一种光罩清洗专用海绵刷洗装置制造方法及图纸

本实用新型专利技术公开了一种光罩清洗专用海绵刷洗装置，包括清洗箱，清洗箱内腔底部安装光罩放置板，光罩放置板上端面开设放置槽，放置槽内放置待清洗光罩，光罩放置板上方安装海绵刷洗组件，本实用新型专利技术结构设计新颖，操作方便，能够实现对光罩表面快速刷洗处理，采用海绵刷洗，能够防止擦伤光罩表面，提高了光罩清洗效果。果。果。

【技术实现步骤摘要】
一种光罩清洗专用海绵刷洗装置


[0001]本技术涉及光罩清洗
，具体为一种光罩清洗专用海绵刷洗装置。

技术介绍

[0002]光罩(英文:Reticle, Mask):在制作IC的过程中，利用光蚀刻技术，在半导体上形成图型，为将图型复制於晶圆上，必须透过光罩作用的原理，类似于冲洗照片时，利用底片将影像复制至相片上。业内又称光掩模版、掩膜版，该产品是由石英玻璃作为衬底，在其上面镀上一层金属铬和感光胶，成为一种感光材料，把已设计好的电路图形通过电子激光设备曝光在感光胶上,被曝光的区域会被显影出来，在金属铬上形成电路图形，成为类似曝光后的底片的光掩模版，然后应用于对集成电路进行投影定位，通过集成电路光刻机对所投影的电路进行光蚀刻，其生产加工工序为:曝光，显影，去感光胶，最后应用于光蚀刻。
[0003]光罩在加工后需要进行清洗，现有的清洗装置结构单一，清洗效果差，因此，有必要进行改进。

