加工系统、加工方法、机器人系统、连接装置以及终端效果器装置制造方法及图纸

加工系统包括：可动构件，与物体的一部分的相对位置关系能变更；照射装置，朝向物体照射加工光；以及连接装置，以可动构件与照射装置的相对位置关系能变更的方式，来连接可动构件与照射装置，连接装置包括：驱动构件，使可动构件及照射装置中的至少一者移动；以及弹性构件，将可动构件与照射装置予以结合。将可动构件与照射装置予以结合。将可动构件与照射装置予以结合。

【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】加工系统、加工方法、机器人系统、连接装置以及终端效果器装置


[0001]本专利技术涉及一种可利用加工光来加工物体的加工系统及加工方法的
、机器人系统、终端效果器(end effector)装置以及连接机器人与终端效果器的连接装置。

技术介绍

[0002]作为可加工物体的加工系统，专利文献1中记载了一种对物体的表面照射加工光以形成结构的加工系统。此种加工系统中，要求使对物体照射加工光的照射装置与物体的相对位置关系变得适当。
[0003]现有技术文献
[0004]专利文献
[0005]专利文献1：美国专利第4,994,639号

技术实现思路

[0006]根据第一方案，提供一种加工系统，其利用加工光来加工物体，所述加工系统包括：可动构件，与所述物体的一部分的相对位置关系能变更；照射装置，朝向所述物体照射所述加工光；以及连接装置，以所述可动构件与所述照射装置的相对位置关系能变更的方式，来连接所述可动构件与所述照射装置，所述连接装置包括：驱动构件，使所述可动构件及所述照射装置中的至少一者移动；以及弹性构件，将所述可动构件与所述照射装置予以结合。
[0007]根据第二方案，提供一种加工系统，其利用加工光来加工物体，所述加工系统包括：可动构件，与所述物体的一部分的相对位置关系能变更；照射装置，朝向所述物体照射所述加工光；连接装置，以所述可动构件与所述照射装置的相对位置关系能变更的方式，来连接所述可动构件与所述照射装置；以及振动降低装置，降低自所述可动构件朝向所述照射装置的振动。
[0008]根据第三方案，提供一种加工系统，其利用加工光来加工物体，所述加工系统包括：可动构件，与所述物体的一部分的相对位置关系能变更；照射装置，朝向所述物体照射所述加工光；连接装置，以所述可动构件与所述照射装置的相对位置关系能变更的方式，来连接所述可动构件与所述照射装置；以及位置测量装置，测量所述照射装置相对于所述物体或基准位置的位置，所述连接装置包括位置变更构件，所述位置变更构件基于所述位置测量装置得出的位置测量结果，来变更所述照射装置相对于所述可动构件的位置。
[0009]根据第四方案，提供一种加工方法，其利用加工光来加工物体，所述加工方法包括：变更可动构件的位置与所述物体的一部分的位置的位置关系；使用照射装置来朝向所述物体照射所述加工光；变更所述可动构件与所述照射装置的相对位置关系；以及通过包括驱动构件及弹性构件的连接部，来连接所述可动构件与所述照射装置，所述驱动构件使所述可动构件及所述照射装置中的至少一者移动，所述弹性构件将所述可动构件与所述照
射装置予以结合。
[0010]根据第五方案，提供一种加工方法，其利用加工光来加工物体，所述加工方法包括：变更可动构件的位置与所述物体的一部分的位置的位置关系；使用照射装置来朝向所述物体照射所述加工光；变更所述可动构件与所述照射装置的相对位置关系；以及降低自所述可动构件朝向所述照射装置的振动。
[0011]根据第六方案，根据一种加工方法，其利用加工光来加工物体，所述加工方法包括：变更可动构件的位置与所述物体的一部分的位置的位置关系；使用照射装置来朝向所述物体照射所述加工光；测量所述照射装置相对于所述物体或基准位置的位置；以及基于所测量出的所述照射装置的所述位置，来变更所述可动构件与所述照射装置的相对位置关系。
