一种超分子组装体及其制备方法和清洗用途技术

本发明专利技术涉及一种超分子组装体、其制备方法和用途、包含其的清洗液及其用途和使用其的蚀刻后半导体晶片清洗方法，所述超分子组装体由环糊精类化合物主体分子与还原性客体分子组成，所述清洗液包括所述超分子组装体、3

【技术实现步骤摘要】
一种超分子组装体及其制备方法和清洗用途


[0001]本专利技术涉及一种超分子组装体及其制备方法和清洗用途，该超分子组装体可用于蚀刻后半导体晶片的清洗领域，能够以金属低腐蚀和优异的残留物去除进行清洗，属于半导体清洗


技术介绍

[0002]在半导体器件的制造工艺中，需要利用光刻胶形成掩膜以达到图案转移的目的。光刻胶经曝光、显影后进行刻蚀工艺，干刻过程中反应离子会在金属顶部和侧壁留下有机聚合物和溅射残留物，后续的灰化处理又会造成新的残留物。残留物去除不彻底或衬底受损会对电阻率、漏电流和良率有重大影响。因此，在湿法清洗过程中，必须对颗粒和残留有机、无机物进行全部移除，并且不改变下层衬底的表面性能。目前的湿法工艺中，常用的为含有羟胺和含氟的清洗液，例如CN103305355A公开了一种氟化物基剥离液，其对于蚀刻后残留物具有良好的移除能力，添加的十二烷酸可在铝形成有序的薄单层，从而使铝表面钝化减少侵蚀。还原性分子如羟胺，对蚀刻后残留物的去除具有非常优异的效果。羟胺类清洗液的典型专利有US6319885、US5672577、US6030932、US6825156、US5419779和US6777380B2等，配方通过不断调整后，对铝的蚀刻速率得到了较好的控制。
[0003]同时，在湿法清洗的过程中，金属腐蚀是应尽可能避免的。清洗过程中涉及的金属腐蚀一般为电化学腐蚀，缓蚀剂的添加可起到抑制金属腐蚀的效果。传统的氮唑类物质由于在金属表面具有良好的吸附性，因此作为金属腐蚀抑制剂得到广泛的应用，例如CN105573069A公开了一种碱性清洗液，其中添加了三氮唑类物质作为缓蚀剂，用以保证低的Al蚀刻速率；CN105527803B公开了一种不含氟化物、羟胺的光刻胶清洗液，其通过连苯三酚及其衍生物与C3
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C6的多元醇复配，可在有效地去除台阶刻蚀(mesa)、钛化钨(TiW)、银(Ag)、金(Au)、二氧化硅(SiO2)等刻蚀后晶圆上的光阻残留物同时，实现了对金属和非金属腐蚀的抑制；JP2019219654A公开了一种以烃类为溶剂，有机磺酸为剥离剂的酸性光刻胶清洗体系，其中的间苯二酚可吸附在金属表面上，形成提供防腐性的钝化层，可以防止在用于从集成电路剥离光刻胶的高温处理中在金属表面上形成聚合物残渣堆积物。
[0004]然而，酚类化合物及氮唑类化合物会对人体和/或环境产生一定的毒性，尤其是酚类化合物，它可使蛋白质变性和沉淀,对皮肤有腐蚀作用,并可吸收入血,对全身各组织细胞产生毒害；此外，酚类物质是美国国家环境保护总署(EPA)列出的129种优先控制的污染物之一，含酚废水需经处理后才可排放，否则会危害水生生物的繁殖和生存。
[0005]通过添加腐蚀抑制剂可较好的抑制清洗过程中的金属腐蚀，此外，由于清洗过程中的金属腐蚀一般为电化学腐蚀，因此还可进一步通过抑制电化学反应的阴极反应来实现这一目的。如下面的反应式所示，金属腐蚀的阳极反应为金属的失电子反应，而阴极反应为氧气的得电子氧化反应。还原性分子如肼、肟类等，极易与体系内的氧气反应，从而降低体系内的溶氧量，进而抑制阴极反应的发生，因此，可实现抑制金属腐蚀的目的。
[0006]阳极反应：M
–
ne
‑
→
M
n+
[0007]阴极反应：O2+4e
‑
+4H
+
→
H2O
[0008]金属腐蚀涉及的原电池反应
[0009]环糊精是一类重要的超分子主体化合物，具有良好的生物相容性和可生物降解性，可通过范德华力、疏水作用、氢键等作用，与多种客体化合物形成超分子组装体。超分子组装体是指由高聚物或低聚物分子自发地构筑成的具有特殊结构和形状的集合体。环糊精分子与客体分子的组装过程中，主体与客体之间并未形成化学键，其结合方式为非共价结合，非共价结合时较弱的动态相互作用，可在较低的能量下完成超分子体系的形成和解离。
[0010]因此，环糊精类超分子组装体在多个领域中得到了深入研究和初步应用，例如：
[0011]CN112535740A公开了一种超分子前驱体、超分子组装体以及调控巨噬细胞极化的方法，该超分子前驱体包括环糊精修饰的聚阳离子和负载于所述环糊精修饰的聚阳离子上的金刚烷
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聚乙二醇
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活性多肽，形成金刚烷
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聚乙二醇
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活性多肽的活性多肽原料为可调控巨噬细胞极化的多肽。该超分子前驱体自身便能有效调控巨噬细胞向M2型巨噬细胞极化，同时，该超分子前驱体还可以负载RNA，使得超分子组装体能够进一步调控巨噬细胞极化，促进巨噬细胞向M2型巨噬细胞转化。
[0012]CN111647165公开了一种基于环糊精树枝状超分子聚合物的制备方法及其应用，所述聚合物为以2,3
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双(β
