电荷泵电路结构及微型电荷泵制造技术

本发明专利技术涉及一种电荷泵电路结构及微型电荷泵，其中，电荷泵电路结构包括：集成于调理电路芯片上的电路模块以及集成于MEMS结构芯片上的电容模块；电路模块与电容模块电性连接，电路模块包含多级相连的电荷泵电路，上级电荷泵电路的输出作为相连的下级电荷泵电路的输入，其中，电容模块连接于最后一级的电荷泵电路中以增加最后一级电荷泵电路的输出。通过上述方式，能够减小产品尺寸，降低生产成本，实现电荷泵小型化和高度集成化。电荷泵小型化和高度集成化。电荷泵小型化和高度集成化。

【技术实现步骤摘要】
电荷泵电路结构及微型电荷泵


[0001]本专利技术涉及集成电路和微机电系统
，特别是涉及一种电荷泵电路结构及微型电荷泵。

技术介绍

[0002]微机电系统(MEMS)是在微电子技术基础上发展起来的，融合了微传感器、微执行器、微机械结构、微电源微能源、信号处理和控制电路、高性能电子集成器件、接口、通信等于一体的微型器件或系统。MEMS产品通常由MEMS机械结构和信号调理电路两个部分组成。常见的产品包括MEMS麦克风、微马达、微泵、微振子、MEMS光学传感器、MEMS压力传感器、MEMS陀螺仪、MEMS加速度计、MEMS湿度传感器、MEMS气体传感器等等以及它们的集成产品。MEMS产品按照其运行特征，可分为传感器和执行器，其中,执行器通常是利用逆压电效应，静电力，磁力，热应力等等方式来驱动MEMS结构产生运动位移，而输入物理量转化为位移的效率是绝大部分MEMS执行器的核心指标。对于静电驱动执行器而言，其被驱动而产生的位移与驱动电压成正比，因此,这类执行器的驱动电路中往往集成了用于产生较高驱动电压的电荷泵电路。
[0003]电荷泵也称为本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种电荷泵电路结构，其特征在于，包括：集成于调理电路芯片上的电路模块以及集成于MEMS结构芯片上的电容模块，所述电路模块与所述电容模块电性连接，所述电路模块包含多级相连的电荷泵电路，上级电荷泵电路的输出作为相连的下级电荷泵电路的输入，其中，所述电容模块连接于最后一级电荷泵电路中以增加最后一级电荷泵电路的输出。2.根据权利要求1所述的电荷泵电路结构，其特征在于，所述电容模块包括储能电容，所述储能电容包括相对且正对设置的第一电极板和第二电极板，在电压作用下，所述第一电极板与所述第二电极板产生静电吸引力并发生相对运动以缩小电容间距。3.根据权利要求2所述的电荷泵电路结构，其特征在于，所述第一电极板包括第一固定锚点和设于所述第一固定锚点上的多个第一悬臂梁，多个第二悬臂梁之间平行且间隔设置。4.根据权利要求3所述的电荷泵电路结构，其特征在于，所述第二电极板包括第二固定锚点和设于所述第二固定锚点上的多个第二悬臂梁，所述第二悬臂梁的数量与所述第一悬臂梁的数量相同且所述第二悬臂梁与所述第一悬臂梁一一配对设置。5.根据权利要求4所述的电荷泵电路结构，其特征在于，所述第一电极板上设有用于限制所述第二电极板运动进程以控制电容间距的第一限位块，所述第二电极板上设有用于限制所述第一电极板运动进程以控制电容间距的第二限位块，所述第一限位块与所述第一电极板等电位设置，所述第二限位块与所述第二电极板等电位设置。6.根据权利要求5所述的电荷泵电路结构，其特征在于，所述第一悬...

【专利技术属性】
技术研发人员：郭梅寒，
申请(专利权)人：慧石上海测控科技有限公司，
类型：发明
国别省市：