[0012]根据第七方案，提供一种机器人系统，其包括：终端效果器，对物体产生作用；可动构件，与所述物体的一部分的相对关系能变更；以及连接装置，以所述可动构件与所述终端效果器的相对位置关系能变更的方式，来连接所述可动构件与所述终端效果器，所述连接装置包括：驱动构件，使所述可动构件及所述终端效果器中的至少一者移动；以及弹性构件，将所述可动构件与所述终端效果器予以结合。
[0013]根据第八方案，提供一种机器人系统，其包括：终端效果器，对物体产生作用；可动构件，与所述物体的一部分的相对关系能变更；连接装置，以所述可动构件与所述终端效果器的相对位置关系能变更的方式，来连接所述可动构件与所述终端效果器；以及振动降低装置，降低自所述可动构件朝向所述终端效果器的振动。
[0014]根据第九方案，提供一种机器人系统，其包括：终端效果器，对物体产生作用；可动构件，与所述物体的一部分的相对关系能变更；连接装置，以所述可动构件与所述终端效果器的相对位置关系能变更的方式，来连接所述可动构件与所述终端效果器；以及位置测量装置，测量所述终端效果器相对于所述物体或基准位置的位置，所述连接装置包括位置变更构件，所述位置变更构件基于所述位置测量装置得出的位置测量结果，来变更所述终端效果器相对于所述可动构件的位置。
[0015]根据第十方案，提供一种连接装置，其连接终端效果器与可动构件，所述终端效果器对物体产生作用，所述可动构件与所述物体的一部分的相对关系能变更，所述连接装置包括：驱动构件，使所述可动构件及所述终端效果器中的至少一者移动；以及弹性构件，将所述可动构件与所述终端效果器予以结合，所述连接装置以所述可动构件与所述终端效果器的相对位置关系能变更的方式，来连接所述可动构件与所述终端效果器。
[0016]根据第十一方案，提供一种连接装置，其连接终端效果器与可动构件，所述终端效果器对物体产生作用，所述可动构件与所述物体的一部分的相对关系能变更，所述连接装置包括：振动降低装置，降低自所述可动构件朝向所述终端效果器的振动，所述连接装置以所述可动构件与所述终端效果器的相对位置关系能变更的方式，来连接所述可动构件与所述终端效果器。
[0017]根据第十二方案，提供一种连接装置，其连接终端效果器与可动构件，所述终端效果器对物体产生作用，所述可动构件与所述物体的一部分的相对关系能变更，所述连接装置包括：位置变更构件，基于对所述连接装置和/或所述终端效果器相对于所述物体或基准位置的位置进行测量的位置测量装置得出的位置测量结果，来变更所述终端效果器相对于
所述可动构件的位置。
[0018]根据第十三方案，提供一种终端效果器装置，其包括：终端效果器，对物体产生作用；以及连接装置，以可动构件与所述终端效果器的相对位置关系能变更的方式，来连接所述可动构件与所述终端效果器，所述可动构件与所述物体的一部分的相对关系能变更，所述连接装置包括：驱动构件，使所述可动构件及所述终端效果器中的至少一者移动；以及弹性构件，将所述可动构件与所述终端效果器予以结合。
[0019]根据第十四方案，提供一种终端效果器装置，其包括：终端效果器，对物体产生作用；连接装置，以可动构件与所述终端效果器的相对位置关系能变更的方式，来连接所述可动构件与所述终端效果器，所述可动构件与所述物体的一部分的相对关系能变更；以及振动降低装置，降低自所述可动构件朝向所述终端效果器的振动。
[0020]根据第十五方案，提供一种终端效果器装置，其包括：终端效果器，对物体产生作用；连接装置，以可动构件与所述终端效果器的相对位置关系能变更的方式，来连接所述可动构件与所述终端效本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】1.一种加工系统，其利用加工光来加工物体，所述加工系统包括：可动构件，与所述物体的一部分的相对位置关系能变更；照射装置，朝向所述物体照射所述加工光；以及连接装置，以所述可动构件与所述照射装置的相对位置关系能变更的方式，来连接所述可动构件与所述照射装置，所述连接装置包括：驱动构件，使所述可动构件及所述照射装置中的至少一者移动；以及弹性构件，将所述可动构件与所述照射装置予以结合。