本发明专利技术提供流量比例控制系统、成膜系统、异常诊断方法和异常诊断程序介质，在将彼此并列设置的多条分流流道的流量控制为规定的分流比的流量比例控制系统中，为了能诊断是否发生了影响其分流比的系统异常，包括：分流比计算部(43)，在彼此不同的分流流道(1)的流体控制阀(3)关闭的状态下，计算使流体流过这些分流流道(1)而得到的流量传感器(2)的输出值的比例作为实际分流比；基准分流比存储部(44)，存储成为实际分流比的基准的基准分流比；以及异常诊断部(45)，通过将实际分流比和基准分流比进行比较来诊断系统异常。比进行比较来诊断系统异常。比进行比较来诊断系统异常。
【技术实现步骤摘要】
流量比例控制系统、成膜系统、异常诊断方法和程序介质
[0001]本专利技术涉及例如半导体制造工序等中采用的流量比例控制系统、成膜系统和所述流量比例控制系统的异常诊断方法以及异常诊断程序介质。
技术介绍
[0002]作为这种流量比例控制系统，具备彼此并列设置的多条分流流道，将流入各个分流流道的流体的流量的比例控制为规定的分流比。
[0003]更具体地，在上述流量比例控制系统中，各个分流流道上设置有流量传感器和流体控制阀，以使各流量传感器的输出值的比例成为规定的分流比的方式控制流体控制阀。
[0004]在这种流量比例控制系统中，专利文献1记载了如下方法：在分流流道上设置的断流阀关闭的状态下，使流体流入，通过测定此时的压力上升来检测有无泄漏。
[0005]可是，即使通过这种检测而诊断为没有泄漏，但倘若流量传感器中存在堵塞等异常，则流过分流流道的流量也达不到规定的分流比，倘若流体控制阀中存在不同于泄漏的异常，还是得不到规定的分流比。
[0006]现有技术文献
[0007]专利文献1：日本专利公开公报特开2007
‑
095042号
技术实现思路
[0008]为了解决上述问题，本专利技术主要目的是在将彼此并列设置的多条分流流道的流量控制为规定的分流比的系统中可诊断是否发生影响其分流比的系统异常。
[0009]即，本专利技术的流量比例控制系统，包括：彼此并列设置的多条分流流道；设置在各所述分流流道上的流量传感器；以及设置在各个分流流道中所述流量传感器的下游的流体控制阀，所述流量比例控制系统以使流过各个分流流道的流体的流量的比例成为规定的分流比的方式控制所述流体控制阀，在所述流量比例控制系统中，包括：分流比计算部，在彼此不同的所述分流流道的所述流体控制阀关闭的状态下，计算使流体流过这些分流流道而得到的所述流量传感器的输出值的比例作为实际分流比；基准分流比存储部，存储成为所述实际分流比的基准的基准分流比；以及异常诊断部，通过将所述实际分流比和所述基准分流比进行比较来诊断系统异常。
[0010]按照这种结构的流量比例控制系统，由于将实际分流比与基准分流比进行比较，所以可以诊断是否发生例如以泄漏为首的流体控制阀的各种异常和以堵塞为首的流量传感器的各种异常等影响实际分流比的系统异常。
[0011]优选由所述分流比计算部计算的所述实际分流比，通过流体流入所述分流流道中的从所述流量传感器至所述流体控制阀的内部容积而得到。
[0012]按照这种结构，因为由流体流入内部容积而得到的分流比在没有系统异常时再现性良好，成为恒定的比例，所以能够提高诊断的合理性。
[0013]作为所述基准分流比的具体的实施方式，可以列举在系统的制造初期或系统的维
修后在彼此不同的所述分流流道的所述流体控制阀关闭的状态下，流体流过这些分流流道而得到的所述流量传感器的输出值的比例。
[0014]为了能够诊断系统异常之一的流量传感器的异常，优选所述异常诊断部在所述实际分流比中包含比所述基准分流比小的数值的情况下，判断为与该数值对应的所述分流流道的所述流量传感器存在异常。
[0015]为了能够诊断系统异常之一的流体控制阀的异常，优选所述异常诊断部在所述实际分流比中包含比所述基准分流比大的数值的情况下，判断为与该数值对应的所述分流流道的所述流体控制阀存在异常。
[0016]若所述流量传感器是热式的流量传感器，则例如可以诊断旁路流道等的层流元件的堵塞。
[0017]作为所述流体控制阀的具体的实施方式，可以列举具有用于检测阀体的相对于阀座的位置的位置传感器。
[0018]此外，本专利技术的成膜系统包括：如上所述的流量比例控制系统；气体面板，设置在所述流量比例控制系统的上游侧，向该流量比例控制系统供给流体；以及成膜腔室，设置在所述流量比例控制系统的下游侧，被供给由该流量比例控制系统控制了分流比的流体。
