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本发明涉及一种复合消色差波片相位延迟量测量装置和方法，装置包括：沿设计光路依次设置的单波长光源、准直镜头、起偏器、检偏器、汇聚镜头以及能量检测组件；所述起偏器与检偏器之间设置有第一旋转机构；测量时，待测复合消色差波片与所述第一旋转机构固定连...
该专利属于上海精测半导体技术有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过上海精测半导体技术有限公司授权不得商用。

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