薄膜晶体管及其制备方法、显示基板、显示面板技术

技术编号:30947986 阅读:24 留言:0更新日期:2021-11-25 19:59
本申请涉及显示技术领域,公开了一种薄膜晶体管及其制备方法、显示基板、显示面板,目的是改善薄膜晶体管的结构,提高薄膜晶体管的特性,提高显示产品良率。薄膜晶体管包括:衬底基板;有源层,位于所述衬底基板上;源漏电极,位于所述有源层背离所述衬底基板的一侧,包括电极层和保护层,所述电极层的材料包括第一金属元素;所述保护层覆盖所述电极层背离所述衬底基板的一侧表面以及所述电极层的侧面,所述保护层的材料为所述第一金属元素的氧化物。护层的材料为所述第一金属元素的氧化物。护层的材料为所述第一金属元素的氧化物。护层的材料为所述第一金属元素的氧化物。

【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】

【技术保护点】

【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】

【专利技术属性】
技术研发人员:薛大鹏刘正胡合合王利忠董水浪姚念琦
申请(专利权)人:福州京东方光电科技有限公司
类型:发明
国别省市:

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