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本发明涉及一种电荷泵电路结构及微型电荷泵，其中，电荷泵电路结构包括：集成于调理电路芯片上的电路模块以及集成于MEMS结构芯片上的电容模块；电路模块与电容模块电性连接，电路模块包含多级相连的电荷泵电路，上级电荷泵电路的输出作为相连的下级电荷泵...
该专利属于慧石（上海）测控科技有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过慧石（上海）测控科技有限公司授权不得商用。

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