一种实现宽幅纳米颗粒束流的团簇束流沉积设备制造技术

本发明专利技术公开了一种实现宽幅纳米颗粒束流的团簇束流沉积设备，包括中心溅射靶枪和侧溅射靶枪，所述中心溅射靶枪连接有驱动其旋转的驱动机构；所述中心溅射靶枪上固定套设有中心齿轮，所述中心齿轮啮合有行星齿轮，所述行星齿轮啮合有内齿圆；所述行星齿轮的中部套设有套筒，所述套筒采用圆管型结构。本发明专利技术通过设置中心齿轮，中心齿轮啮合有行星齿轮，行星齿轮啮合有内齿圆，中心齿轮转动后会带动行星齿轮沿着内齿圆圆周运动，从而实现侧溅射靶枪圆周溅射与中心溅射靶枪的溅射外圈重合。本发明专利技术通过设置溅射靶调节机构，通过带动齿条与齿轮的啮合实现套筒内侧溅射靶枪的偏转，但不宜偏转较大，否则容易造成溅射局部不均匀。否则容易造成溅射局部不均匀。否则容易造成溅射局部不均匀。

【技术实现步骤摘要】
一种实现宽幅纳米颗粒束流的团簇束流沉积设备


[0001]本专利技术涉及团簇束流沉积
，尤其涉及一种实现宽幅纳米颗粒束流的团簇束流沉积设备。

技术介绍

[0002]纳米结构材料因小尺寸的精细调控、崭新的物理和化学性质成为当前先进材料领域的研究热点，也是近年来材料工程中关注的热点之一。纳米制造是指通过机械学、物理学、化学、生物学、材料科学等方法实现纳米尺寸结构的可控加工和相关材料和器件的可控制备，并关心纳米尺度与纳米精度下加工、成形、改性和跨尺度制造等等。所以，纳米制造工艺是当前纳米科技发展的关键。
[0003]现有技术中，例如专利号CN103789734B公开的一种中性团簇束流喷嘴集群实现宽幅纳米颗粒束流的方法，所述束流喷嘴集群由束流集群板即集成束流枪实现，束流集群板分为两层，第一层为多个集成束流枪的喷嘴，第二层为分离器，分离器与喷嘴一一对应，分离器与喷嘴的轴线在一条直线上，两层的间距为0.5cm到5cm之间。本专利技术构成可用于较大面积和较大通量纳米加工的纳米颗粒束流，实现较大面积的纳米喷涂。借此实现的高颗粒通量的宽幅纳米束流将有本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种实现宽幅纳米颗粒束流的团簇束流沉积设备，其特征在于，包括中心溅射靶枪(1)和侧溅射靶枪(2)，所述中心溅射靶枪(1)连接有驱动其旋转的驱动机构(11)；所述中心溅射靶枪(1)上固定套设有中心齿轮(4)，所述中心齿轮(4)啮合有行星齿轮(5)，所述行星齿轮(5)啮合有内齿圆(3)；所述行星齿轮(5)的中部套设有套筒(8)，所述套筒(8)采用圆管型结构，所述侧溅射靶枪(2)通过转轴(9)转动连接在套筒(8)内；所述套筒(8)的外表面固定连接有连接臂(6)，所述连接臂(6)上转动连接有轴套(7)，所述轴套(7)套设在中心溅射靶枪(1)上；所述套筒(8)上设置有溅射靶调节机构(10)，所述溅射靶调节机构(10)用于调节侧溅射靶枪(2)的溅射角度。2.根据权利要求1所述的一种实现宽幅纳米颗粒束流的团簇束流沉积设备，其特征在于，所述溅射靶调节机构(10)由自锁驱动机构和角度调节机构两部分构成。3.根据权利要求2所述的一种实现宽幅纳米颗粒束流的团簇束流沉积设备，其特征在于，所述自锁驱动机构由电机(105)、蜗轮(101)和蜗杆(102)构成，所述电机(105)固定连接在套筒(8)的外壁上，所述电机(105)的输出端固定连接有蜗杆(102)，所述蜗杆(102)与蜗轮(101)啮合。4.根据权利要求3所述的一种实现宽幅纳米颗粒束流的团簇束流沉积设备，其特征在于，所述角度调节机构由丝杆(103)、螺母(104)、齿条(106)和齿轮(107)构成，所述丝杆(103)与螺母(104)螺...

【专利技术属性】
技术研发人员：刘风光，吴鹏，杜寅昌，汪建，赵巍胜，
申请(专利权)人：北京航空航天大学合肥创新研究院北京航空航天大学合肥研究生院，
类型：发明
国别省市：