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本发明公开了一种实现宽幅纳米颗粒束流的团簇束流沉积设备，包括中心溅射靶枪和侧溅射靶枪，所述中心溅射靶枪连接有驱动其旋转的驱动机构；所述中心溅射靶枪上固定套设有中心齿轮，所述中心齿轮啮合有行星齿轮，所述行星齿轮啮合有内齿圆；所述行星齿轮的中部...该专利属于北京航空航天大学合肥创新研究院（北京航空航天大学合肥研究生院）所有，仅供学习研究参考，未经过北京航空航天大学合肥创新研究院（北京航空航天大学合肥研究生院）授权不得商用。