2.根据权利要求1所述的加工系统，其中所述驱动构件对所述可动构件及所述照射装置中的至少一者给予沿着第一方向的驱动力，所述弹性构件对所述可动构件及所述照射装置中的至少一者，沿着与所述第一方向交叉的第二方向来给予弹性力。3.根据权利要求2所述的加工系统，其中所述弹性构件支撑所述照射装置的重量。4.根据权利要求3所述的加工系统，其中所述弹性构件在所述第二方向上支撑所述重量。5.根据权利要求1至4中任一项所述的加工系统，其中所述驱动构件对所述可动构件及所述照射装置中的至少一者给予沿着第一方向的驱动力，所述弹性构件沿具有沿着所述第一方向的成分的第二方向，对所述可动构件及所述照射装置中的至少一者给予弹性力。6.根据权利要求5所述的加工系统，其中所述驱动构件给予所述驱动力，以变更所述弹性构件的共振频率。7.根据权利要求1至4中任一项所述的加工系统，其中所述弹性构件以所述照射装置的位置及姿势中的至少一者能相对于所述可动构件而变更的方式，来将所述可动构件与所述照射装置予以结合。8.根据权利要求1至7中任一项所述的加工系统，其中所述连接装置包括：第一弹性构件，对所述可动构件及所述照射装置中的至少一者，沿着第一方向来给予弹性力；以及第二弹性构件，对所述可动构件及所述照射装置中的至少一者，沿着与所述第一方向不同的第二方向来给予弹性力。9.根据权利要求1至7中任一项所述的加工系统，其中所述连接构件包括：第一弹性构件，对所述可动构件及所述照射装置中的至少一者，沿着包含重力方向成分的第一方向来给予弹性力；以及第二弹性构件，对所述可动构件及所述照射装置中的至少一者，沿着与所述第一方向不同的第二方向来给予弹性力。10.根据权利要求8或9所述的加工系统，其中所述连接装置包括：第一驱动构件，对所述可动构件及所述照射装置中的至少一者，给予沿着第三方向的驱动力；以及第二驱动构件，对所述可动构件及所述照射装置中的至少一者，给予沿着与所述第三方向不同的第四方向的驱动力。11.根据权利要求1至10中任一项所述的加工系统，其中
所述连接装置将所述可动构件中的与所述物体的一部分的相对位置关系能变更的第一部分、与作为所述照射装置的一部分的第二部分予以连接。12.根据权利要求11所述的加工系统，还包括：控制装置，控制所述驱动构件，以使所述照射装置的振动量小于所述第一部分的振动量。13.根据权利要求11或12所述的加工系统，还包括：移动装置，使所述可动构件的所述第一部分的位置相对于所述物体的所述一部分而移动。14.根据权利要求13所述的加工系统，其中所述驱动构件对所述第二部分的定位精度高于所述移动装置对所述第一部分的定位精度。15.根据权利要求13或14所述的加工系统，其中所述移动装置对所述第一部分的移动范围大于所述驱动构件对所述第二部分的移动范围。16.根据权利要求1至15中任一项所述的加工系统，其包括：位置测量装置，测量所述物体与所述照射装置的相对位置关系，包括使用来自所述位置测量装置的输出，来控制所述驱动构件。17.根据权利要求13至15中任一项所述的加工系统，其包括：位置测量装置，测量所述物体与所述照射装置的相对位置关系，包括使用来自所述位置测量装置的输出，来控制所述移动装置。18.根据权利要求16或17所述的加工系统，其中所述位置测量装置测量所述物体相对于所述照射装置的位置。19.根据权利要求16至18中任一项所述的加工系统，其中所述位置测量装置测量所述照射装置相对于基准位置的位置。20.根据权利要求1至19中任一项所述的加工系统，其中能通过所述照射装置来照射所述加工光的范围是通过所述照射装置的移动而变更。21.根据权利要求1至20中任一项所述的加工系统，其中所述连接装置将所述可动构件中的与所述物体的一部分的相对位置关系能变更的第一部分、与作为所述照射装置的一部分的第二部分予以连接，所述弹性构件降低自所述第一部分朝向所述第二部分的振动，所述驱动构件降低由自所述第一部分朝向所述第二部分的所述振动所引起的、所述第一部分与所述第二部分的相对位移。22.根据权利要求1至21中任一项所述的加工系统，其中所述照射装置包括照射位置变更装置，所述照射位置变更装置相对于所述照射装置来变更所述加工光在所述物体上的照射位置。23.根据权利要求22所述的加工系统，其中所述驱动构件降低因所述照射位置变更装置的动作所引起的、所述照射位置的位置偏离。24.根据权利要求1至23中任一项所述的加工系统，其包括：
