一种复合消色差波片相位延迟量测量装置和方法制造方法及图纸

本发明专利技术涉及一种复合消色差波片相位延迟量测量装置和方法，装置包括：沿设计光路依次设置的单波长光源、准直镜头、起偏器、检偏器、汇聚镜头以及能量检测组件；所述起偏器与检偏器之间设置有第一旋转机构；测量时，待测复合消色差波片与所述第一旋转机构固定连接，并与所述设计光路同光轴设置。本发明专利技术首先记录未放待测波片时出射能量值，然后将待测波片放置于透光轴方向相同的起偏器和检偏器中间，通过旋转待测波片测试出光能量的最大值与最小值，由此三个测量值推导得出待测波片相位延迟量与未放待测波片时出射光强、放置波片后出射能量最大值、最小值的对应关系，从而准确快速标定待测波片的相位延迟量。待测波片的相位延迟量。待测波片的相位延迟量。

【技术实现步骤摘要】
一种复合消色差波片相位延迟量测量装置和方法


[0001]本专利技术涉及光学测量
，具体涉及一种复合消色差波片相位延迟量测量装置和方法。

技术介绍

[0002]波片也称为相位延迟器，是一种重要的偏振光学器件，它可以使偏振光的两个互相垂直的线偏振光之间产生一个相对的相位延迟，从而改变光的偏振态，配合其他偏振器件可实现偏振光的调制和检测，被广泛应用于偏振检测、椭偏测量、光学成像等领域。常见的波片为单波长波片和可见光波段消色差波片，这些波片按照其产生的相位延迟可以分为1/4和1/2波片等，单波长波片在设计波长处可产生特定的相位延迟量，通常由单片双折射材料加工而成，可见光波段消色差波片则通常由两种或多种双折射材料如石英和氟化镁按照一定的厚度和光轴方向匹配设计、加工、组合后在可见光范围内实现基本一致的相位延迟。随着人们对偏振测量、椭偏测量中宽光谱、宽视场角和消色差、消温差的需求，单波长波片和可见光消色差波片在宽光谱、宽视场角、温度变化条件下的有限的相位延迟精度已不能满足人们的测量需求，因此需要将几个单波片按照一定的结构进行组合，来抵消或减弱波长、温度本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种复合消色差波片相位延迟量测量装置，其特征在于，包括：沿设计光路依次设置的单波长光源、准直镜头(3)、起偏器(4)、检偏器(6)、汇聚镜头(7)以及能量检测组件(8)；所述起偏器(4)与检偏器(6)之间设置有第一旋转机构；测量时，待测复合消色差波片(5)与所述第一旋转机构固定连接，并与所述设计光路同光轴设置；所述待测复合消色差波片相对起偏器与检偏器的角度在所述第一旋转机构的驱动下旋转可调。2.根据权利要求1所述的复合消色差波片相位延迟量测量装置，其特征在于，所述测量装置还包括第二旋转机构和第三旋转机构，所述起偏器(4)和检偏器(6)分别设置在所述第二旋转机构和第三旋转机构上，所述第二旋转机构用于旋转所述起偏器(4)，使得所述起偏器的出射光为偏振方向为水平方向的线偏振光，所述第三旋转机构用于旋转所述检偏器(6)，使得所述检偏器(6)的透光轴方向与所述起偏器的出射光偏振方向一致。3.根据权利要求1或2所述的复合消色差波片相位延迟量测量装置，其特征在于，所述单波长光源包括宽光谱光源(1)和单色仪(2)；所述宽光谱光源(1)的波长范围涵盖待测复合消色差波片(5)的设计波长范围；所述单色仪(2)工作波段范围以及所述能量检测组件(8)工作波段范围涵盖待测复合消色差波片(5)的设计波长范围；所述宽光谱光源(1)经所述单色仪(2)调制后输出单波长光束。4.根据权利要求1或2所述的复合消色差波片相位延迟量测量装置，其特征在于，所述准直镜头(3)和汇聚镜头(7)设计波段范围与待测复合消色差波片(5)的设计波段相适应；所述起偏器(4)和检偏器(6)设计波段范围涵盖待测复合消色差波片(5)的设计波长范围，同时所述起偏器(4)和检偏器(6)在设计波段范围内消光比大于10000:1。5.一种复合消色差波片相位延迟量测量方法，该方法基于权利要求1
‑
4任一项所述的复合消色差波片相位延迟量测量装置实现，其特征在于，包括以下步骤：S1：获取波长为λi单波长光束，所述单波长光束经准直镜头准直为平行光后入射至起偏器，旋转起偏器得到偏振方向为水平方向的入射线偏振光；S2：旋转检偏器，使得检偏器的透光轴方向与所述入射线偏振光的偏振方向一致，所述入射线偏振光通过所述检偏器后形成第一出射线偏振光；S3：通过能量检测组件探测所述第一出射线偏振光的光强E
λi
；S4：将复合消色差波片放置在第一旋转机构上，所述入射线偏振光先后通过所述复合消色差波片、所述检偏器后形成第二出射线偏振光，旋转复合消色差波片，...

【专利技术属性】
技术研发人员：李伟奇，吴警政，张传维，刘亮，郭春付，杨康，
申请(专利权)人：上海精测半导体技术有限公司，
类型：发明
国别省市：