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环糊精
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1,2,3
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三唑
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氧)
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萘酚、葫芦[8]脲作为主体分子与客体金刚烷
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双联吡啶阳离子通过分子间非共价相互作用构筑的三元树枝状超分子纳米组装体。所述聚合物组装体的制备充分利用糊精和葫芦[8]脲两种大环主体的识别和组装特性，能够有效包封模型底物分子，且具有缓慢释放包封底物分子的作用；制备工艺简单、易于实施且材料成本低，在底物分子包封、缓释等领域有较大的应用前景。
[0013]CN110732027公开了一种刺激响应的靶向聚多糖超分子诊疗组装体及其制备方法，该组装体构筑单元为环糊精修饰透明质酸和二硫键连接的金刚烷萘酰亚胺喜树碱前药，通过环糊精和金刚烷之间的主客体相互作用构筑形成以亲水的透明质酸为外壳、疏水的喜树碱为内核的组装体，组装体形貌为球形纳米粒子，粒径为260
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280nm，对硫醇类还原剂具有很好的刺激响应性。其优点是：1)引入环糊精修饰透明质酸，增强了喜树碱的水溶性、生物相容性和靶向性；2)二硫键作为药物释放刺激响应的位点；3)萘酰亚胺作为荧光响应的报告基团，监测药物释放；4)该组装体构筑方法简单、易于实施且原料成本低，使其在成像介导的癌症治疗领域具有很好的应用前景。
[0014]CN110152017公开了一种基于纳米石墨烯的多功能超分子组装体及其制备方法和应用，所述组装体构筑单元以β
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环糊精修饰纳米石墨烯为主体，金刚烷双四级胺阳离子为客体，通过环糊精和金刚烷间超分子主客体相互作用构筑多功能超分子组装体。通过选择小尺寸纳米石墨烯作为构筑骨架，利用内在的荧光性质将其作为荧光探针来实时监测药物在生物体内的累计、分布和释放；利用金刚烷双四级胺阳离子上的酯键水解形成两性离子结构可很容易实现质粒DNA的键合和释放；通过石墨烯与药物分子的芳环间的π
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π堆积作用将抗癌药物米托蒽醌负载到水溶性超分子组装体上；该多功能超分子组装体制备方法简单、易于实施且原料成本低，使其在癌症的新型治疗领域具有广阔的应用前景。...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种超分子组装体，所述超分子组装体由环糊精类化合物主体分子与还原性客体分子组成。2.如权利要求1所述的超分子组装体，其特征在于：所述环糊精类化合物主体分子为β
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环糊精、2
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羟丙基
‑
β
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环糊精或羧甲基
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β
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环糊精中的任意一种或任意几种，最优选为2
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羟丙基
‑
β
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环糊精。3.如权利要求1或2所述的超分子组装体，其特征在于：所述还原性客体分子为肼、苯肼、碳酰肼、1,3
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二羟基丙酮、N
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异丙基羟胺或肟类化合物中的任意一种，优选所述还原性客体分子为N
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异丙基羟胺。4.如权利要求1
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3任一项所述超分子组装体的制备方法，所述制备方法包括如下步骤：S1：将所述还原性客体分子溶于水中，充分搅拌至完全溶解，得到还原性客体分子水溶液；将所述环糊精类化合物主体分子溶于水中，搅拌使其充分溶解，然后将其缓慢滴加到高速搅拌的所述还原性客体分子水溶液中，滴加完毕后继续搅拌，得到糊状物；S2：将所述糊状物抽滤后，用正己烷洗...

【专利技术属性】
技术研发人员：侯军，申海艳，
申请(专利权)人：江苏奥首材料科技有限公司，
类型：发明
国别省市：