一种镀膜装置，包括第一工位和第二工位，所述第一工位用于放置靶材，所述第二工位，用于放置产品，所述镀膜装置还包括引流组件，所述引流组件位于所述第一工位和所述第二工位之间，用于引导至少部分溅射的靶材粒子从同一方向流向所述产品。上述镀膜装置将引流组件设置于第一工位和第二工位之间，通过调整引流组件阻隔部分运动轨迹无规律的靶材粒子，引导溅射的靶材粒子从同一方向流向产品，保证靶材粒子均匀的附着在产品的表面，有效解决产品镀膜色差的问题。色差的问题。色差的问题。
【技术实现步骤摘要】
镀膜装置
[0001]本申请涉及产品镀膜领域，尤其涉及一种镀膜装置。
技术介绍
[0002]目前产品的装夹治具通过堆栈的方式串到串杆上，上下治具之间的间隔较小，在镀膜过程中，就会导致产品上下面和正对靶材的面的膜厚度不一致，产品上下边缘和正对面就会出现色差。
技术实现思路
[0003]有鉴于此，有必要提供一种镀膜装置，其能够避免产品出现色差。
[0004]本申请的实施例提供一种镀膜装置，包括第一工位和第二工位，所述第一工位用于放置靶材，所述第二工位，用于放置产品，所述镀膜装置还包括引流组件，所述引流组件位于所述第一工位和所述第二工位之间，用于引导至少部分溅射的靶材粒子从同一方向流向所述产品。
[0005]进一步地，在本申请的一些实施例中，所述引流组件包括支架、至少两引流板和联动机构，所述至少两引流板转动连接于所述支架，所述联动机构连接于所述引流板，用于控制所述引流板的转动角度，以调整所述引流板所在平面与产品所在平面的角度。
[0006]进一步地，在本申请的一些实施例中，所述联动机构包括联动杆和第一连接件，所述联动杆位于所述至少两引流板的同一侧，所述连接件连接所述联动杆与所述引流板，所述连接件与所述联动杆转动连接，且与所述至少两引流板固定连接。
[0007]进一步地，在本申请的一些实施例中，所述引流组件还包括驱动件，所述驱动件连接所述第一连接件，用于驱动所述联动杆移动，以带动所述引流板进行角度调节。
[0008]进一步地，在本申请的一些实施例中，所述第二工位用于放置两列产品，所述引流组件包括第一引流板组和第二引流板组，所述第一引流板数组和第二引流板数组相对的侧边之间的距离与所述两列产品之间的间距相同。
[0009]进一步地，在本申请的一些实施例中，所述引流板包括第一引流板及相邻的第二引流板，所述第一引流板具有第一侧边，所述第二引流板具有第二侧边，所述第一侧边相对且平行于所述第二侧边，所述第一侧边与第二侧边垂直于所述联动杆长度方向，所述第一侧边与第二侧边的距离等于所述第二工位上堆叠的两相邻产品之间的间距。
[0010]进一步地，在本申请的一些实施例中，所述引流板所在平面与产品所在平面的角度为40～45
°
。
[0011]进一步地，在本申请的一些实施例中，所述驱动件包括第二连接件和调节件，所述第二连接件连接于所述第一连接件，所述调节件连接所述第二连接件，用于带动所述第一连接件转动，以带动所述引流板进行角度调节。
[0012]进一步地，在本申请的一些实施例中，所述镀膜装置还包括检测器、通信接口和处理器，所述检测器用于检测镀膜后所述产品的性能参数数据；所述通信接口电连接于所述
检测器，以接收所述性能参数数据；所述处理器耦合于所述通信接口和所述驱动件，用于根据所述性能参数数据及所述引流板的角度，控制所述驱动件调节所述引流板的角度。
[0013]进一步地，在本申请的一些实施例中，所述通信接口还用于接收产品的形状信息和产品间距信息，所述处理器还根据所述产品的形状信息和间距信息调节所述引流板的角度。
[0014]进一步地，在本申请的一些实施例中，所述处理器还用于根据所述引流板的角度、产品的性能参数数据、产品的形状信息及产品的间距信息，建立角度控制模型，所述处理器至少根据所述产品的间距、所述性能参数及所述角度控制模型，控制所述驱动件调节所述引流板的角度。
[0015]上述镀膜装置将引流组件设置于第一工位和第二工位之间，通过调整引流组件阻隔部分运动轨迹无规律的靶材粒子，引导溅射的靶材粒子从同一方向流向产品，保证靶材粒子均匀的附着在产品的表面，有效解决产品镀膜色差的问题。
附图说明
[0016]图1示意了一实施例中镀膜装置的结构示意图。
[0017]图2示意了另一实施例中镀膜装置的结构示意图。
[0018]图3示意了一实施例中引流组件的结构示意图。
[0019]图4示意了另一实施例中引流组件的结构示意图。
[0020]主要元件符号说明
[0021]镀膜装置
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100
[0022]第一工位
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10
[0023]靶材
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11
[0024]第二工位
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20
[0025]转动架
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21
[0026]串杆
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22
[0027]引流组件
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30
[0028]支架
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[0029]支撑杆
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[0030]固定部
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312
[0031]引流板
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32
[0032]第一引流板
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321
[0033]第一侧边
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[0034]第二引流板
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322
[0035]第二侧边
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[0036]第一引流板组
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[0037]第二引流板组
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[0038]联动机构
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[0039]联动杆
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[0040]连接块
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[0041]第一连接件
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[0042]转动件
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33本文档来自技高网...
【技术保护点】
【技术特征摘要】
1.一种镀膜装置，包括：第一工位，用于放置靶材；第二工位，用于放置产品；其特征在于，所述镀膜装置还包括：引流组件，位于所述第一工位和所述第二工位之间，用于引导至少部分溅射的靶材粒子从同一方向流向所述产品。2.如权利要求1所述的镀膜装置，其特征在于，所述引流组件包括：支架；至少两引流板，至少两所述引流板转动连接于所述支架；和联动机构，连接于所述引流板，用于控制所述引流板的转动角度，以调整所述引流板所在平面与产品所在平面的角度。3.如权利要求2所述的镀膜装置，其特征在于，所述联动机构包括：联动杆，位于至少两所述引流板的同一侧；第一连接件，连接所述联动杆与所述引流板，所述第一连接件与所述联动杆转动连接，且与所述引流板固定连接。4.如权利要求3所述的镀膜装置，其特征在于，所述引流组件还包括：驱动件，连接所述第一连接件，用于驱动所述联动杆移动，以带动所述引流板进行角度调节。5.如权利要求1所述的镀膜装置，其特征在于，所述第二工位用于放置两列产品，所述引流组件包括第一引流板组和第二引流板组，所述第一引流板数组和第二引流板数组相对的侧边之间的距离与所述两列产品之间的间距相同。6.如权利要求3所述的镀膜装置，其特征在于，所述引流板包括第一引流板及相邻的第二引流板，所述第一引流板具有第一侧边，所述第二引流板具有第二侧边，所述第一侧边相对且平行于所述第二侧边，所...
【专利技术属性】
技术研发人员：张远华，
申请(专利权)人：深圳市裕展精密科技有限公司，
类型：新型
国别省市：
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