【技术实现步骤摘要】
高纯度砷烷提纯及收集装置
[0001]本专利技术涉及砷烷生产
，特别是涉及一种高纯度砷烷提纯及收集装置。
技术介绍
[0002]砷烷(AsH3)又称砷化氢、胂，无色、可燃、剧毒。在半导体行业中，高纯砷烷作为一种常用的电子特气，被广泛应用于半导体外延膜N型掺杂和扩散工艺以及离子注入工艺等。通常情况下，砷烷浓度达到5N
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6N以上才用于生产高端电子设备。保证收集到的砷烷产品浓度符合电子气标准是高效利用砷烷的关键环节。纯化砷烷的方法有很多，常见的有化学吸附柱吸附、分子筛吸附柱吸附、冷凝器吸附等，这些方法均能达到一定的纯化效果，但是很难保证产品纯度达到6N。
技术实现思路
[0003]本专利技术的目的是提供一种高纯度砷烷提纯及收集装置，用于实现高纯度砷烷的连续收集。
[0004]为实现上述目的，本专利技术提供了如下方案：
[0005]本专利技术公开了一种高纯度砷烷提纯及收集装置，包括：
[0006]用于将液相砷烷加热蒸发的精馏塔塔釜，所述精馏塔塔釜具有加热循环器；
【技术保护点】
【技术特征摘要】
1.一种高纯度砷烷提纯及收集装置，其特征在于，包括：用于将液相砷烷加热蒸发的精馏塔塔釜，所述精馏塔塔釜具有加热循环器；用于将气相砷烷冷凝的精馏塔，所述精馏塔具有冷凝器，所述精馏塔的入口与所述精馏塔塔釜的出口连通；用于监测并收集含有砷烷的不凝汽的管路系统，所述管路系统包括主管路、第一分支管路和第二分支管路，所述主管路的入口与所述精馏塔的出口连通，所述主管路的出口同时与所述第一分支管路的入口和所述第二分支管路的入口连通；所述主管路上设有用于监测砷烷纯度的第一在线分析仪；所述第一分支管路的出口与第一低温收集装置连通；所述第二分支管路上沿砷烷输送方向依次设有终端纯化器、过滤器和第二在线分析仪，所述第二分支管路的出口与第二低温收集装置连通；所述主管路、所述第一分支管路和所述第二分支管路上分别设有第一气动阀、第二气动阀和第三气动阀，所述第一气动阀位于所述第一在线分析仪前侧，所述第二气动阀位于所述第一低温收集装置前侧，所述第三气动阀位于所述终端纯化器前侧。2.根据权利要求1所述的高纯度砷烷提纯及收集装置，其特征在于，所述第二低温收集装置包括第一收集罐、第二收集罐和第三收集罐，所述第二分支管路具有并联设置的第一分支出口和第二分支出口，所述第一收集罐与所述第一...
【专利技术属性】
技术研发人员：候星成，任少科，张澈，于枫，苏耀华，
申请(专利权)人：中昊光明化工研究设计院有限公司，
类型：发明
国别省市：
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