一种应用于光学校准装置的超高真空光路切换机构制造方法及图纸

本发明专利技术属于超高真空应用技术领域，涉及一种应用于光学校准装置的超高真空多光路切换机构，包括布儒斯特真空窗口及其安装机构、平板玻璃真空窗口及其安装机构、法兰真空窗口及其安装机构、双面反射镜、抽气接口、光路连接法兰、密封波纹管、真空穿仓平面旋转机构、垂直旋进机构、光路转换真空室抽气接口和光路连接法兰。本发明专利技术机构可以通过穿仓平面旋转机构和垂直旋进机构控制双面反射镜的角度和高度，在保证真空光路内超高真空环境不被破坏的前提下，实现激光偏振单色光、可见

【技术实现步骤摘要】
一种应用于光学校准装置的超高真空光路切换机构


[0001]本专利技术属于超高真空应用
，涉及一种应用于光学校准装置的超高真空多光路切换机构。

技术介绍

[0002]随着低温辐射计技术的发展，光辐射计量前进了一大步，达到了前所未有的最低的不确定度。由于低温辐射计的光谱范围覆盖真空紫外至远红外波段，因此低温辐射计已逐渐成为光度、光谱光度、光谱辐射度和激光功率、能量计量的基准，已被许多国家标准实验室作为光度学和辐射度学的最高标准。
[0003]目前，以低温辐射计为基准的量值传递是通过标定探测器绝对光谱响应度实现的。标定探测器绝对光谱响应度的方法主要有两种，其一是用低温辐射计标定出探测器在某个特定波长，然后在相对光谱响应装置上标定探测器全波段的相对光谱响应,这样可以根据已知一点的绝对光谱响应和探测器的相对光谱响应求得探测器的绝对光谱响应度。其二是在多个激光波长上用低温辐射计标定出探测器的绝对光谱响应，然后其它波长的绝对光谱响应度可以内插得到。但以上两种测量方法均受激光波长的限制，无法实现宽波段探测器绝对光谱响应度的标定，也无法实现连续波长条件下低温辐射计对探测器绝对光谱响应度的标定，从而使测量精度降低。随着低温辐射计灵敏度的提高，出现直接使用单色仪出射的单色光作为光源实现低温辐射计标定探测器绝对光谱响应度的方法，例如第十七届全国光学测试学术交流会摘要集，题为“基于单色仪与激光的硅光电探测器绝对功率响应度定标差异分析”的论文对这种方法进行了描述。但这种方法无法同时实现偏振光和非偏振光条件下低温辐射计对宽波段探测器绝对光谱响应度的标定。

