用于递送钒化合物的方法和系统技术方案

一种方法，可以包括：将四氯化钒设置在递送容器中；将四氯化钒递送到与递送容器流体连通的反应室；减缓四氯化钒的分解产物向反应室的递送；和/或将四氯化钒施加到设置在反应室中的衬底以在衬底上形成包括钒的层。中的衬底以在衬底上形成包括钒的层。中的衬底以在衬底上形成包括钒的层。

【技术实现步骤摘要】
用于递送钒化合物的方法和系统


[0001]本公开总体上涉及适用于气相反应器系统的方法和设备。更特别地，本公开涉及可以用于稳定前驱体减缓气相反应器系统中的污染的方法、化合物和系统。

技术介绍

[0002]前驱体是可以用于形成另一材料的化合物。例如，前驱体可以被用于气相反应中以形成材料的薄膜或层。不幸的是，可能具有符合期望的性质(诸如在常压常温下符合期望的蒸汽压)和/或期望的反应性(例如，具有表面或另一化合物)的一些前驱体可能分解为其他化合物。特别地，一些前驱体可能分解以产生腐蚀性气体，其可能在处理期间腐蚀反应器系统的零件和/或导致不期望的蚀刻。分解可能缩短前驱体的保质期，使制造复杂化，要求附加的提纯步骤，导致储存和/或运输问题，并且可能限制期望的材料可用于反应器系统内的反应的在源容器内的量。另外，反应器系统零件的腐蚀可能缩短反应器系统和/或其零件的寿命并因此增加运行这样的装备的成本。另外，腐蚀可能导致反应器系统蚀刻产物合并在沉积的膜内和/或导致衬底缩短膜的蚀刻，这进而可能导致这样的膜的质量和/或均匀度上的降低。另外，由于前驱体分解速率通常随着温度本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种方法，包括：将四氯化钒设置在递送容器中；将所述四氯化钒递送到与所述递送容器流体连通的反应室；减缓所述四氯化钒的分解产物向所述反应室的递送；以及将所述四氯化钒施加到设置在所述反应室中的衬底以在所述衬底上形成包括钒的层。2.根据权利要求1所述的方法，其中包括三氯化钒和氯气的所述四氯化钒的分解产物的递送的减缓包括减缓所述四氯化钒在所述递送容器内的分解。3.根据权利要求2所述的方法，其中减缓所述四氯化钒在所述递送容器内的分解包括在将所述四氯化钒递送到所述反应室之前向所述递送容器供给过量氯气。4.根据权利要求2所述的方法，其中减缓所述四氯化钒在所述递送容器内的分解包括将所述四氯化钒和所述氯气从所述递送容器转移到废弃罐；以及在将所述四氯化钒递送到所述反应室之前将新鲜四氯化钒递送到所述递送容器中。5.根据权利要求4所述的方法，其中所述递送容器包括底部凹陷区域，其中浸入管的尖端设置在所述底部凹陷区域内。6.根据权利要求4所述的方法，其中从与所述递送容器流体连通的大容量供给罐将所述新鲜四氯化钒设置到所述递送容器中。7.根据权利要求6所述的方法，还包括减缓所述新鲜四氯化钒在所述大容量供给罐内的分解。8.根据权利要求7所述的方法，其中减缓所述新鲜四氯化钒在所述大容量供给罐内的分解包括向所述大容量供给罐供给过量氯气。9.根据权利要求7所述的方法，其中减缓所述新鲜四氯化钒在所述大容量供给罐内的分解包括从所述大容量供给罐移除所述氯气。10.根据权利要求9所述的方法，其中从所述大容量供给罐移除所述氯气还包括从所述大容量供给罐移除包括在包括所述新鲜四氯化钒的成分中的溶解的氯气。11.根据权利要求2所述的方法，其中减缓所述四氯化钒在所述递送容器内的分解包括从所述递...

【专利技术属性】
技术研发人员：C德泽拉，谢琦，P雷萨宁，D皮埃罗，B琼布罗德，W科内鹏，EJ希罗，
申请(专利权)人：ASMIP私人控股有限公司，
类型：发明
国别省市：