多个位置测量装置；以及控制装置，基于与所述多个位置测量装置中的第一位置测量装置的测量基准位置和所述多个位置测量装置中的第二位置测量装置的测量基准位置的相对位置相关的信息、以及所述第一位置测量装置及第二位置测量装置的测量结果，来控制所述驱动构件。25.根据权利要求16至19以及24中任一项所述的加工系统，其中所述位置测量装置包含：指标构件，相对于所述照射装置的相对位置被固定；以及指标测量装置，测量所述指标构件的位置。26.根据权利要求25所述的加工系统，其中所述指标构件包含标记，所述指标测量装置包含能拍摄所述标记的拍摄装置及能接收来自所述标记的光的受光装置中的至少一者。27.根据权利要求25或26所述的加工系统，其中所述指标构件包含能发送信号的发讯装置，所述指标测量装置包含能接收所述信号的接收装置。28.根据权利要求16至19以及24至27中任一项所述的加工系统，其中所述位置测量装置包含测量所述物体的物体测量装置。29.一种加工系统，其利用加工光来加工物体，所述加工系统包括：可动构件，与所述物体的一部分的相对位置关系能变更；照射装置，朝向所述物体照射所述加工光；连接装置，以所述可动构件与所述照射装置的相对位置关系能变更的方式，来连接所述可动构件与所述照射装置；以及振动降低装置，降低自所述可动构件朝向所述照射装置的振动。30.根据权利要求29所述的加工系统，其中所述振动降低装置包括：驱动构件，使所述可动构件及所述照射装置中的至少一者移动；以及弹性构件，将所述可动构件与所述照射装置予以结合。31.根据权利要求30所述的加工系统，其中所述振动降低装置包括控制装置，所述控制装置控制所述驱动构件，以使所述照射装置的振动量小于所述可动构件的振动量。32.根据权利要求31所述的加工系统，还包括：位置测量装置，测量所述物体与所述照射装置的相对位置关系，所述控制装置使用来自所述位置测量装置的输出，来控制所述驱动构件。33.根据权利要求32所述的加工系统，其中所述位置测量装置测量所述照射装置相对于所述物体的位置。34.根据权利要求32或33所述的加工系统，其中所述位置测量装置测量所述照射装置相对于基准位置的位置。35.根据权利要求29至34中任一项所述的加工系统，其中所述照射装置包括照射位置变更装置，所述照射位置变更装置相对于所述照射装置来变更所述加工光在所述物体上的照射位置。36.根据权利要求35所述的加工系统，其中
所述振动降低装置降低因所述照射位置变更装置的动作所引起的、所述照射装置的位置偏离。37.根据权利要求22、23、35或36所述的加工系统，还包括：位置测量装置，测量所述物体与所述照射位置的相对位置关系。38.根据权利要求37所述的加工系统，其中所述位置测量装置测量相对于所述物体的所述照射位置。39.根据权利要求38所述的加工系统，其中对于特性会因所述加工光的照射而发生变化的感应性构件，自所述照射装置照射所述加工光，通过所述位置测量装置来测量所述感应性构件中的所述特性发生了变化的部位。40.根据权利要求29至39中任一项所述的加工系统，其包括：多个位置测量装置；以及控制装置，基于与所述多个位置测量装置中的第一位置测量装置的测量基准位置和所述多个位置测量装置中的第二位置测量装置的测量基准位置的相对位置相关的信息、以及所述第...

【专利技术属性】
技术研发人员：佐藤真路，
申请(专利权)人：株式会社尼康，
类型：发明
国别省市：