一种大尺寸配对陶瓷吸盘制造技术

本实用新型专利技术公开了一种大尺寸配对陶瓷吸盘，其特征在于：包括一对吸盘主体，所述吸盘主体上设置有吸盘安装块，所述吸盘安装块上贯穿所述吸盘主体设置有真空管安装孔，所述吸盘主体在所述真空安装孔处设置有真空吸附结构，所述吸盘安装块在与所述吸盘主体结合处设置有快速分片口，吸附硅片的真空腔体和分离硅片的分离管道设置在一个整体的内部，且通过两个吸盘的相对错位安装，可以实现将吸附区域维持在硅片中心，保证硅片分离瞬间不会发生重心偏移，减少吸盘印的产生。减少吸盘印的产生。减少吸盘印的产生。

【技术实现步骤摘要】
一种大尺寸配对陶瓷吸盘


[0001]本技术涉及一种硅片吸盘，特别涉及一种大尺寸配对陶瓷吸盘。

技术介绍

[0002]一种大尺寸配对陶瓷吸盘是一种用于吸附硅片的装置，传统的硅片吸附装置通常采用带有真空发生器的吸料杆进行吸取，由于吸取面积较小，在吸取大尺寸硅片时需采用多个吸料杆进行吸取，在需要放料时，由于多个吸料杆在控制真空状态时，较难保持一致，所以会造成硅片重心偏离，从而导致吸力大的地方会留下吸盘印等问题。

技术实现思路

[0003]本技术解决的技术问题是提供一种大尺寸配对陶瓷吸盘，可以实现吸附硅片中心，可以快速分离硅片和吸盘。
[0004]本技术解决其技术问题所采用的技术方案是：一种大尺寸配对陶瓷吸盘，包括一对吸盘主体，所述吸盘主体上设置有吸盘安装块，所述吸盘安装块上贯穿所述吸盘主体设置有真空管安装孔，所述吸盘主体在所述真空安装孔处设置有真空吸附结构，所述吸盘安装块在与所述吸盘主体结合处设置有快速分片口。
[0005]进一步的是：所述真空吸附结构包括从所述吸盘主体上位于吸盘安装块处向内部设置的抽真空开槽，所述抽真空开本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种大尺寸配对陶瓷吸盘，其特征在于：包括一对吸盘主体(1)，所述吸盘主体(1)上设置有吸盘安装块(11)，所述吸盘安装块(11)上贯穿所述吸盘主体(1)设置有真空管安装孔(12)，所述吸盘主体(1)在所述真空管安装孔(12)处设置有真空吸附结构(2)，所述吸盘安装块(11)在与所述吸盘主体(1)结合处设置有快速分片口(3)。2.如权利要求1所述的一种大尺寸配对陶瓷吸盘，其特征在于：所述真空吸附结构(2)包括从所述吸盘主体(1)上位于吸盘安装块(11)处向内部设置的抽真空开槽(21)，所述抽真空开槽(21)向所述吸盘主体(1)的表面...

【专利技术属性】
技术研发人员：沈威，
申请(专利权)人：苏州诚拓智能装备有限公司，
类型：新型
国别省市：