一种电阻法碳化硅长晶设备制造技术

本实用新型专利技术公开了一种电阻法碳化硅长晶设备，包括工作台，工作台上设有罐体，罐体内部有腔体槽，腔体槽内通过减震弹簧固定连接有托盘，托盘内设有坩埚，坩埚通过限位组件与罐体连接，限位组件用于增加坩埚的稳定性，其中，限位组件包括抱紧环，抱紧环与第一限位杆固定连接，第一限位杆上开设有限位滑槽，第一限位筒内部固定连接有限位块、外部固定连接有限位卡环，复位弹簧一端固定连接在第一限位杆上、另一端固定连接在第一限位筒的内顶端，限位块与限位滑槽相适配，罐体内壁上设有卡槽，卡槽与第一限位筒相适配。本实用新型专利技术通过提高坩埚的稳定性，提高长晶质量。提高长晶质量。提高长晶质量。

【技术实现步骤摘要】
一种电阻法碳化硅长晶设备


[0001]本技术属于碳化硅制备设备
，具体为一种电阻法碳化硅长晶设备。

技术介绍

[0002]碳化硅晶体结晶工艺就是将高纯碳化硅原料在坩埚中升华，气化，在特定籽晶上重新完成结晶、扩径和退火处理等程序最终得到碳化硅晶体；现有的碳化硅结晶设备的坩埚稳定性差，长晶过程中易发生移动，一旦坩埚在使用过程中发生移动，极易导致坩埚内的温场不均匀，严重影响碳化硅晶体的质量。

技术实现思路

[0003]针对现有技术存在的不足，本技术目的是提供一种电阻法碳化硅长晶设备，以解决上述
技术介绍
中提出的问题，以提高坩埚的稳定性，提高长晶质量。
[0004]为实现上述目的，本技术提供如下技术方案：一种电阻法碳化硅长晶设备，包括工作台，所述工作台上设有罐体，所述罐体内部有腔体槽，所述腔体槽内通过减震弹簧固定连接有托盘，所述托盘内设有坩埚，所述坩埚通过限位组件与所述罐体连接，所述限位组件用于增加所述坩埚的稳定性，其中，所述限位组件包括抱紧环、第一限位杆、限位滑槽、第一限位筒、限位块、限位卡环和复位弹簧，所述抱紧环与第一限位杆本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种电阻法碳化硅长晶设备，包括工作台(1)，所述工作台(1)上设有罐体(2)，所述罐体(2)内部有腔体槽(3)，其特征在于，所述腔体槽(3)内通过减震弹簧(4)固定连接有托盘(5)，所述托盘(5)内设有坩埚(6)，所述坩埚(6)通过限位组件(7)与所述罐体(2)连接，所述限位组件(7)用于增加所述坩埚(6)的稳定性，其中，所述限位组件(7)包括抱紧环(701)、第一限位杆(702)、限位滑槽(703)、第一限位筒(704)、限位块(705)、限位卡环(706)和复位弹簧(707)，所述抱紧环(701)与第一限位杆(702)固定连接，所述第一限位杆(702)上开设有限位滑槽(703)，所述第一限位筒(704)内部固定连接有限位块(705)、外部固定连接有限位卡环(706)，所述复位弹簧(707)一端固定连接在第一限位杆(702)上、另一端固定连接在第一限位筒(704)的内顶端，所述限位块(705)与所述限位滑槽(703)相适配，所述罐体(2)内壁上设有卡槽(201)，所述卡槽(201)与所述第一限位筒(704)相适配。2.根据权利要求1所述的一种电阻法碳化硅长晶设备，其特征在于，所述限位组件(7)为两个，对称设置。3.根据权利要求1所述的一种电阻法碳化硅长晶设备，其特征在于，所述托盘(5)的内径比所述坩埚(6)的外径大2～4毫米。4.根据权利要求1所述的一种电阻法碳化硅长晶设备，其特征在于，所述抱紧环(701)与所述坩埚(6)接触的面上设有绝...

【专利技术属性】
技术研发人员：陈建明，姜树炎，刘春艳，周元辉，杨洪雨，
申请(专利权)人：苏州优晶光电科技有限公司，
类型：新型
国别省市：