显示装置以及制造方法制造方法及图纸

在显示装置中，包括与多个像素对应的像素电路，在基板(2)上依次层叠有半导体层(5)、栅极绝缘膜(6)、栅极(7)、第一层间绝缘膜(8)、电容电极(9)以及第二层间绝缘膜(10)。像素电路包含驱动晶体管(1)、电容和连接布线(11)。电容电极(9)在俯视时与栅极(7)重叠的位置的一部分设置有第一开口(9a)和第二开口(9b)。第一层间绝缘膜(8)和第二层间绝缘膜(10)具有设置在被第一开口(9a)包围的位置的接触孔(14)和设置在被第二开口(9b)包围的位置的孔(15)。连接布线(11)经由接触孔(14)与栅极(7)连接。孔(15)与半导体层(5)的沟道区域(5a)的一部分在俯视时重叠。俯视时重叠。俯视时重叠。

【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】显示装置以及制造方法


[0001]本专利技术涉及包括像素电路的显示装置以及显示装置的制造方法。

技术介绍

[0002]近年来，伴随着OLED(Organic Light Emitting Diode：有机发光二极管)技术的进步，具备有机EL(电致发光)显示装置的产品正在扩大。通常，在有机EL显示装置中，使用包含向发光层中的像素供给电流的多个像素电路的构成。
[0003]像素电路通常是将多个晶体管组合而构成的，根据所输入的信号，适当选择发光的像素。在晶体管中，阈值电压为重要的要素，为了对其进行控制而提出了各种方法(例如，参照专利文献1)。
[0004]此外，关于晶体管，可使用多晶硅、氧化物半导体等各种材料，但根据材料、制造方法的不同驱动能力等特性产生差异。因此，提出了提高驱动能力并混载使用不同的材料的晶体管的方法(例如，参照专利文献2)。现有技术文献专利文献
[0005]专利文献1：特开2001
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250949号公报专利文献2：特开2017
‑
173505号公报/>
技术实现思路
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【技术保护点】

【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】1.一种显示装置，其包括：多个像素；以及与所述多个像素对应的像素电路，所述显示装置特征在于，在基板上依次层叠有半导体层、栅极绝缘膜、栅极、第一层间绝缘膜、电容电极以及第二层间绝缘膜，所述像素电路包括驱动晶体管、电容和连接布线，所述驱动晶体管包括在俯视时彼此重叠的所述半导体层、所述栅极绝缘膜以及所述栅极，所述电容包括在俯视时彼此重叠的所述栅极、所述第一层间绝缘膜及所述电容电极，在所述半导体层设置有沟道区域和将所述沟道区域夹在中间的导体区域，所述电容电极在俯视时与所述栅极重叠的位置的一部分上设置有第一开口以及第二开口，所述第一层间绝缘膜及所述第二层间绝缘膜具有接触孔和孔，所述接触孔设置在被所述第一开口包围的位置，所述孔设置在被所述第二开口包围的位置，所述连接布线设置在所述第二层间绝缘膜之上，经由所述接触孔与所述栅极连接，所述孔在俯视时与所述沟道区域的一部分重叠。2.根据权利要求1所述的显示装置，其特征在于，所述孔被设置为，在与所述导体区域彼此相对的沟道长度方向正交的沟道宽度方向上，至少与所述沟道区域的一端交叉。3.根据权利要求2所述的显示装置，其特征在于，所述孔在所述沟道宽度方向上与所述沟道区域的两端交叉地设置。4.根据权利要求1至3中任一项所述的显示装置，其特征在于，所述第二开口和与所述第二开口对应的所述孔设置有多个。5.根据权利要求1至4中任一项所述的显示装置，其特征在于，所述接触孔与所述沟道区域的一部分在俯视时重叠。6.一种显示装置，其包括：多个像素；以及与所述多个像素对应的像素电路，所述显示装置特征在于，在基板上依次层叠半导体层、栅极绝缘膜、栅极、第一层间绝缘膜、电容电极以及第二层间绝缘膜，所述像素电路包括驱动晶体管、电容和连接布线，所述驱动晶体管包括在俯视时彼此重叠的所述半导体层、所述栅极绝缘膜以及所述栅极，所述电容包括在俯视时彼此重叠的所述栅极、所述第一层间绝缘膜及所述电容电极，在所述半导体层设置有沟道区域和将所述沟道区域夹在中间的导体区域，所述电容电极在俯视时与所述栅极重叠的位置的一部分上设置有第一开口，所述第一层间绝...

【专利技术属性】
技术研发人员：三轮昌彦，齐藤贵翁，山中雅贵，孙屹，神崎庸辅，
申请(专利权)人：夏普株式会社，
类型：发明
国别省市：