一种便携式光罩转运箱制造技术

本实用新型专利技术公开了一种便携式光罩转运箱，包括箱体和箱盖，箱盖安装于箱体上端口，箱体上端部两侧分别安装金属支撑板，箱盖两侧分别安装磁铁，箱盖内侧还安装缓震垫，箱体内腔等间距安装多块分隔板，相邻分隔板之间放置光罩，本实用新型专利技术结构设计新颖，使用方便，能够防止光罩在转运过程中出现碰擦现象，提高了光罩转运效率。转运效率。转运效率。

【技术实现步骤摘要】
一种便携式光罩转运箱


[0001]本技术涉及光罩转运
，具体为一种便携式光罩转运箱。

技术介绍

[0002] 光罩(英文:Reticle, Mask):在制作IC的过程中，利用光蚀刻技术，在半导体上形成图型，为将图型复制於晶圆上，必须透过光罩作用的原理，类似于冲洗照片时，利用底片将影像复制至相片上。业内又称光掩模版、掩膜版，该产品是由石英玻璃作为衬底，在其上面镀上一层金属铬和感光胶，成为一种感光材料，把已设计好的电路图形通过电子激光设备曝光在感光胶上,被曝光的区域会被显影出来，在金属铬上形成电路图形，成为类似曝光后的底片的光掩模版，然后应用于对集成电路进行投影定位，通过集成电路光刻机对所投影的电路进行光蚀刻，其生产加工工序为:曝光，显影，去感光胶，最后应用于光蚀刻。
[0003]光罩在转运过程中需要用到转运箱，现有的转运箱结构单一，无法起到保护作用，因此，有必要进行改进。

