制造多层薄膜的工艺、制造太阳能电池的方法、和制造太阳能电池组件的方法技术

本发明专利技术提供制造多层薄膜的工艺、以及制造太阳能电池的方法、制造多结太阳能电池的方法、制造太阳能电池组件的方法。所述制造多层薄膜的工艺包括：在第一透明电极上形成包含Cu2O作为主要成分的光电转换层；和将具有形成在所述第一透明电极上的所述光电转换层的构件在氧浓度为5.0

【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】制造多层薄膜的工艺、制造太阳能电池的方法、和制造太阳能电池组件的方法


[0001]本专利技术所述的实施方式通常涉及制造多层薄膜的工艺、制造太阳能电池的方法和制造太阳能电池组件的方法。

技术介绍

[0002]高效率太阳能电池的例子包括多结(串联)太阳能电池。串联太阳能电池可以利用对每个波段具有高光谱敏感性的电池，从而其效率高于单结太阳能电池。氧化亚铜化合物是一种廉价材料且具有宽带隙，有望作为串联太阳能电池的顶电池。同时，虽然之前的通过氧化铜箔生产的氧化亚铜太阳能电池的效率据记载约为8％，但效率低于理论最大效率。这可能是因为当铜箔氧化且通过蚀刻去除顶表面上的异质相如氧化铜时，不可能完全去除该相且蚀刻溶液中的组成元素仍然存在。因此，不能形成良好的p
‑
n结。此外，在此过程中还需要先将厚度约0.1mm的箔氧化，然后将其抛光至20μm左右。因此，很难使面积变大。
[0003]作为制造氧化亚铜薄膜的工艺，已知溅射法。在一些报道中，这种工艺已被用于制造氧化亚铜薄膜。但是，其转换效率还有待进一步提高。
[0004]现有技术文献本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】1.一种制造多层薄膜的工艺，其包括：在第一透明电极上形成包含Cu2O作为主要成分的光电转换层；和将具有形成在所述第一透明电极上的所述光电转换层的构件在氧浓度为5.0
×
10
‑8[g/L]至5.0
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‑5[g/L]的第一气氛下放置1h至1600h。2.根据权利要求1所述的制造多层薄膜的工艺，其中，在所述第一气氛下放置期间，所述第一气氛中的水蒸气浓度为5.0
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‑8[g/L]至5.0
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‑5[g/L]。3.根据权利要求1或2所述的制造多层薄膜的工艺，其进一步包括下述工序：在放置到所述第一气氛下之前，将具有形成在所述第一透明电极上的所述光电转换层的构件在0℃至50℃的第二空气气氛下放置1h或更短的时间。4.根据权利要求1至3中任一项所述的制造多层薄膜的工艺，其中，在所述第一气氛下放置期间，所述第一气氛的温度为0℃至100℃。5.根据权利要求1至4中任一项所述的制造多层薄膜的工艺，其中，在所述第一气氛下放置期间，所述第一气氛中的保持时间为72h至1600h。6.根据权利要求1至5中任一项所述的制造多层薄膜的工艺，其中，在所述第一气氛下放置期间，低氧气氛中的氧浓度为5.0
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‑8[g/L]至3.5
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‑5[g/L]，且在所述第一气氛下放置期间，所述低氧气氛中的水蒸气浓度为5.0
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【专利技术属性】
技术研发人员：保西祐弥，芝崎聪一郎，中川直之，山崎六月，平冈佳子，山本和重，
申请(专利权)人：东芝能源系统株式会社，
类型：发明
国别省市：