本实用新型专利技术属于三氯氢硅生产技术领域，尤其涉及新型合成三氯氢硅的生产装置，包括三氯氢硅反应器A，三氯氢硅反应器A上设有第一进气管、第一进料管和第一排气管，第一排气管远离三氯氢硅反应器A端连接有第一除尘装置，第一除尘装置的排气端通过管道连接有喷淋塔，喷淋塔的排气端通过管道连接有氯化氢吸收器，氯化氢吸收器的排气端通过管道连接有第一精馏器，第一精馏器的排气端通过管道连接有第二精馏器，第二精馏器的排气端连接有三氯氢硅反应器B，排液端通过管道连接有三氯氢硅存储罐A。本实用新型专利技术结构简单，操作方便，能够对三氯氢硅生产过程中产生的四氯化硅，硅粉和氯化氢进行回收利用，防止资源浪费。防止资源浪费。防止资源浪费。
【技术实现步骤摘要】
新型合成三氯氢硅的生产装置
[0001]本技术属于三氯氢硅生产
，尤其是新型合成三氯氢硅的生产装置。
技术介绍
[0002]多晶材料是以硅为原料经一系列物理化学反应提纯后达到一定纯度的电子材料，是硅产品产业链中一个极为重要的中间产品，是制造硅抛光片、太阳能电池及高纯硅制品的主要原料，是半导体、电子信息业、太阳能光伏电池业最基础的功能性材料。现有技术广泛采用西门子法制备多晶硅，在三氯氢硅合成炉中，碳粉和氯化氢气体反应生产三氯氢硅，反应温度控制在280℃
‑
320℃左右，该反应过程中有少量副产物二氯二氢硅和四氯化硅产生。三氯氢硅合成系统中，三氯氢硅是通过工业级硅粉与氯化氢在合成炉内进行反应生产的。在三氯氢硅合成过程中产生四氯化硅和氯化氢，没有被利用，造成能源浪费。
技术实现思路
[0003]本技术的目的是提供新型合成三氯氢硅的生产装置，结构简单，操作方便，能够对三氯氢硅生产过程中产生的四氯化硅，硅粉和氯化氢进行回收利用，防止资源浪费。
[0004]为了解决上述技术问题，本技术采用以下技术方案：
[0005]新型合成三氯氢硅的生产装置，包括三氯氢硅反应器A，所述三氯氢硅反应器A上设有第一进气管、第一进料管和第一排气管，所述第一进气管远离三氯氢硅反应器A端连接有氯化氢存储罐，所述第一进料管远离三氯氢硅反应器A端连接有硅粉存储罐，第一排气管远离三氯氢硅反应器A端连接有第一除尘装置，所述第一除尘装置的排气端通过管道连接有喷淋塔，所述喷淋塔的排气端通过管道连接有氯化氢吸收器，所述氯化氢吸收器的排气端通过管道连接有第一精馏器，所述第一精馏器的排气端通过管道连接有第二精馏器，排液端连接有二氯二氢硅存储箱，所述第二精馏器的排气端连接有三氯氢硅反应器B，排液端通过管道连接有三氯氢硅存储罐A，所述三氯氢硅反应器B上设有第二进气管、第二进料管和第二排气管，所述第二进气管远离三氯氢硅反应器B端连接有第一氢气存储罐，所述第二进料管远离三氯氢硅反应器B端与硅粉存储罐相连接，所述第二排气管通过管道连接有第二除尘装置，所述第二除尘装置的排气端通过管道连接有第三精馏器，所述第三精馏器的排气端连接有三氯氢硅存储罐B，排液端连接有第二氢气存储罐。
[0006]优选的，所述第一除尘装置和第二除尘装置均包括第一旋风除尘器和第二旋风除尘器，所述第一除尘装置的排尘端通过管道与三氯氢硅反应器A相连接，所述第二除尘装置的排尘端通过管道与三氯氢硅反应器B相连接，通过第一除尘装置和第二除尘装置对气体中的硅粉进行过滤，并重新加入反应器中进行利用。
[0007]本技术还包括能够使该新型合成三氯氢硅的生产装置正常使用的其它组件，均为本领域的常规技术手段。另外，本技术中未加限定的装置或组件均采用本领域中的常规技术手段。
[0008]本技术使用时，通过硅粉存储罐和氯化氢存储罐向三氯氢硅反应器A中加入
硅粉和氯化氢，硅粉和氯化氢在三氯氢硅反应器A中发生反应，从三氯氢硅反应器A排出的气体经第一除尘装置和喷淋塔将硅粉滤出，经氯化氢吸收器气体中的氯化氢进行吸收，除去氯化氢的气体经第一精馏器将二氯二氢硅蒸馏出，经第二精馏器将三氯氢硅蒸馏出，四氯化硅经管道进入三氯氢硅反应器B，同时氢气和硅粉也进入三氯氢硅反应器B进行反应，从三氯氢硅反应器B排出的气体经第二除尘装置除尘，再经第三精馏器精馏后将氢气和三氯氢硅分离，第二除尘装置过滤出的硅粉重新加入三氯氢硅反应器B中进行反应，经氯化氢吸收器吸收的氯化氢，经处理后变成氯化氢气体被重新利用。
[0009]本技术的有益效果是，结构简单，操作方便，能够对三氯氢硅生产过程中产生的四氯化硅，硅粉和氯化氢进行回收利用，防止资源浪费。
附图说明
