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本发明公开了一种高纯度砷烷提纯及收集装置，包括精馏塔塔釜、精馏塔和管路系统。其中，精馏塔塔釜用于将液相砷烷加热蒸发，精馏塔塔釜具有加热循环器。精馏塔用于将气相砷烷冷凝，精馏塔具有冷凝器，精馏塔的入口与精馏塔塔釜的出口连通。管路系统用于监测并...
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