技术实现思路

[0004]本技术的目的在于提供一种光罩清洗专用海绵刷洗装置，以解决上述
技术介绍
中提出的问题。
[0005]为实现上述目的，本技术提供如下技术方案：一种光罩清洗专用海绵刷洗装置, 包括清洗箱，所述清洗箱内腔底部安装光罩放置板，所述光罩放置板上端面开设放置槽，所述放置槽内放置待清洗光罩，所述光罩放置板上方安装海绵刷洗组件。
[0006]优选的，本申请提供的一种光罩清洗专用海绵刷洗装置，其中，所述海绵刷洗组件包括安装座、推拉缸、导向柱、海绵安装座和刷洗海绵，所述安装座安装于清洗箱内侧壁，所述推拉缸尾端安装于安装座，所述推拉缸伸缩端与海绵安装座一侧连接，所述海绵安装座另一侧与清洗箱内壁之间安装导向柱，所述刷洗海绵安装于海绵安装座，且所述刷洗海绵与海绵安装座之间通过锁紧件连接。
[0007]优选的，本申请提供的一种光罩清洗专用海绵刷洗装置，其中，还包括注水组件，所述注水组件包括注水支管和注水主管，所述海绵安装座上开设多个注水孔，所述注水支管出水端与注水孔连接，所述注水支管进水端与注水主管出水端连接，所述注水主管进水端连接外部水源。
[0008]优选的，本申请提供的一种光罩清洗专用海绵刷洗装置，其中，所述刷洗海绵采用PVA吸水海绵。
[0009]与现有技术相比，本技术的有益效果是：本技术结构设计新颖，操作方便，能够实现对光罩表面快速刷洗处理，采用海绵刷洗，能够防止擦伤光罩表面，提高了光罩清洗效果。
附图说明
[0010]图1为本技术结构示意图。
[0011]图中：清洗箱1、光罩放置板2、光罩3、安装座4、推拉缸5、导向柱6、海绵安装座7、刷洗海绵8、锁紧件9、注水支管10、注水主管11。
具体实施方式
[0012]下面将结合本技术实施例中的附图，对本技术实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本技术一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本技术中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本技术保护的范围。
[0013]在本技术的描述中，需要说明的是，术语“上”、
ꢀ“
下”、
ꢀ“
内”、
ꢀ“
外”“前端”、
ꢀ“
后端”、
ꢀ“
两端”、
ꢀ“
一端”、
ꢀ“
另一端”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，仅是为了便于描述本技术和简化描述，而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本技术的限制。此外，术语“第一”、
ꢀ“
第二”仅用于描述目的，而不能理解为指示或暗示相对重要性。
[0014]在本技术的描述中，需要说明的是，除非另有明确的规定和限定，术语“安装”、
ꢀ“
设置有”、
ꢀ“
连接”等，应做广义理解，例如“连接”，可以是固定连接，也可以是可拆卸连接，或一体地连接；可以是机械连接，也可以是电连接；可以是直接相连，也可以通过中间媒介间接相连，可以是两个元件内部的连通。对于本领域的普通技术人员而言，可以具体情况理解上述术语在本技术中的具体含义。
[0015]请参阅图1，本技术提供一种技术方案：一种光罩清洗专用海绵刷洗装置, 包括清洗箱1，所述清洗箱1内腔底部安装光罩放置板2，所述光罩放置板2上端面开设放置槽，所述放置槽内放置待清洗光罩3，所述光罩放置板2上方安装海绵刷洗组件。
[0016]本技术中，海绵刷洗组件包括安装座4、推拉缸5、导向柱6、海绵安装座7和刷洗海绵8，所述安装座4安装于清洗箱1内侧壁，所述推拉缸5尾端安装于安装座4，所述推拉缸5伸缩端与海绵安装座7一侧连接，所述海绵安装座7另一侧与清洗箱1内壁之间安装导向柱6，所述刷洗海绵8安装于海绵安装座7，且所述刷洗海绵8与海绵安装座7之间通过锁紧件9连接，刷洗海绵8采用PVA吸水海绵。
[0017]本技术中，还包括注水组件，所述注水组件包括注水支管10和注水主管11，所述海绵安装座7上开设多个注水孔，所述注水支管10出水端与注水孔连接，所述注水支管10进水端与注水主管11出水端连接，所述注水主管11进水端连接外部水源。
[0018]工作原理：将待清洗光罩放置于光罩放置板，之后将外部水源向注水主管内注入清洗水，注水主管内的水通过注水支管进入注水孔，再流至刷洗海绵将刷洗海绵润湿，之后控制推拉缸往复移动，进而带动刷洗海绵往复移动对光罩表面进行刷洗。
[0019]综上所述，本技术结构设计新颖，操作方便，能够实现对光罩表面快速刷洗处理，采用海绵刷洗，能够防止擦伤光罩表面，提高了光罩清洗效果。
[0020]对于本领域技术人员而言，显然本技术不限于上述示范性实施例的细节，而且在不背离本技术的精神或基本特征的情况下，能够以其他的具体形式实现本技术。因此，无论从哪一点来看，均应将实施例看作是示范性的，而且是非限制性的，本实用新
型的范围由所附权利要求而不是上述说明限定，因此旨在将落在权利要求的等同要件的含义和范围内的所有变化囊括在本技术内。不应将权利要求中的任何附图标记视为限制所涉及的权利要求。
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【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种光罩清洗专用海绵刷洗装置, 包括清洗箱（1），其特征在于：所述清洗箱（1）内腔底部安装光罩放置板（2），所述光罩放置板（2）上端面开设放置槽，所述放置槽内放置待清洗光罩（3），所述光罩放置板（2）上方安装海绵刷洗组件。2.根据权利要求1所述的一种光罩清洗专用海绵刷洗装置，其特征在于：所述海绵刷洗组件包括安装座（4）、推拉缸（5）、导向柱（6）、海绵安装座（7）和刷洗海绵（8），所述安装座（4）安装于清洗箱（1）内侧壁，所述推拉缸（5）尾端安装于安装座（4），所述推拉缸（5）伸缩端与海绵安装座（7）一侧连接，所述海绵安装座（7）另一侧与清洗箱（1...

【专利技术属性】
技术研发人员：郑永庆，张衡，陈宏渊，
申请(专利权)人：艾斯尔光电南通有限公司，
类型：新型
国别省市：