一种并联供气方式的可变节流静压气体轴承制造技术

本实用新型专利技术涉及一种并联供气方式的可变节流静压气体轴承。为解决传统静压气体轴承承载能力低、刚度差以及稳定性低等问题。本实用新型专利技术采用的技术方案包括轴承本体，所述的轴承本体内设置有内气室，内气室通过一个进气嘴与外界空气连通，所述的轴承本体的承载面阵列均布设置有若干个位置相错的可变节流气室，每个可变节流气室的下部中心连通设置有节流器，节流器与内气室连通，节流器的直径为0.01mm

【技术实现步骤摘要】
一种并联供气方式的可变节流静压气体轴承


[0001]本技术涉及一种并联供气方式的可变节流静压气体轴承。

技术介绍

[0002]静压气体轴承由于其无摩擦，无污染的特点，常作为关键核心元件应用于精密及超精密测试装备中。但是受到气体自身粘性小，可压缩性强的客观问题，导致静压气体轴承的承载能力低，稳定性差。
[0003]现有技术中，提高承载能力和稳定性一般采用在静压气体轴承本体上安装固有孔节流柱塞，实现气体节流效应，增加承载力和稳定性。由于固有孔节流器需在轴承本体加工完成后安装，多个固有节流器安装时的统一性、平整度和位置偏差对轴承承载力和稳定性的削弱很大；同时为了给各固有节流器供气，需在轴承内部开设多条直线气道，实现各节流器互通，这种方式严重破坏了轴承本身的质量平衡，轴承承载过程中，易发生偏载，导致承载气膜压力不均匀、承载能力低和稳定性差的状况。

技术实现思路

[0004]有鉴于此，本技术为解决传统静压气体轴承承载能力低、刚度差以及稳定性低等问题，提供一种并联供气方式的可变节流静压气体轴承。
[0005]为解决现有技术存在的本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种并联供气方式的可变节流静压气体轴承，包括轴承本体（1），其特征在于：所述的轴承本体（1）内设置有内气室（3），内气室（3）通过一个进气嘴（2）与外界空气连通，所述的轴承本体（1）的承载面阵列均布设置有若干个位置相错的可变节流气室（5），每个可变节流气室（5）的下部中...

【专利技术属性】
技术研发人员：赵晓龙，张君安，刘波，董皓，李博，王亚娟，
申请(专利权)人：西安工业大学，
类型：新型
国别省市：