一种三自由度并联柔性微动平台制造技术

本实用新型专利技术提供了一种三自由度并联柔性微动平台，该平台包括致动机构、压电陶瓷驱动器、柔性导向机构一、柔性导向机构二、动平台、微动平台框架和预紧钉，压电陶瓷驱动器驱动致动机构和柔性导向机构二产生X方向平移，通过调节输入位移的方向可以控制柔性导向机构一对位移的换向或传递，能够实现动平台沿X方向的平移运动和绕Z轴的旋转转动，使整个装置的结构紧凑且具有X、Y方向平移和绕Z轴旋转三个自由度。本实用新型专利技术结构紧凑且具有X、Y方向平移和绕Z轴旋转三个自由度，可以满足多种领域的需求。的需求。的需求。

【技术实现步骤摘要】
一种三自由度并联柔性微动平台


[0001]本技术涉及高精密定位领域，尤指基于压电陶瓷驱动的柔性微定位平台，应用于超精密加工、微电子制造、光学微装配及生物医疗工程等领域。

技术介绍

[0002]随着科学技术的发展，在超精密加工、微电子工程、生物工程、宇宙航天等领域的研究深入，对高精密定位技术产生了越来越大的需求。
[0003]目前的微型定位平台已经取得了很大发展，在各个领域中得以应用，但现有的以音圈电机或压电陶瓷驱动器作为驱动元件、柔性铰链并联机构作为运动部件的微定位平台仍然存在装置结构复杂或运动方向单一的问题，进而影响了微型定位平台的推广。因此，需要设计结构简单并具有多个自由度的精密定位装置，用来满足各种领域迫切的需求。

技术实现思路

[0004]本技术提供了基于压电陶瓷驱动的一种三自由度并联柔性微动平台。在X方向上的柔性机构在压电陶瓷驱动器的驱动下可实现平台在X方向上运动或沿Z轴的转动，在Y方向上的柔性机构在压电陶瓷驱动器的驱动下可实现动平台的Y方向运动，该微动平台具有结构紧凑、自由度高的特点。r/>[0005]一本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种三自由度并联柔性微动平台，其特征在于：包括致动机构、压电陶瓷驱动器、柔性导向机构一、柔性导向机构二、动平台、微动平台框架和预紧钉，压电陶瓷驱动器安装在致动机构内并通过预紧钉进行固定，四个致动机构以动平台为中心呈对称分布并固定在微动平台框架内；X方向的致动机构通过柔性导向机构一与动平台相连，Y方向的致动机构通过柔性导向机构二与动平台相连。2.根据权利要求1所述的一种三自由度并联柔性微动平台，其特征在于：所述的致动机构包含半菱形柔性支链一、半菱形柔性支链二和连杆一，半菱形柔性支链一与半菱形柔性支链二呈轴对称分布且并联固定在连杆一与微动平台框架之间，压电陶瓷驱动器带动半菱形柔性支链一和半菱形柔性支链二产生输入位移，随后移传递给连杆一。3.根据权利要求1所述的一种三自由度并联柔性微动平台，其...

【专利技术属性】
技术研发人员：周伟东，付斌，谷岩，王梓喆，梁龙雨，万芃晖，于丙金，孙琦，刘思麟，吴昊，赵慧博，高英桓，孙正哲，王煜博，
申请(专利权)人：长春工业大学，
类型：新型
国别省市：