某构成要件(或者区域、层、部分等)“在”其它构成要件“上”、“连接”或者“结合”于其它构成要件的情况下，其意指可以直接配置/连接/结合于其它构成要件上或者也可以在它们之间配置有第三构成要件。
[0040]相同的附图标记指称相同的构成要件。另外，在附图中，构成要件的厚度、比例以及尺寸为了
技术实现思路
的有效说明而放大。
[0041]“及/或”将关联的结构能够定义的一个以上的组合全部包括。
[0042]第一、第二等用语可以用于说明各种构成要件，但是上述构成要件不应被上述用语限定。上述用语仅以将一个构成要件区分于其它构成要件的目的使用。例如，在不脱离本专利技术的权利范围的同时，第一构成要件可以命名为第二构成要件，类似地第二构成要件也可以命名为第一构成要件。除非在文脉上明确不同地表示，否则单数的表述包括复数的表述。
[0043]另外，“之下”、“下侧”、“之上”、“上侧”等用语为了说明图中示出的结构的关联关系而使用。上述用语是相对性概念，以在本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种传输复合体，其中，包括：金属条，包括在一方向上隔开的一面以及另一面；第一保护片，与所述一面相邻；以及第二保护片，与所述另一面相邻，所述第一保护片以及所述第二保护片分别在380nm以上且800nm以下的波长区域中透光率为0％以上且50％以下，并在380nm以上且800nm以下的波长区域中各自的吸光度为不足95％。2.根据权利要求1所述的传输复合体，其中，所述第一保护片以及所述第二保护片分别包括聚丙烯、聚苯乙烯以及聚乙烯中的至少一种。3.根据权利要求1所述的传输复合体，其中，所述第一保护片以及所述第二保护片中的至少一个包括无光涂层。4.根据权利要求1所述的传输复合体，其中，所述第一保护片包括在所述一方向上隔开的第一面以及第二面，所述第一面以及所述第二面中的至少一个被无光涂层。5.根据权利要求1所述的传输复合体，其中，所述第一保护片以及所述第二保护片分别反射400nm以上且800nm以下、570nm以上且620nm以下或者380nm以上且500nm以下波长的光。6.根...

【专利技术属性】
技术研发人员：郑硕彬，罗成进，
申请(专利权)人：三星显示有限公司，
类型：发明
国别省市：