技术实现思路

[0004]本技术的目的在于提供一种便携式光罩转运箱，以解决上述
技术介绍
中提出的问题。
[0005]为实现上述目的，本技术提供如下技术方案：一种便携式光罩转运箱, 包括箱体和箱盖，所述箱盖安装于箱体上端口，所述箱体上端部两侧分别安装金属支撑板，所述箱盖两侧分别安装磁铁，所述箱盖内侧还安装缓震垫，所述箱体内腔等间距安装多块分隔板，相邻所述分隔板之间放置光罩。
[0006]优选的，本申请提供的一种便携式光罩转运箱，其中，所述缓震垫包括支撑板和橡胶垫，所述橡胶垫包覆于支撑板外表面，所述支撑板内表面与箱盖内侧壁固定连接，所述橡胶垫呈波浪形结构。
[0007]优选的，本申请提供的一种便携式光罩转运箱，其中，还包括抗压板，所述抗压板分别安装于箱盖上端面、箱体外侧壁，所述抗压板包括第一金属板、第二金属板和瓦楞板，所述瓦楞板安装于第一金属板和第二金属板之间。
[0008]优选的，本申请提供的一种便携式光罩转运箱，其中，所述分隔板采用PVC板制成，所述分隔板两侧分别包覆硅胶层。
[0009]优选的，本申请提供的一种便携式光罩转运箱，其中，所述箱盖上端面中心还安装提手。
[0010]与现有技术相比，本技术的有益效果是：本技术结构设计新颖，使用方便，能够防止光罩在转运过程中出现碰擦现象，提高了光罩转运效率；其中，采用的缓震垫整体缓冲性能强，箱盖与箱体合上后，缓震垫与光罩上端面接触，能够防止光罩出现震动现象，起到保护光罩的作用；此外，设置的抗压板整体具有良好的抗压性能，能够防止箱体受到撞击后出现变形现象。
附图说明
[0011]图1为本技术结构示意图；
[0012]图2为本技术缓震垫结构示意图；
[0013]图3为本技术抗压板剖视图；
[0014]图中：箱体1、箱盖2、金属支撑板3、磁铁4、缓震垫5、分隔板6、光罩7、支撑板8、橡胶垫9、抗压板10、第一金属板11、第二金属板12、瓦楞板13、硅胶层14、提手15。
具体实施方式
[0015]下面将结合本技术实施例中的附图，对本技术实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本技术一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本技术中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本技术保护的范围。
[0016]在本技术的描述中，需要说明的是，术语“上”、
ꢀ“
下”、
ꢀ“
内”、
ꢀ“
外”“前端”、
ꢀ“
后端”、
ꢀ“
两端”、
ꢀ“
一端”、
ꢀ“
另一端”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，仅是为了便于描述本技术和简化描述，而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本技术的限制。此外，术语“第一”、
ꢀ“
第二”仅用于描述目的，而不能理解为指示或暗示相对重要性。
[0017]在本技术的描述中，需要说明的是，除非另有明确的规定和限定，术语“安装”、
ꢀ“
设置有”、
ꢀ“
连接”等，应做广义理解，例如“连接”，可以是固定连接，也可以是可拆卸连接，或一体地连接；可以是机械连接，也可以是电连接；可以是直接相连，也可以通过中间媒介间接相连，可以是两个元件内部的连通。对于本领域的普通技术人员而言，可以具体情况理解上述术语在本技术中的具体含义。
[0018]请参阅图1
‑
3，本技术提供一种技术方案：一种便携式光罩转运箱, 包括箱体1和箱盖2，箱盖2上端面中心还安装提手15，所述箱盖2安装于箱体1上端口，所述箱体1上端部两侧分别安装金属支撑板3，所述箱盖2两侧分别安装磁铁4，箱盖与箱体通过磁铁吸附连接，所述箱盖2内侧还安装缓震垫5，所述箱体1内腔等间距安装多块分隔板6，相邻所述分隔板6之间放置光罩7；分隔板6采用PVC板制成，所述分隔板6两侧分别包覆硅胶层14。
[0019]本技术中，缓震垫5包括支撑板8和橡胶垫9，所述橡胶垫9包覆于支撑板8外表面，所述支撑板8内表面与箱盖2内侧壁固定连接，所述橡胶垫9呈波浪形结构。
[0020]此外，本技术还包括抗压板10，所述抗压板10分别安装于箱盖2上端面、箱体1外侧壁，所述抗压板10包括第一金属板11、第二金属板12和瓦楞板13，所述瓦楞板13安装于第一金属板11和第二金属板12之间。
[0021]本技术结构设计新颖，使用方便，能够防止光罩在转运过程中出现碰擦现象，提高了光罩转运效率；其中，采用的缓震垫整体缓冲性能强，箱盖与箱体合上后，缓震垫与光罩上端面接触，能够防止光罩出现震动现象，起到保护光罩的作用；此外，设置的抗压板整体具有良好的抗压性能，能够防止箱体受到撞击后出现变形现象。
[0022]对于本领域技术人员而言，显然本技术不限于上述示范性实施例的细节，而且在不背离本技术的精神或基本特征的情况下，能够以其他的具体形式实现本技术。因此，无论从哪一点来看，均应将实施例看作是示范性的，而且是非限制性的，本实用新
型的范围由所附权利要求而不是上述说明限定，因此旨在将落在权利要求的等同要件的含义和范围内的所有变化囊括在本技术内。不应将权利要求中的任何附图标记视为限制所涉及的权利要求。
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【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种便携式光罩转运箱, 包括箱体（1）和箱盖（2），其特征在于：所述箱盖（2）安装于箱体（1）上端口，所述箱体（1）上端部两侧分别安装金属支撑板（3），所述箱盖（2）两侧分别安装磁铁（4），所述箱盖（2）内侧还安装缓震垫（5），所述箱体（1）内腔等间距安装多块分隔板（6），相邻所述分隔板（6）之间放置光罩（7）。2.根据权利要求1所述的一种便携式光罩转运箱，其特征在于：所述缓震垫（5）包括支撑板（8）和橡胶垫（9），所述橡胶垫（9）包覆于支撑板（8）外表面，所述支撑板（8）内表面与箱盖（2）内侧壁固定连接，所述橡胶垫（9）呈波浪形结构...

【专利技术属性】
技术研发人员：郑永庆，张衡，陈宏渊，
申请(专利权)人：艾斯尔光电南通有限公司，
类型：新型
国别省市：