[0019]此外，本专利技术的异常诊断方法，在流量比例控制系统中使用，所述流量比例控制系统包括：彼此并列设置的多条分流流道；设置在各分流流道上的流量传感器；以及各所述分流流道中的设置在所述流量传感器的下游的流体控制阀，所述流量比例控制系统以使流过各个分流流道的流体的流量的比例成为规定的分流比的方式控制所述流体控制阀，所述异常诊断方法包括：分流比计算步骤，在彼此不同的所述分流流道的所述流体控制阀关闭的状态下，计算使流体流过这些分流流道而得到的所述流量传感器的输出值的比例作为实际分流比；以及异常诊断步骤，通过将所述实际分流比和成为所述实际分流比的基准的基准分流比进行比较来诊断系统异常。
[0020]而且，本专利技术的异常诊断程序介质，在流量比例控制系统中使用，所述流量比例控制系统包括：彼此并列设置的多条分流流道；设置在各所述分流流道上的流量传感器；以及设置在各个分流流道中所述流量传感器的下游的流体控制阀，所述流量比例控制系统以使流过各个分流流道的流体的流量的比例成为规定的分流比的方式控制所述流体控制阀，所述异常诊断程序介质存储使计算机发挥下述功能的程序：分流比计算部，在彼此不同的所述分流流道的所述流体控制阀关闭的状态下，计算使流体流过这些分流流道而得到的所述流量传感器的输出值的比例作为实际分流比；基准分流比存储部，存储成为所述实际分流比的基准的基准分流比；以及异常诊断部，通过将所述实际分流比和所述基准分流比进行比较来诊断系统异常。
[0021]按照上述的异常诊断方法和异常诊断程序介质，可以得到和上述的流量比例控制系统同样的作用效果。
[0022]按照这种结构的本专利技术，在将彼此并列设置的多条分流流道的流量控制为规定的分流比的系统中，可以诊断是否发生了影响其分流比的系统异常。
附图说明
[0023]图1是表示本专利技术的一个实施方式的流量比例控制系统的结构的示意图。
[0024]图2是表示同实施方式中的流量传感器和流体控制阀的结构的示意图。
[0025]图3是表示同实施方式中的控制装置的功能的功能框图。
[0026]图4是表示同实施方式中的异常诊断的动作方法的流程图。
[0027]图5是表示同实施方式中的系统异常时的流量的变化的图。
[0028]图6是表示同实施方式中的系统异常时的流量的变化的图。
[0029]图7是表示另一实施方式中的控制装置的功能的功能框图。
[0030]附图标记说明
[0031]100 流量比例控制系统
[0032]1ꢀꢀꢀ
分流流道
[0033]2ꢀꢀꢀ
流量传感器
[0034]3ꢀꢀꢀ
流体控制阀
[0035]4ꢀꢀꢀ
控制装置
[0036]41
ꢀꢀ
流量计算部
[0037]42
ꢀꢀ
阀控制部
[0038]43
ꢀꢀ
分流比计算部
[0039]44
ꢀꢀ
基准分流比存储部
[0040]45...
【技术保护点】
【技术特征摘要】
1.一种流量比例控制系统，包括：彼此并列设置的多条分流流道；设置在各所述分流流道上的流量传感器；以及设置在各个分流流道中所述流量传感器的下游的流体控制阀，所述流量比例控制系统以使流过各个分流流道的流体的流量的比例成为规定的分流比的方式控制所述流体控制阀，所述流量比例控制系统的特征在于，包括：分流比计算部，在彼此不同的所述分流流道的所述流体控制阀关闭的状态下，计算使流体流过这些分流流道而得到的所述流量传感器的输出值的比例作为实际分流比；基准分流比存储部，存储成为所述实际分流比的基准的基准分流比；以及异常诊断部，通过将所述实际分流比和所述基准分流比进行比较来诊断系统异常。2.根据权利要求1所述的流量比例控制系统，其特征在于，由所述分流比计算部计算的所述实际分流比，通过流体流入所述分流流道中的从所述流量传感器至所述流体控制阀的内部容积而得到。3.根据权利要求1所述的流量比例控制系统，其特征在于，所述基准分流比是在系统的制造初期或系统的维修后在彼此不同的所述分流流道的所述流体控制阀关闭的状态下，流体流过这些分流流道而得到的所述流量传感器的输出值的比例。4.根据权利要求1所述的流量比例控制系统，其特征在于，所述异常诊断部在所述实际分流比中包含比所述基准分流比小的数值的情况下，判断为与该数值对应的所述分流流道的所述流量传感器存在异常。5.根据权利要求1所述的流量比例控制系统，其特征在于，所述异常诊断部在所述实际分流比中包含比所述基准分流比大的数值的情况下，判断为与该数值对应的所述分流流道的所述流体控制阀存在异常。6.根据权利要求1所述的流量比例控制系统，其特征在于，所述流量传感器是热式的流量传感器。7.根据权利要求1所述的流量比例控制系统，其特征在于，所述流体控制阀具有用于检测阀体的相对于阀座的位置的位置...
【专利技术属性】
技术研发人员：金丸雄介，瀧尻兴太郎，赤土和也，
申请(专利权)人：株式会社堀场STEC，
类型：发明
国别省市：
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