[0010]下面结合附图和实施例对本技术进一步说明。
[0011]图1是本技术的整体结构示意图。
具体实施方式
[0012]下面结合本技术实施例中的附图以及具体实施例对本技术进行清楚地描述，在此处的描述仅仅用来解释本技术，但并不作为对本技术的限定。基于本技术中的实施例，本领域技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，所做的任何修改、等同替换、改进等，均应包含在本技术的保护范围之内。
[0013]实施例
[0014]如图1所示，新型合成三氯氢硅的生产装置，包括三氯氢硅反应器A1，所述三氯氢硅反应器A1上设有第一进气管、第一进料管和第一排气管，所述第一进气管远离三氯氢硅反应器A1端连接有氯化氢存储罐18，所述第一进料管远离三氯氢硅反应器A1端连接有硅粉存储罐17，第一排气管远离三氯氢硅反应器A1端连接有第一除尘装置，所述第一除尘装置的排气端通过管道连接有喷淋塔4，所述喷淋塔4的排气端通过管道连接有氯化氢吸收器5，所述氯化氢吸收器5的排气端通过管道连接有第一精馏器6，所述第一精馏器6的排气端通过管道连接有第二精馏器8，排液端连接有二氯二氢硅存储箱7，所述第二精馏器8的排气端连接有三氯氢硅反应器B16，排液端通过管道连接有三氯氢硅存储罐A9，所述三氯氢硅反应器B16上设有第二进气管、第二进料管和第二排气管，所述第二进气管远离三氯氢硅反应器B16端连接有第一氢气存储罐15，所述第二进料管远离三氯氢硅反应器B16端与硅粉存储罐17相连接，所述第二排气管通过管道连接有第二除尘装置，所述第二除尘装置的排气端通过管道连接有第三精馏器12，所述第三精馏器12的排气端连接有三氯氢硅存储罐B10，排液端连接有第二氢气存储罐11。
[0015]所述第一除尘装置和第二除尘装置均包括第一旋风除尘器2和第二旋风除尘器3，所述第一除尘装置的排尘端通过管道与三氯氢硅反应器A1相连接，所述第二除尘装置的排尘端通过管道与三氯氢硅反应器B16相连接，通过第一除尘装置和第二除尘装置对气体中的硅粉进行过滤，并重新加入反应器中进行利用。
[0016]本技术使用时，通过硅粉存储罐17和氯化氢存储罐18向三氯氢硅反应器A1中加入硅粉和氯化氢，硅粉和氯化氢在三氯氢硅反应器A1中发生反应，从三氯氢硅反应器A1
排出的气体经第一除尘装置和喷淋塔4将硅粉滤出，经氯化氢吸收器5气体中的氯化氢进行吸收，除去氯化氢的气体经第一精馏器6将二氯二氢硅蒸馏出，经第二精馏器8将三氯氢硅蒸馏出，四氯化硅经管道进入三氯氢硅反应器B16，同时氢气和硅粉也进入三氯氢硅反应器B16进行反应，从三氯氢硅反应器B16排出的气体经第二除尘装置除尘，再经第三精馏器12精馏后将氢气和三氯氢硅分离，第二除尘装置过滤出的硅粉重新加入三氯氢硅反应器B16中进行反应，经氯化氢吸收器5吸收的氯化氢，经处理后变成氯化氢气体被重新利用。
[0017]以上已经描述了本技术的实施例，上述说明是示例性的，并非穷尽性的，并且也不限于所披露的实施例。在不偏离所说明实施例的范围和精神的情况下，对于本
的普通技术人员来说许多修改和变更都是显而易见的。
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【技术保护点】
【技术特征摘要】
1.新型合成三氯氢硅的生产装置，包括三氯氢硅反应器A(1)，其特征在于：所述三氯氢硅反应器A(1)上设有第一进气管、第一进料管和第一排气管，所述第一进气管远离三氯氢硅反应器A(1)端连接有氯化氢存储罐(18)，所述第一进料管远离三氯氢硅反应器A(1)端连接有硅粉存储罐(17)，第一排气管远离三氯氢硅反应器A(1)端连接有第一除尘装置，所述第一除尘装置的排气端通过管道连接有喷淋塔(4)，所述喷淋塔(4)的排气端通过管道连接有氯化氢吸收器(5)，所述氯化氢吸收器(5)的排气端通过管道连接有第一精馏器(6)，所述第一精馏器(6)的排气端通过管道连接有第二精馏器(8)，排液端连接有二氯二氢硅存储箱(7)，所述第二精馏器(8)的排气端连接有三氯氢硅反应器B(16)，排液端通过管道连接有三氯氢硅存储罐A(9...
【专利技术属性】
技术研发人员：秦小勇，陈建祥，贺绍大，马强强，
申请(专利权)人：河南尚宇新能源股份有限公司，
类型：新型
国别省市：
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