一种带真空度调节系统的探针台技术方案

本实用新型专利技术涉及一种带真空度调节系统的探针台，包括探针台和真空度调节系统，探针台包括壳体和壳体盖，壳体盖与壳体密封配合形成测试腔，测试腔中设有测试台和测试探针，壳体壁上设有气体进口和抽真空气口。真空度调节系统包括与气体气氛管路和抽真空管路，气体气氛管路上设有气体流量计，抽真空管路上设有真空泵和带步进电机的真空蝶阀。真空蝶阀位于真空泵的上游。步进电机连接有控制器，壳体上设有真空计，真空计与控制器连接。控制器采集真空计的数值来调节真空蝶阀的开度，以维持探针台测试腔中设定的真空值，气体气氛管路上通过气体流量计控制输入的气氛气体流量，能够向测试腔施加不同真空度及不同气体气氛环境，增加探针台的使用范围。针台的使用范围。针台的使用范围。

【技术实现步骤摘要】
一种带真空度调节系统的探针台


[0001]本技术涉及探针台领域，具体涉及一种带真空度调节系统的探针台。

技术介绍

[0002]半导体材料已经被广泛研究，半导体芯片的研发生产中需要对芯片的参数进行各种测量。众所周知，半导体材料受到所处环境的影响而表现出不同的性能，例如不同真空度环境下以及不同气体气氛环境下，半导体材料的性能也不相同。而探针台是检测半导体芯片的核心检测设备之一，可以测量半导体芯片的电压、电阻、载流子迁移率等。而现有的探针台无法同时施加不同真空度及不同气体气氛环境，导致其适用面窄。

技术实现思路

[0003]本技术的目的是提供一种带真空度调节系统的探针台，以解决现有技术中存在的不能同时施加不同真空度及不同气体气氛环境导致其适用范围窄的问题。
[0004]为实现上述目的，本技术的一种带真空度调节系统的探针台采用如下技术方案：一种带真空度调节系统的探针台，包括探针台和真空度调节系统，探针台包括上方开口的壳体和壳体盖，壳体盖与壳体密封配合形成测试腔，测试腔中设置有测试台和测试探针，壳体壁上设置有气体进口和抽真空气口，真空本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种带真空度调节系统的探针台，其特征在于：包括探针台和真空度调节系统，探针台包括上方开口的壳体和壳体盖，壳体盖与壳体密封配合形成测试腔，测试腔中设置有测试台和测试探针，壳体壁上设置有气体进口和抽真空气口，真空度调节系统包括与气体进口连接的气体气氛管路以及与抽真空气口连接的抽真空管路；气体气氛管路上设置有气体流量计，抽真空管路上设置有真空泵和带步进电机的真空蝶阀，真空蝶阀位于真空泵的上游，步进电机连接有控制器，壳体上设置有测量测试腔内真空度的真空计，真空计与控制器连接以实现通过采集真空计的数值进而调节真空蝶阀的开度保持测试腔中具有稳定的真空度。2.根据权利要求1所述的带真空度调节系统的探针台...

【专利技术属性】
技术研发人员：宋风宽，邱迎迎，周昌峰，
申请(专利权)人：郑州科探仪器设备有限公司，
类型：新型
国别省市：