一种宏微双驱式大行程高精度快刀伺服装置制造方法及图纸

本公开提供了一种宏微双驱式大行程高精度快刀伺服装置，包括：基座；与基座连接的驱动机构和宏动平台；驱动机构与宏动平台连接，驱动宏动平台在基座上进行设定轨迹的运动；所述宏动平台上安装有微动平台，所述微动平台包括依次连接的驱动器、杠杆放大机构和刀具载物台；可以通过音圈电机驱动导轨实现大行程位移，也可以通过压电陶瓷驱动位移平台实现高精度的运动，两者使用独立驱动器进行驱动互不干扰，可以单独或是相互配合实现多种运动形式，解决了音圈电机驱动器单独使用时存在惯性大、精度低等问题，以及一般压电陶瓷驱动器的驱动力较小进而导致整个装置的行程一般在微米级别，不能够满足快刀伺服系统毫米级的行程要求的问题。的问题。的问题。

【技术实现步骤摘要】
一种宏微双驱式大行程高精度快刀伺服装置


[0001]本公开涉及一种宏微双驱式快刀伺服装置，特别是一种满足高精度要求且能完成大行程运动的宏微双驱式快刀伺服装置。

技术介绍

[0002]本部分的陈述仅仅是提供了与本公开相关的
技术介绍
信息，不必然构成现有技术。
[0003]随着科学技术的进步发展，对于应用于光学激光、光纤通讯、空间研究等领域中的光学元件精度要求不断提升，然而此类精密元件具有不规则变化特征、没有固定的回转中心、形状复杂且对加工精度的要求极高。因此，针对精密复杂形面加工的快刀伺服装置得到了越来越多的关注。
[0004]现有的快刀伺服装置可以分为压电陶瓷驱动器型以及音圈电机驱动器型。压电陶瓷驱动器拥有响应速度快、加速度高、分辨率高的特点，能够满足快刀伺服系统的高频响、高精度加工要求，但一般压电陶瓷驱动器的驱动力较小进而导致整个装置的行程一般在微米级别，不能够满足快刀伺服系统毫米级的行程要求。音圈电机驱动器则可以对刀具实现大行程的运动，但是在单独使用过程中存在惯性大、精度低等弊端现象。因此，同时具有大行程、高精度、快速响应等特本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种宏微双驱式大行程高精度快刀伺服装置，其特征在于，包括：基座；与基座连接的驱动机构和宏动平台；驱动机构与宏动平台连接，驱动宏动平台在基座上进行设定轨迹的运动；所述宏动平台上安装有微动平台，所述微动平台包括依次连接的驱动器、杠杆放大机构和刀具载物台；所述微动平台还包括框架，框架为U型结构，U型结构开口处与杠杆放大机构的一端铰接；U型结构的内部底端中心安装有固定杆，所述固定杆与杠杆放大机构另一端铰接；所述杠杆放大机构为两级杠杆放大器，包括第一L型杠杆和第二L型杠杆，第一L型杠杆和第二L型杠杆对称设置；所述第一L型杠杆包括依次连接的第一连杆、第二连杆和第三连杆，第一连杆的第一端与固定杆连接，第二端与第一压电陶瓷驱动器连接，第三端与第二连杆连接；第二连杆的一端与第一连杆连接，另一端与第三连杆连接；第三连杆的第一端与U型结构的开口处一侧连接，第二端与第二连杆连接，第三端与刀具载物台一侧面铰接；所述第二L型杠杆包括依次连接的第四连杆、第五连杆和第六连杆，第四连杆的第一端与固定杆连接，第二端与第二压电陶瓷驱动器连接，第三端与第五连杆连接；第五连杆的一端与第四连杆连接，另一端与第六连杆连接；第六连杆的第一端与U型结构的开口处另一侧连接，第二端与第五连杆连接，第三端与刀...

【专利技术属性】
技术研发人员：王凌飞，
申请(专利权)人：山东大学，
类型：新型
国别省市：