一种核磁共振波谱检测平面微线圈及其制作方法技术

一种核磁共振检测平面微线圈及其制作方法，平面微线圈（１）为螺旋形，位于绝缘衬底（２）上表面，用铜制作。绝缘衬底（２）材料为玻璃或聚合物。平面微线圈（１）带有内侧和外侧两个端部焊盘（４、５），平面微线圈（１）与相应的两个端部焊盘（４、５）为一体，一次铜微电镀成形。焊盘（４、５）厚度与平面微线圈（１）的厚度相同。平面微线圈（１）制作方法包括光刻胶掩模工艺与铜微电镀工艺，掩模光刻工艺用于制作微电镀时所用掩模，铜微电镀工艺用于在光刻胶掩模中制作微米级结构精度的平面微线圈。本发明专利技术平面微线圈可以用于核磁共振纳升级样品成分与分子结构分析，也可用于核磁共振微成像，如对单一细胞进行观察。

【技术实现步骤摘要】

本专利技术涉及一种核磁共振检测平面微线圈及其制作方法，特别涉及用于微量化学样品核 磁共振波谱检测的平面微线圈及其制作方法。
技术介绍
核磁共振波谱微检测技术是在常规核磁共振检测技术的基础上发展而来的，常规核磁共 振检测技术是指基于核磁共振原理，利用5mm螺线管探头进行生物-化学样品分子组成与 结构分析、生物组织分析、病理分析、医疗诊断以及工业产品无损监测等。但是，和其他成 熟的化学分析技术相比，常规核磁共振检测技术的质量灵敏度比较小，最小仅为10'9 mol。 瑞士禾斗学家C. Massin石开究发5见(C. Massin， F. Vincent, A. Homsy, et al.， Planar microcoil-based microfluidic NMR probes. Journal of Magnetic Resonance, 163 (2003)， 1-14.)，核磁共振检测灵 敏度一方面与探头-样品间耦合程度、与探头材料-样品间磁导率匹配程度有关，另一方面还 与探头中微线圈尺寸成反比。美国Peck等人研制出应用于纳升级样品的直径50 IJm螺线管形微线圈(T丄.Pe本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种核磁共振波谱检测平面微线圈，其特征在于线圈形状为螺旋形，用铜制作，平面微线圈（１）带有内侧和外侧两个端部焊盘（４、５），平面微线圈（１）与相应的两个端部焊盘（４、５）为一体，一次铜微电镀成形；端部焊盘（４、５）为方形或圆形焊盘，焊盘（４、５）厚度与平面微线圈（１）的厚度相同；平面微线圈（１）的绝缘衬底（２）为玻璃或聚合物。

【技术特征摘要】
1、一种核磁共振波谱检测平面微线圈，其特征在于线圈形状为螺旋形，用铜制作，平面微线圈(1)带有内侧和外侧两个端部焊盘(4、5)，平面微线圈(1)与相应的两个端部焊盘(4、5)为一体，一次铜微电镀成形；端部焊盘(4、5)为方形或圆形焊盘，焊盘(4、5)厚度与平面微线圈(1)的厚度相同；平面微线圈(1)的绝缘衬底(2)为玻璃或聚合物。2、 制作权利要求1所述的核磁共振波谱检测平面微线圈的方法，其特征在于包括光刻 微电镀用掩模和制作平面微线圈的铜微电镀两步工艺过程。3、 根据权利要求3所述的制作核磁共振波谱检测平面微线圈的方法，其特征在于铜微 电镀具体工艺步骤如下-(1) 按照所述铜电镀液(16)配方配制一定体积的铜电镀液(16),然后倒入一定容量 的烧杯(15)中，所述烧杯(15)体积应保证将阳极(13)和阴极(14)极板垂直立于溶 液中后，两个极板完全浸于溶液中，且搅拌磁颗粒(17)转动时远离两个极板(13、 14);(2) 取两段适当长度的导线，两段导线的一端均带有一个小鳄鱼夹，用于分别夹住两 个极板(13、 14)，两段导线另一端分别连接于恒流电流源正极(20)和负极(21);(3) 测量阴极平面微线圈图形阵列的面积，根据所述阴极(14) /阳极(13)面积之比， 计算所需阳极(13)的面积；(4) 根据所需的铜镀层厚度及铜微电镀速度，计算所需的微电镀时间；(5) 根据...

【专利技术属性】
技术研发人员：李晓南，赵武贻，王明，杨文晖，
申请(专利权)人：中国科学院电工研究所，
类型：发明
国别省市：11[中国|北京]