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一种方法，可以包括：将四氯化钒设置在递送容器中；将四氯化钒递送到与递送容器流体连通的反应室；减缓四氯化钒的分解产物向反应室的递送；和/或将四氯化钒施加到设置在反应室中的衬底以在衬底上形成包括钒的层。中的衬底以在衬底上形成包括钒的层。中的衬底...
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