清洗装置制造方法及图纸

本实用新型专利技术实施例提供了一种清洗装置，包括：承载部件、喷嘴及第一管路；其中，对待清洗器件进行清洗时，所述待清洗器件设置在所述承载部件上；所述喷嘴设置在所述待清洗器件的上方，用于向所述待清洗器件喷射第一液体，以清洗所述待清洗器件；所述第一管路的进气口设置在与所述喷嘴靠近的位置，用于排出第一气体；所述第一气体是在清洗所述待清洗器件过程中，由所述第一液体形成的。由所述第一液体形成的。由所述第一液体形成的。

【技术实现步骤摘要】
清洗装置


[0001]本技术涉及半导体
，尤其涉及一种清洗装置。

技术介绍

[0002]在半导体的制造过程中，需要在晶圆上进行各种工艺处理，如蚀刻、氧化、沉积、去光阻以及化学机械研磨等。这些工艺处理，在实现晶圆功能的同时，均会或多或少的在晶圆表面产生污染物，如有机附着物、颗粒、金属附着物以及氧化膜等。这些污染物若不及时去除，附着在晶圆表面会极大的影响晶圆性能，因此，在晶圆的制造过程中，对晶圆进行清洗来清除污染物必不可少。
[0003]然而，相关技术中的清洗装置存在清洗效果不佳的问题。

