一种立式连续退火炉的气体回收装置制造方法及图纸

本实用新型专利技术属于立式退火炉领域，具体为一种立式连续退火炉的气体回收装置，包括导气管，所述导气管的外端固定连接有净水箱体，所述导气管和净水箱体之间设置有槽框，且槽框的内侧设置有与其相适配的卡框，所述净水箱体的内侧设置有导热管，所述净水箱体顶部的两侧分别设置有补水口和排水管，所述净水箱体的输出端固定连接有传输管。该立式连续退火炉的气体回收装置，通过净水箱体内侧导热管的设置，能够通过其U形的设置增加其内侧高温尾气与导热管中净水的接触面积，进而能够将尾气中热能输送至净水中并对其进行存储，从而达到对气体热能进行高效回收的效果，解决了现有装置难以对尾气中热能进行高效回收利用的问题。尾气中热能进行高效回收利用的问题。尾气中热能进行高效回收利用的问题。

【技术实现步骤摘要】
一种立式连续退火炉的气体回收装置


[0001]本技术涉及立式退火炉领域，具体为一种立式连续退火炉的气体回收装置。

技术介绍

[0002]退火炉是在半导体器件制造中使用的一种工艺，其包括加热多个半导体晶片以影响其电性能，热处理是针对不同的效果而设计的，可以加热晶片以激活掺杂剂，将薄膜转换成薄膜或将薄膜转换成晶片衬底界面，使致密沉积的薄膜，改变生长的薄膜的状态，修复注入的损伤，移动掺杂剂或将掺杂剂从一个薄膜转移到另一个薄膜或从薄膜进入晶圆衬底。
[0003]现有退火炉在工作时需要不断向外排出尾气，一般退火炉都配备有油烟雾净化装置，但是现有净化装置只能对尾气进行净化排放，而难以对其热能进行高效回收和利用。
[0004]为解决上述问题，本技术中提出一种立式连续退火炉的气体回收装置。

技术实现思路

[0005](一)技术目的
[0006]为解决
技术介绍
中存在的技术问题，本技术提出一种立式连续退火炉的气体回收装置，具有能够高效对尾气中热能进行高效回收和利用的特点。
[0007](二)技术方案<br/>[0008]本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种立式连续退火炉的气体回收装置，其特征在于，包括导气管(1)，所述导气管(1)的外端固定连接有净水箱体(3)，所述导气管(1)和净水箱体(3)之间设置有槽框(2)，且槽框(2)的内侧设置有与其相适配的卡框(12)，所述净水箱体(3)的内侧设置有导热管(4)，所述净水箱体(3)顶部的两侧分别设置有补水口(11)和排水管(9)，所述净水箱体(3)的输出端固定连接有传输管(8)，所述净水箱体(3)通过传输管(8)固定连接有油烟雾净化装置(6)，且油烟雾净化装置(6)的输出端固定连接有排气管(7)，所述导热管(4)由若干个U型管连接组装而成，所述导热管(4)的输入端与导气管(1)进行固定连接，且导热管(4)的输出端穿过净水箱体(3)与传输管(8)进行固定连接。2.根据权利要求1所述的一种立式连续退火炉的气体回收装置，其特征在于，所述导热管(4)的输出端与传输管(8)之间设置有分气板(5)，所述分气板(5)设置有三个输出端，且传输管(8)由三根橡胶管组装而成。3.根据权利要求1所述的一种立式连续退火炉的气体回收装置，其特征在于，所述槽框(2)的外壁固定连接有外贴板(15)，所述外贴板(15)的内侧固定套装...

【专利技术属性】
技术研发人员：伍小轲，麦贤德，赵亮，
申请(专利权)人：上海闿宝热工科技有限公司，
类型：新型
国别省市：