激光处理装置制造方法及图纸

激光处理装置包括：载台(2)，其可借由从表面喷射气体来悬浮搬运基板(3)；激光振荡器，其将激光(20a)照射至基板(3)；及气体喷射口，其用于喷射惰性气体，且配置于俯视下与激光(20a)的焦点位置重叠的位置。载台(2)的表面由上部结构(5a,5b)所构成，上部结构(5a,5b)配置为彼此分离且相对。于俯视下，上部结构(5a,5b)之间的间隙与激光(20a)的焦点位置重叠。填充组件(8)配置于上部结构(5a,5b)之间，且配置为填补上部结构(5a,5b)之间的间隙。填补上部结构(5a,5b)之间的间隙。填补上部结构(5a,5b)之间的间隙。

【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】激光处理装置


[0001]本申请关于激光处理装置。

技术介绍

[0002]国际专利公开号WO2015/174347(专利文献1)当中所记载技术关于一种激光退火装置，其将激光照射至处理对象以进行退火处理。
[0003]现有技术文献
[0004]专利文献
[0005]专利文献1：国际专利公开号WO2015/174347

技术实现思路

[0006]本申请所要解决的技术问题
[0007]本案专利技术人目前研究一种激光处理装置，其一边使处理对象悬浮于激光处理装置的载台上，一边移动此处理对象，并且将激光照射至移动的处理对象。于如此的激光处理装置当中，希望抑制或防止对于处理对象所作的激光处理条件产生变动。
[0008]其他问题及新颖特征将由本说明记载及附图变得显而易见。
[0009]解决问题的手段
[0010]根据一实施方式，激光处理装置具有：载台，其可借由从表面喷射气体来悬浮搬运基板；激光振荡器，其将激光照射至所述基板；气体喷出口，其用于喷射惰性气体，且配置于俯视下与所述激光重叠的位置。所述载台的表面由第一上部结构及第二上部结构所构成，所述第一上部结构及所述第二上部结构配置为彼此分离且相对。于俯视下，所述第一上部结构与所述上部结构之间的间隙，与所述激光的焦点位置重叠，填充组件配置为填补所述第一上部结构与所述第二上部结构之间的间隙。
[0011]专利技术功效
[0012]根据一实施方式，可抑制或防止对于处理对象所作的激光处理条件产生变动。/>附图说明
[0013]图1为表示一实施方式的激光处理装置的示意性构成的剖面图。
[0014]图2为用于说明一实施方式的激光处理装置的动作的俯视图。
[0015]图3为一实施方式的激光处理装置的主要部分俯视图。
[0016]图4为一实施方式的激光处理装置的主要部分剖面图。
[0017]图5为一实施方式的激光处理装置的主要部分剖面图。
[0018]图6为第一研究例的激光处理装置的示意性构造的剖面图。
[0019]图7为第二研究例的激光处理装置的示意性构成的剖面图。
[0020]图8为第二研究例的激光处理装置的主要部分剖面图。
[0021]图9为用于说明第二研究例的激光处理装置的欲解决问题的说明图。
[0022]图10为用于说明第二研究例的激光处理装置的欲解决问题的说明图。
[0023]图11为用于说明第二研究例的激光处理装置的欲解决问题的说明图。
[0024]图12为用于说明一实施方式的激光处理装置的功效的说明图。
[0025]图13为用于说明一实施方式的激光处理装置的功效的说明图。
[0026]图14为用于说明一实施方式的激光处理装置的功效的说明图。
[0027]图15为表示作为液晶显示设备的大画面电视的外观图。
[0028]图16为表示作为液晶显示装置的行动通信装置的外观图。
[0029]图17为流程图，其表示制造一实施方式的显示装置的制造步骤的流程。
[0030]图18为表示一实施方式的显示装置的构成例的图。
[0031]图19为表示图13所示像素的构成例的图。
[0032]图20为表示薄膜晶体管的装置结构的剖面图。