技术实现思路

[0004](一)专利技术目的
[0005]本专利技术的目的是：提供一种应用于光学校准装置的超高真空多光路切换机构，同时实现偏振光和非偏振光条件下低温辐射计对宽波段探测器绝对光谱响应度的标定。
[0006](二)技术方案
[0007]为了解决上述技术问题，本专利技术提供一种应用于光学校准装置的超高真空多光路切换机构，包括柱状腔室结构的光路转换真空室14，光路转换真空室14的前端安装布儒斯特真空窗口1，后端设置用于连接超高真空光学校准室的光路连接法兰5，上部设置密封波纹管7，下部设置用于连接真空抽气系统的抽气接口2，左侧设置平板玻璃真空窗口3，右侧设置法兰真空窗口6，密封波纹管7上部设置真空穿仓平面旋转机构8，双面反射镜4位于光路转换真空室14中部且与真空穿仓平面旋转机构8连接，密封波纹管7一侧连接垂直旋进机构11，垂直旋进机构11向下旋进时，带动密封波纹管7压缩，密封波纹管7带动真空穿仓平面旋转机构8及双面反射镜4同步下移，垂直旋进机构11向上旋进时，带动密封波纹管7伸长，密封波纹管7带动真空穿仓平面旋转机构8及双面反射镜4同步上移；真空穿仓平面旋转机
构8相对密封波纹管7中心轴周向旋转时，带动双面反射镜4角度调节。
[0008](三)有益效果
[0009]上述技术方案所提供的应用于光学校准装置的超高真空多光路切换机构，具有以下有益效果：
[0010](1)本专利技术通过结构创新，设计出真空多光路切换机构，可以通过穿仓平面旋转机构和垂直旋进机构控制双面反射镜的角度和高度，在保证真空光路内超高真空环境不被破坏的前提下，实现激光偏振单色光、可见
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红外单色仪出射的非偏振单色光以及紫外
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真空紫外单色仪出射的非偏振单色光等三个光路的快速切换，具有重复性好，操作性强的特点，大幅提高宽波段光学探测器校准的效率。
[0011](2)本专利技术通过设计反射镜组件，将反射镜制作成双面反射镜并安装在反射镜支架上，双面反射镜一面镀铝膜、一面镀金膜，根据入射光波段的痛，真空穿仓旋转机构控制双面反射镜的角度，使相应的反射面对光路进行转折，从而提供宽谱段单色光的反射比，较小信号损失，有利于提高探测系统的信噪比。
附图说明
[0012]图1为本专利技术一种应用于光学校准装置的超高真空光路切换机构的结构示意图。其中，B图为A图的中间剖视效果图。
具体实施方式
[0013]为使本专利技术的目的、内容和优点更加清楚，下面结合附图和实施例，对本专利技术的具体实施方式作进一步详细描述。
[0014]如图1所示，本专利技术设计一种应用于光学校准装置的超高真空光路切换机构，包括柱状腔室结构的光路转换真空室14，光路转换真空室14的前端安装布儒斯特真空窗口1，后端设置用于连接超高真空光学校准室的光路连接法兰5，上部设置密封波纹管7，下部设置用于连接真空抽气系统的抽气接口2，左侧设置平板玻璃真空窗口3，右侧设置法兰真空窗口6，密封波纹管7上部设置真空穿仓平面旋转机构8，双面反射镜4位于光路转换真空室14中部且与真空穿仓平面旋转机构8连接，密封波纹管7一侧连接垂直旋进机构11，垂直旋进机构11向下旋进时，带动密封波纹管7压缩，密封波纹管7带动真空穿仓平面旋转机构8及双面反射镜4同步下移，垂直旋进机构11向上旋进时，带动密封波纹管7伸长，密封波纹管7带动真空穿仓平面旋转机构8及双面反射镜4同步上移；真空穿仓平面旋转机构8相对密封波纹管7中心轴周向旋转时，带动双面反射镜4角度调节。
[0015]垂直旋进机构11包括两块焊接平板和一组螺杆结构12，两块焊接平板上下平行布置，上焊接平板的一端连接密封波纹管7的上端，下焊接平板的一端连接密封波纹管7的下端，下焊接平板的另一端开设螺纹孔，上焊接平板的另一端设过孔，螺杆结构12穿过过孔且下端部与螺纹孔螺纹配合，螺杆结构12上设有挡环，挡环卡挡在上焊接平板另一端的上表面处；螺杆结构12顶部设第二旋转手柄10，旋动第二旋转手柄10带动密封波纹管7压缩或伸长，同步带动真空穿仓平面旋转机构8及双面反射镜4下移或上移。
[0016]上、下焊接平板通过焊接的方式与密封波纹管7相连，垂直旋进机构11上端的第二旋转手柄10与螺杆结构12相连，通过第二旋转手柄10的正时针或逆时针旋转可以带动与密
封波纹管7上端连接的真空穿仓平面旋转机构8的下降或上升。
[0017]光路转换真空室14上分布有布儒斯特真空窗口接口、平板玻璃真空窗口接口、法兰真空窗口接口、抽气接口2、密封波纹管接口和光路连接法兰接口等六个接口，其中布儒斯特真空窗口接口、平板玻璃真空窗口接口和法兰真空窗口接口的中心轴线处于同一平面，平板玻璃真空窗口接口和法兰真空窗口接口的中心轴线共线，并与布儒斯特真空窗口接口中心轴线垂直。
[0018]布儒斯特真空窗口1、平板玻璃真空窗口3、法兰真空窗口6和密封波纹管7通过各自对应的安装机构与光路转换真空室14上对应的刀口法兰接口相连。
[0019]真空穿仓平面旋转机构8采用磁流体密封形式，并通过铜垫圈与密封波纹管7一端的刀口法兰相连，密封接口漏率小于5
×
10
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11
Pam3/s。
[0020]双面反射镜4通过支架结构13与真空穿仓平面旋转机构8连接。
[0021]支架结构13通过焊接方式与真空穿仓平面旋转机构本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种应用于光学校准装置的超高真空光路切换机构，其特征在于，包括柱状腔室结构的光路转换真空室(14)，光路转换真空室(14)的前端安装布儒斯特真空窗口(1)，后端设置用于连接超高真空光学校准室的光路连接法兰(5)，上部设置密封波纹管(7)，下部设置用于连接真空抽气系统的抽气接口(2)，左侧设置平板玻璃真空窗口(3)，右侧设置法兰真空窗口(6)，密封波纹管(7)上部设置真空穿仓平面旋转机构(8)，双面反射镜(4)位于光路转换真空室(14)中部且与真空穿仓平面旋转机构(8)连接，密封波纹管(7)一侧连接垂直旋进机构(11)，垂直旋进机构(11)向下旋进时，带动密封波纹管(7)压缩，密封波纹管(7)带动真空穿仓平面旋转机构(8)及双面反射镜(4)同步下移，垂直旋进机构(11)向上旋进时，带动密封波纹管(7)伸长，密封波纹管(7)带动真空穿仓平面旋转机构(8)及双面反射镜(4)同步上移；真空穿仓平面旋转机构(8)相对密封波纹管(7)中心轴周向旋转时，带动双面反射镜(4)角度调节。2.如权利要求1所述的应用于光学校准装置的超高真空光路切换机构，其特征在于，所述垂直旋进机构(11)包括两块焊接平板和一组螺杆结构(12)，两块焊接平板上下平行布置，上焊接平板的一端连接密封波纹管(7)的上端，下焊接平板的一端连接密封波纹管(7)的下端，下焊接平板的另一端开设螺纹孔，上焊接平板的另一端设过孔，螺杆结构(12)穿过过孔且下端部与螺纹孔螺纹配合，螺杆结构(12)上设有挡环，挡环卡挡在上焊接平板另一端的上表面处；螺杆结构(12)顶部设第二旋转手柄(10)，旋动第二旋转手柄(10)带动密封波纹管(7)压缩或伸长，同步带动真空穿仓平面旋转机构(8)及双面反射镜(4)下移或上移。3.如权利要求2所述的应用于光学校准装置的超高真空光路切换机构，其特征在于，所述上、下焊接平板通过焊接的方式与密封波纹管(7)相连，垂直旋进机构(11)上端的第二旋转手柄(10)与螺杆结构(12)相连，通过第二旋转手柄(10)的正时针或逆时针旋转可以带动与密封波纹管(7)上端连接的真空穿仓平面旋转机构(8)的下降或上升。4.如权利要求3所述的应用于光学校准装置的超高真空光路切换机构，其特征在于，所述光路转换真空室14上分布有布儒斯特真空窗口接口、平板玻璃真空窗口接口、法...

【专利技术属性】
技术研发人员：俞兵，孙宇楠，吴李鹏，曹锋，卢飞，郭磊，李燕，秦艳，
申请(专利权)人：西安应用光学研究所，
类型：发明
国别省市：