下载一种照明光路系统及曝光光学系统的技术资料

文档序号:30825537

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本发明提出三段式照明光路系统,包括:前段子系统,用于收集照明光路前端的匀光部件出射的光束,中段子系统,用于对前段子系统输出的光束进一步汇聚,后段子系统,用于将中段子系统汇聚后的光束投射至数字微镜器件上,通过调整中段子系统的焦距改变照明光路系...
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