[0033]图21为表示薄膜晶体管的制造步骤的流程的流程图。
[0034]图22为说明通道膜的形成步骤的流程的流程图。
[0035]图23为第一变形例的激光处理装置的主要部分俯视图。
[0036]图24为第二变形例的激光处理装置的载台的俯视图。
[0037]图25为第二变形例的激光处理装置的主要部分俯视图。
[0038]图26为第二变形例的激光处理装置的主要部分剖面图。
[0039]图27为第三变形例的激光处理装置的主要部分剖面图。
[0040]图28为第三变形例的激光处理装置的主要部分剖面图。
[0041]附图标记
[0042]1,101
ꢀꢀ
激光处理装置
[0043]2,102,202
ꢀꢀ
载台
[0044]3,103
ꢀꢀ
基板
[0045]3a,103a
ꢀꢀ
非晶硅膜
[0046]4ꢀꢀ
座板
[0047]5,5a,5b,5c
ꢀꢀ
上部结构
[0048]6ꢀꢀ
表面侧组件
[0049]7ꢀꢀ
基部
[0050]8ꢀꢀ
填充组件
[0051]10
ꢀꢀ
中间板
[0052]11a,11b,11c
ꢀꢀ
粘接层
[0053]12a,12b
ꢀꢀ
空间
[0054]13a,13b
ꢀꢀ
贯穿孔
[0055]20,20a
ꢀꢀ
激光
[0056]20b
ꢀꢀ
激光照射区域
[0057]21
ꢀꢀ
激光产生部
[0058]22
ꢀꢀ
光衰减器
[0059]23
ꢀꢀ
光学系统模块
[0060]23a
ꢀꢀ
反射镜
[0061]23b 密封窗
[0062]24
ꢀꢀ
密闭壳体
[0063]24a
ꢀꢀ
密封窗
[0064]25
ꢀꢀ
处理室
[0065]26
ꢀꢀ
密封箱
[0066]27
ꢀꢀ
开口部
[0067]28
ꢀꢀ
基板加热区域
[0068]29
ꢀꢀ
区域
[0069]31
ꢀꢀ
大画面电视
[0070]32
ꢀꢀ
智能手机
[0071]40
ꢀꢀ
像素
[0072]41
ꢀꢀ
像素部
[0073]42
ꢀꢀ
扫描线驱动电路
[0074]43 信号线驱动电路
[0075]44,45,45A
ꢀꢀ
线路
[0076]46
ꢀꢀ
薄膜晶体管
[0077]47
ꢀꢀ
液晶元件
[0078]50
ꢀꢀ
基板
[0079]51
ꢀꢀ
通道膜
[0080]52
ꢀꢀ
闸极绝缘膜
[0081]53
ꢀꢀ
闸极电极
[0082]54
ꢀꢀ
层间绝缘膜
[0083]55a
ꢀꢀ
源极电极
[0084]55b
ꢀꢀ
汲极电极
[0085]56本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】1.一种激光处理装置，包括：载台，其具有表面及与所述表面相对的里面，并且可借由从所述表面喷射气体以悬浮搬运基板；激光振荡器，其将激光照射至所述基板；及气体喷射口，其用于喷射惰性气体，且配置于所述载台的上方且于俯视下与所述激光的焦点位置重叠的位置，于此，所述载台的表面由第一上部结构及第二上部结构所构成，所述第一上部结构及所述第二上部结构配置为彼此分离且相对，于俯视下，所述第一上部结构与所述第二上部结构之间的间隙，与所述激光的焦点位置重叠，填充组件配置于所述第一上部结构与所述第二上部结构之间，并配置为填补所述间隙。2.根据权利要求1所述的激光处理装置，其中，从所述气体喷射口所喷射出的所述惰性气体不流动至比所述填充组件还要下方处。3.根据权利要求1或2所述的激光处理装置，其中，所述填充组件的上表面位于比所述第一上部结构及所述第二上部结构的个别的上表面还要低的位置。4.根据权利要求3所述的激光处理装置，其中，所述第一上部结构及所述第二结构的个别的上表面的高度彼此相同。5.根据权利要求1至4中任一项所述的激光处理装置，其中，所述激光于所述载台的所述上的平面形状为具有长轴及短轴...

【专利技术属性】
技术研发人员：下地辉昭，伊藤大介，松岛达郎，清水良，
申请(专利权)人：株式会社日本制钢所，
类型：发明
国别省市：