技术实现思路

[0004]为解决现有存在的技术问题，本技术实施例提出一种清洗装置。
[0005]本技术实施例提供了一种清洗装置，包括：
[0006]承载部件、喷嘴及第一管路；其中，
[0007]对待清洗器件进行清洗时，所述待清洗器件设置在所述承载部件上；
[0008]所述喷嘴设置在所述待清洗器件的上方，用于向所述待清洗器件喷射第一液体，以清洗所述待清洗器件；
[0009]所述第一管路的进气口设置在与所述喷嘴靠近的位置，用于排出第一气体；所述第一气体是在清洗所述待清洗器件过程中，由所述第一液体形成的。
[0010]上述方案中，所述第一管路的材质包括疏水性材质。
[0011]上述方案中，所述疏水性材质包括可溶性聚四氟乙烯(PFA，PerFluoroAlkoxy)。
[0012]上述方案中，所述清洗装置还包括第二管路，所述第二管路与所述第一管路连接；第二液体通过所述第二管路被通入至所述第一管路中，以清洗所述第一管路；
[0013]所述清洗装置还包括第三管路，所述第三管路与所述第一管路连接；第二气体通过所述第三管路被通入至所述第一管路中，以干燥所述第一管路。
[0014]上述方案中，所述第二管路设置在靠近所述第一管路的出气口的一端，且通过第一三通阀门与所述第一管路连接；
[0015]所述第三管路设置在所述第一管路的出气口与所述第二管路之间，且通过第二三通阀门与所述第一管路连接。
[0016]上述方案中，所述第一三通阀门包括第一阀门、第二阀门及第三阀门；所述第一阀门和所述第二阀门设置在所述第一管路上，所述第三阀门设置在所述第二管路上；所述第二三通阀门包括第四阀门、第五阀门及第六阀门；所述第四阀门和所述第五阀门设置在所述第一管路上，所述第六阀门设置在所述第三管路上；
[0017]在清洗所述待清洗器件过程中，通过开启所述第一阀门、第二阀门、第四阀门和第五阀门，且关闭所述第三阀门和所述第六阀门，以使所述第一气体通过所述第一管路排出；
[0018]在所述待清洗器件清洗完成后，通过开启所述第二阀门和所述第三阀门，且关闭所述第一阀门、第四阀门、第五阀门和第六阀门，将所述第二液体通入至所述第一管路中，以清洗所述第一管路；
[0019]在所述第一管路清洗完成后，通过开启所述第一阀门、第二阀门、第五阀门和第六阀门，且关闭所述第三阀门和所述第四阀门，将所述第二气体通入至所述第一管路中，以干燥所述第一管路。
[0020]上述方案中，所述清洗装置还包括移动部件，所述喷嘴设置在所述移动部件上，所述移动部件能够带动所述喷嘴在所述待清洗器件的上方移动；当所述喷嘴在所述待清洗器件的上方移动时，所述第一管路的进气口随着所述喷嘴的移动而移动。
[0021]上述方案中，所述清洗装置还包括泵，所述泵与所述第一管路的出气口连接；通过所述泵的抽气作用将所述第一管路中的所述第一气体排出所述第一管路。
[0022]上述方案中，所述清洗装置还包括第四管路、第五管路及第六管路；其中，
[0023]在清洗所述待清洗器件过程中，第三液体通过所述第五管路被输送至所述第四管路中，第四液体通过所述第六管路被输送至所述第四管路中；所述第三液体和所述第四液体在第四管路中混合形成所述第一液体；
[0024]所述第四管路与所述喷嘴连接，用于将所述第一液体输送至所述喷嘴中。
[0025]上述方案中，所述清洗装置还包括积液槽，设置在所述承载部件的底部和外围，用于收集清洗残液。
[0026]本技术实施例提供了一种清洗装置，包括：承载部件、喷嘴及第一管路；其中，对待清洗器件进行清洗时，所述待清洗器件设置在所述承载部件上；所述喷嘴设置在所述待清洗器件的上方，用于向所述待清洗器件喷射第一液体，以清洗所述待清洗器件；所述第一管路的进气口设置在与所述喷嘴靠近的位置，用于排出第一气体；所述第一气体是在清洗所述待清洗器件过程中，由所述第一液体形成的。本技术实施例通过设置第一管路，且使第一管路的进气口靠近喷射第一液体的喷嘴设置，使得第一管路能够及时的排出在对待清洗器件进行清洗时由第一液体形成的第一气体，避免了第一气体由于排出不及时而凝结在待清洗器件表面或清洗腔室的内壁上，造成清洗效果不佳的问题，如此，本技术实施例清洗装置能够实现较好的清洗效果。
附图说明
[0027]图1为相关技术中晶圆清洗装置的外形示意图；
[0028]图2为相关技术中晶圆清洗装置中的第一气体凝结于晶圆表面的示意图；
[0029]图3为相关技术中晶圆清洗装置的排出第一气体路径示意图；
[0030]图4为相关技术中第一气体凝结于晶圆表面形成的缺陷分布图；
[0031]图5为相关技术中第一气体凝结于晶圆表面形成的缺陷形貌图；
[0032]图6为本技术实施例清洗装置的结构组成示意图；
[0033]图7为本技术实施例清洗装置的外形示意图；
[0034]图8为本技术另一实施例管路连接示意图；
[0035]图9为本技术再一实施例管路连接示意图；
[0036]图10为本技术实施例管外清洗及干燥装置示意图。
具体实施方式
[0037]为使本技术实施例的目的、技术方案和优点更加清楚，下面将结合本技术实施例中的附图，对技术的具体技术方案做进一步详细描述。
[0038]本技术实施例中的待清洗器件可以包括晶圆，但不限于此。
[0039]相关技术中的晶圆清洗装置如图1所示。图1的清洗装置包括喷嘴(图中未示出)、承载部件及固定部件，其中待清洗器件通过固定部件固定在承载部件上；喷嘴设置在待清洗器件的上方，用于向待清洗器件喷射第一液体，以清洗所述待清洗器件。喷嘴可以与一管路连接，在清洗待清洗器件时，通过该管路通入第一液体，并通过喷嘴向待清洗器件喷射第一液体。实际应用中，这里的第一液体可以包括强氧化性的清洗剂。这里的清洗装置可以设置在清洗腔室(图1中未示出)中。
[0040]利用如图1的清洗装置对待清洗器件进行清洗时，容易产生一些副产物，所述副产物可以是由第一液体在高温下挥发形成的第一气体，该第一气体若不及时排走，将会凝结在待清洗器件的表面(如图2所示)。
[0041]实际应用时，在所述清洗装置中还包括积液槽，设置在承载部件的底部(图本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种清洗装置，其特征在于，所述装置包括：承载部件、喷嘴及第一管路；其中，对待清洗器件进行清洗时，所述待清洗器件设置在所述承载部件上；所述喷嘴设置在所述待清洗器件的上方，用于向所述待清洗器件喷射第一液体，以清洗所述待清洗器件；所述第一管路的进气口设置在与所述喷嘴靠近的位置，用于排出第一气体；所述第一气体是在清洗所述待清洗器件过程中，由所述第一液体形成的。2.根据权利要求1所述的装置，其特征在于，所述第一管路的材质包括疏水性材质。3.根据权利要求2所述的装置，其特征在于，所述疏水性材质包括可溶性聚四氟乙烯。4.根据权利要求1所述的装置，其特征在于，所述清洗装置还包括第二管路，所述第二管路与所述第一管路连接；第二液体通过所述第二管路被通入至所述第一管路中，以清洗所述第一管路；所述清洗装置还包括第三管路，所述第三管路与所述第一管路连接；第二气体通过所述第三管路被通入至所述第一管路中，以干燥所述第一管路。5.根据权利要求4所述的装置，其特征在于，所述第二管路设置在靠近所述第一管路的出气口的一端，且通过第一三通阀门与所述第一管路连接；所述第三管路设置在所述第一管路的出气口与所述第二管路之间，且通过第二三通阀门与所述第一管路连接。6.根据权利要求5所述的装置，其特征在于，所述第一三通阀门包括第一阀门、第二阀门及第三阀门；所述第一阀门和所述第二阀门设置在所述第一管路上，所述第三阀门设置在所述第二管路上；所述第二三通阀门包括第四阀门、第五阀门及第六阀门；所述第四阀门和所述第五阀门设置在所述第一管路上，所述第六阀门设置在所述第三管路上；在清洗所述待清洗器件过程...

【专利技术属性】
技术研发人员：王秋林，周利刚，张锐，
申请(专利权)人：长江存储科技有限责任公司，
类型：新型
国别省市：