一种悬浮超薄三维双层手性超表面结构及其制备方法和应用技术

本发明专利技术涉及一种悬浮超薄三维双层手性超表面结构的制备方法，步骤为：S1、在氮化硅薄膜窗口的上下层涂布电子束胶，烘干；S2、在电子束胶上涂布导电胶，烘干；S3、采用电子束光刻写入由若干旋转对称图形单元组成的阵列，并显影；所述电子束是从氮化硅薄膜窗口的上层穿透至氮化硅薄膜窗口的下层；S4、显影完毕后，在氮化硅薄膜窗口的上下层蒸镀金属材料；S5、蒸镀完成后，对电子束胶进行剥离和冲洗，得到悬浮超薄三维双层手性超表面。本发明专利技术采用单次电子束光刻制备悬浮双层超表面结构的方法，大大简化了传统双层超表面的制备过程。所述悬浮超薄三维双层手性超表面结构的上下侧的金属块均可接触手性分子溶液，将大幅提高手性分子检测的灵敏度。灵敏度。灵敏度。

【技术实现步骤摘要】
一种悬浮超薄三维双层手性超表面结构及其制备方法和应用


[0001]本专利技术涉及手性分子检测
，尤其涉及一种悬浮超薄三维双层手性超表面结构及其制备方法和应用。

技术介绍

[0002]手性广泛的存在于自然界中，若物体的镜像不能与原物体重合，则称之为手性。手性分子与其镜像结构被称为对映异构体，具有不同的物理和化学性质。许多手性药剂必须制成高纯度的单一的对映异构体，因为另一种对映异构体会对生物体有毒性。因此，对手性分子的检测具有重大的研究意义。目前，传统的手性分子检测的方法主要有圆二色谱法、旋光色散法、螺旋二色谱法和拉曼旋光法等，以上方法所获得的手性信号很弱，因此无法实现对手性分子浓度的精确检测。
[0003]受益于新世纪以来微纳加工技术的快速发展，人工光学微结构的相关研究在近二十年里取得了长足进步。超表面，作为人工光学微结构，其集合了光学介观体系丰富的物理机理、有力的光参量调控手段，为实现对光与物质相互作用的有效操控提供了一种全新的检测平台，同时也为光学器件的小型化、集成化和轻质化提供了新的途径。近年来，基于超表面的手性检测方法由于其本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种悬浮超薄三维双层手性超表面结构的制备方法，其特征在于，包括如下步骤：S1、在氮化硅薄膜窗口的上层和下层涂布电子束胶，烘干；S2、在电子束胶上涂布导电胶，烘干；S3、采用电子束光刻写入预设结构，并进行显影操作；其中采用电子束光刻时，电子束是从氮化硅薄膜窗口的上层穿透至氮化硅薄膜窗口的下层；所述预设结构包括由若干旋转对称图形单元组成的阵列；S4、显影完毕后，在氮化硅薄膜窗口的上下层蒸镀金属材料；S5、蒸镀完成后，对电子束胶进行剥离和冲洗，得到悬浮超薄三维双层手性超表面。2.根据权利要求1所述的制备方法，其特征在于，S1中，单位面积内，涂布于氮化硅薄膜窗口上层的电子束胶用量大于下层的电子束胶的用量。3.根据权利要求1所述的制备方法，其特征在于，S1中，在氮化硅薄膜窗口下层旋涂5％浓度的电子束正胶AR
‑
P 6200，旋涂厚度为100
‑
130nm；在氮化硅薄膜窗口上层旋涂13％浓度的电子束正胶AR
‑
P 6200，旋涂厚度为350
‑
450nm；每涂布完一面的电子束胶即在140
‑
160℃下烘1
‑
2min。4.根据权利要求1所述的制备方法，其特征在于，S3中，电子束在氮化硅薄膜窗口上层写入的预设结构为：以两个不对齐且分离的矩形块为一个最小重复单元进行阵列式排布；所述两个不对齐且分离的矩形块构成旋转对称图形。5.根据权利要求1所述的制备方法，其特征在于，S4中，在氮化硅薄膜窗口的上下层均蒸镀20
‑
50nm的金；所述氮化硅薄膜窗口中氮化硅薄膜的厚度为40
...

【专利技术属性】
技术研发人员：刘言军，岑梦嘉，
申请(专利权)人：南方科技大学，
类型：发明
国别省市：