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本发明提供基于相位检测原理的MEMS湿度传感器及制备方法，包括：CPW传输线，设置在衬底上，该CPW传输线包括CPW信号线以及CPW信号线两侧的CPW地线，在CPW信号线中间部位的下方衬底设置凹槽；MEMS梁，位于凹槽的底面和靠近CPW地线...
该专利属于南京高华科技股份有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过南京高华科技股份有限公司授权不得商用。

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