一种测量半导体二维材料瞬时散热性能的装置制造方法及图纸

本实用新型专利技术公开了一种测量半导体二维材料瞬时散热性能的装置，包括风道腔，风道腔包括进气口和出风口，风道腔上还开设有透视窗，透视窗用于透过拉曼激光；还包括加热装置，加热装置固定于风道腔内，且加热装置的加热面与透视窗相对，加热装置用于加热放置于其上的测试样品。本实用新型专利技术可以实现在使用现有拉曼光谱测试仪的条件下，完成对不同二维材料与半导体三维结构的瞬时散热效率的测量，并且体积较小，重量较轻，组装和拆卸简易，方便搬运，各部件利用率高。件利用率高。件利用率高。

【技术实现步骤摘要】
一种测量半导体二维材料瞬时散热性能的装置


[0001]本申请涉及拉曼光谱仪领域，具体为一种可应用于拉曼系统下测量半导体二维材料瞬时散热性能的装置，特别涉及用于当二维材料与不同三维结构相结合时的散热效率的测量。

技术介绍

[0002]拉曼散射是印度科学家(RamanCV)于1928年发现，指材料中分子对光子的一种非弹性散射效应。基于拉曼散射的发现，拉曼光谱表征技术已迅速发展起来，是一种典型的光谱分析技术。拉曼光谱扫描是一种无损的探测技术，依靠该技术可测量样品的化学结构、分子互相作用和材料导热率等信息。相比于其他常规化学分析技术，拉曼光谱分析技术拥有很多优势，例如检测时间短、操作简便、无需样品预处理以及对样品的无损伤测量等。拉曼光谱测量从最初的太阳日光作为聚焦光源，到现在的快速发展出的激光作为聚焦光源，拉曼光谱测试仪的实际应用得到了空前地发展。
[0003]目前，拉曼光谱技术在化工、微电子、以及材料分析等多个领域得到了广泛的应用，尤其是对于二维微纳材料的研究，它已经成为首选的工具之一。相比较于其他光学表征技术，例如光学显微镜、扫描隧道显微镜本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种测量半导体二维材料瞬时散热性能的装置，其特征在于，包括：风道腔，所述风道腔包括进气口和出风口，所述风道腔上还开设有透视窗，所述透视窗用于透过拉曼激光；加热装置，所述加热装置固定于所述风道腔内，且所述加热装置的加热面与所述透视窗相对，所述加热装置用于加热放置于其上的测试样品。2.根据权利要求1所述的测量半导体二维材料瞬时散热性能的装置，其特征在于，所述风道腔包括箱式的腔体和与所述腔体可拆卸连接的盖板；所述腔体上设置有进气口和出风口；所述盖板包括板体和透视窗；所述透视窗开设于所述板体上，用于透过拉曼激光。3.根据权利要求2所述的测量半导体二维材料瞬时散热性能的装置，其特征在于，所述透视窗包括高透石英玻璃和玻璃压盖；所述高透石英玻璃设置于所述板体靠近所述腔体的一侧；所述玻璃压盖设置于所述板体远离所述腔体的一侧，用于将所述高透石英玻璃固定于所述板体上。4.根据权利要求3所述的测量半导体二维材料瞬时散热性能的装置，其特征在于，所述板体上开设有边缘呈阶梯状的透视孔；所述透视孔由第一凹槽、第二凹槽和第三凹槽组成，所述第一凹槽的直径小于第二凹槽，所述第二凹槽的直径小于第三凹槽；所述第一凹槽设置于所述板体靠近所述腔体的一侧，用于放置所述高透石英玻璃；所述...

【专利技术属性】
技术研发人员：张亦弛，王业亮，黄元，刘立巍，张腾，
申请(专利权)人：北京理工大学，
类型：新型
国别省市：