基于相位检测原理的MEMS湿度传感器及制备方法技术

本发明专利技术提供基于相位检测原理的MEMS湿度传感器及制备方法，包括：CPW传输线，设置在衬底上，该CPW传输线包括CPW信号线以及CPW信号线两侧的CPW地线，在CPW信号线中间部位的下方衬底设置凹槽；MEMS梁，位于凹槽的底面和靠近CPW地线的两个侧面上；MEMS薄膜，位于凹槽上方，与CPW信号线的底面接触，且MEMS薄膜表面设置通孔；感湿层，位于MEMS梁和MEMS薄膜之间并填满凹槽的内部空间。利用凹槽内感湿层的吸水性来感测外部环境的湿度，感湿层的介电常数会随着湿度发生变化，引起MEMS梁与CPW信号线之间的电容改变，使CPW传输线上RF信号的相位发生变化，测量RF信号的相位便可获取环境湿度。测量RF信号的相位便可获取环境湿度。测量RF信号的相位便可获取环境湿度。

【技术实现步骤摘要】
基于相位检测原理的MEMS湿度传感器及制备方法


[0001]本专利技术涉及射频微电子机械系统（RF MEMS）
，具体涉及一种基于相位检测原理的MEMS湿度传感器及制备方法。

技术介绍

[0002]湿度，通常是指空气中水蒸气的含量，它用来反映大气的干湿程度。空气湿度与民众日常工作、生活和生产有着直接的联系，所以对于湿度的监测与控制显得越来越重要。然而，在常规的环境参数中，湿度是最难准确测量的参数之一。传统的湿度计已经越来越无法满足现阶段的实际需要，所以对于新型湿度传感器的研究十分必要。湿度传感器已经在包括国防航空、气象检测、工业控制、农业生产、医疗设备等多个领域有着广泛的应用，并且近年来，微型化是湿度传感器发展的一个重要方向，现有的微型湿度传感器主要包括电容式、电阻式和压阻式等类型。目前，迫切需求一种高能性的MEMS湿度传感器，并具有简单结构、高灵敏度、低成本等特点。随着人类步入信息时代，MEMS传感器作为捕捉信息的器件也随之迅速发展，在现代高度信息化的社会科技发展中占据着相当重要的地位，由于对RF MEMS技术和感湿材料进行了深入的研究本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种基于相位检测原理的MEMS湿度传感器，其特征在于，包括：衬底；CPW传输线，设置在衬底上，所述CPW传输线包括位于衬底上的CPW信号线以及位于所述CPW信号线两侧的CPW地线，所述CPW信号线与所述CPW地线相互平行设置；凹槽，设置在所述衬底上，所述凹槽位于所述CPW信号线的正下方；MEMS梁，设置在所述凹槽的底面和靠近所述CPW地线的两个侧面上，与两条所述CPW地线均连接；MEMS薄膜，位于所述凹槽正上方，并与所述CPW信号线的底面接触，其两端置于所述CPW地线上，并且所述MEMS薄膜位于CPW信号线两侧的部分设置通孔；感湿层，位于所述MEMS梁和所述MEMS薄膜之间并填满所述凹槽的内部空间。2.根据权利要求1所述的基于相位检测原理的MEMS湿度传感器，其特征在于，所述凹槽为U型槽，所述凹槽的中轴线与所述CPW信号线平行；所述衬底和所述凹槽表面设置有缓冲介质层。3.根据权利要求1所述的基于相位检测原理的MEMS湿度传感器，其特征在于，所述MEMS薄膜上的所述通孔由多个密集的小孔组成，使得所述感湿层能够与外界空气充分接触。4.根据权利要求1所述的基于相位检测原理的MEMS湿度传感器，其特征在于，所述感湿层包括聚酰亚胺或氧化石墨烯。5.根据权利要求1
‑
4任一项所述的基于相位检测原理的MEMS湿度传感器的制备方法，其特征在于，包括如下步骤：...

【专利技术属性】
技术研发人员：王耀，兰之康，江洲玮，
申请(专利权)人：南京高华科技股份有限公司，
类型：发明
国别省市：