一种照明光路系统及曝光光学系统技术方案

本发明专利技术提出三段式照明光路系统，包括：前段子系统，用于收集照明光路前端的匀光部件出射的光束，中段子系统，用于对前段子系统输出的光束进一步汇聚，后段子系统，用于将中段子系统汇聚后的光束投射至数字微镜器件上，通过调整中段子系统的焦距改变照明光路系统的放大倍率，从而可以选择较大的放大倍率来降低对匀光部件的加工要求。匀光部件的加工要求。匀光部件的加工要求。

【技术实现步骤摘要】
一种照明光路系统及曝光光学系统


[0001]本专利技术属于激光投影
，具体涉及一种照明光路系统。

技术介绍

[0002]DLP（Digital Light Processing：数字光学处理）技术是一种应用了DMD（Digital Micromirror Device：数字微镜器件）作为关键处理元件以实现数字光学处理过程的显像技术，正广泛应用于投影显示、特种照明以及光刻加工等领域。DLP系统通常包括光源、匀光部件（多采用匀光棒）、照明光路系统、数字微镜器件、投影光学系统。如图1所示的直写光刻机光学系统中，光源1产生的光束经准直后进入匀光部件2，进行均匀化后入射到照明光路系统3，照明光路系统3将匀光部件2出光位置的物面光投射（成像）到DMD 4的微镜阵列上，DMD作为光调制部件在对光束进行调制后投射到投影光学系统5进行成像。
[0003]在整个DLP系统中，照明光路系统对光束的处理效果直接决定了投影镜头最终的投影效果。照明系统的关键指标包括远心度、放大倍率、后截距、利用率等。而DMD作为核心部件，照明光路系统的设计也需要根据DMD的本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种照明光路系统，所述照明光路系统为远心光学系统，其特征在于，所述照明光路系统包括：前段子系统，用于收集照明光路前端的匀光部件出射的光束；中段子系统，用于对前段子系统输出的光束进一步汇聚；后段子系统，用于将中段子系统汇聚后的光束投射至数字微镜器件上；其中，所述照明光路系统通过调整所述中段子系统的焦距来改变所述照明光路系统的放大倍率。2.如权利要求1所述的照明光路系统，其特征在于，所述任一子系统采用的透镜均为球面透镜。3.如权利要求1所述的照明光路系统，其特征在于，所述前段子系统包括弯月形透镜，所述前表面的曲率半径大于后表面的曲率半径。4.如权利要求3所述的照明光路系统，其特征在于，所述弯月形透镜的前表面和后表面非同心设置，所述前表面和所述后表面的球心距离大于10mm。5.如权利要求1所述的照明光路系统，其特征在于，所述中段子系统包括第一双凹透镜和第一双凸透镜，在光束的传播路径上，所述第一双凸透镜在前，所述第一双凹透镜在后。6.如权利要求5所述的照明光路系统，其特征在于，所述中段子系统还包括位于所述第一双凸透镜和所述第一双凹透镜之间的凸平透镜。7.如权利要求1所述的照明光路系统，其特征在于，所述后段子系统...

【专利技术属性】
技术研发人员：李金，胥涛棚，张雷，
申请(专利权)人：苏州源卓光电科技有限公司，
类型：发明
国别省市：