【技术实现步骤摘要】
一种生产硅片用冷热水供水系统
[0001]本技术涉及一种供水系统,尤其涉及一种生产硅片用冷热水供水系统。
技术介绍
[0002]生产硅片采用的硅片清洗机用水和硅片切割机用水分别是热水和冷水。现有硅片清洗机用热水和硅片切割机用冷水需要使用专门的热源和冷源,例如分别通过电加热系统和电制冷系统为硅片清洗和切割提供热水及冷水。加热系统和制冷系统均利用电能作为能量源,双向耗电,造成资源耗费过大,生产成本高。
技术实现思路
[0003]本技术为克服现有技术弊端,提供一种生产硅片用冷热水供水系统,常温水利用双回路循环与冷热水回收装置连接,充分利用冷凝器放出的热量加热常温循环水,用于高温供水,利用蒸发器吸收热量过程降低常温水的温度,用于冷冻供水,供水系统更加节能,用水温度更加符合标准。
[0004]本技术解决其技术问题所采用的技术方案是:
[0005]一种生产硅片用冷热水供水系统,所述供水系统包括补水系统、一级制冷系统、高温水供水管路和冷冻水供水管路,所述一级制冷系统包括依次连接的一级冷凝器、第一电子膨胀阀、一级蒸发器、第一压缩机和第一油水分离器,所述第一油水分离器的出液口与所述一级冷凝器的制冷介质进口连接,所述补水系统包括低温补水管和冷冻回水管,所述低温补水管的出水端设置于所述一级冷凝器中,所述一级冷凝器的出水端通过所述高温水供水管路与硅片清洗系统连接;所述冷冻回水管一端与市政水连接,另一端通入所述一级蒸发器中,所述一级蒸发器出水端通过所述冷冻水供水管路与硅片切割系统连通。
[0006]上述生产 ...
【技术保护点】
【技术特征摘要】
1.一种生产硅片用冷热水供水系统,其特征在于:所述供水系统包括补水系统(1)、一级制冷系统(2)、高温水供水管路(3)和冷冻水供水管路(4),所述一级制冷系统(2)包括依次连接的一级冷凝器(2
‑
1)、第一电子膨胀阀(2
‑
2)、一级蒸发器(2
‑
3)、第一压缩机(2
‑
4)和第一油水分离器(2
‑
5),所述第一油水分离器(2
‑
5)的出液口与所述一级冷凝器(2
‑
1)的制冷介质进口连接,所述补水系统(1)包括低温补水管(1
‑
1)和冷冻回水管(1
‑
2),所述低温补水管(1
‑
1)的出水端设置于所述一级冷凝器(2
‑
1)中,所述一级冷凝器(2
‑
1)的出水端通过所述高温水供水管路(3)与硅片清洗系统(5)连接;所述冷冻回水管(1
‑
2)一端与市政水连接,另一端通入所述一级蒸发器(2
‑
3)中,所述一级蒸发器(2
‑
3)出水端通过所述冷冻水供水管路(4)与硅片切割系统(6)连通。2.根据权利要求1所述的生产硅片用冷热水供水系统,其特征在于:所述供水系统增设二级制冷系统(7),所述二级制冷系统(7)包括依次连接的二级冷凝器(7
‑
1)、第二电子膨胀阀(7
‑
2)、二级蒸发器(7
‑
3)、第二压缩机(7
‑
4)和第二油水分离器(7
‑
5),所述二级制冷系统(7)中各部件的连接关系与所述一级制冷系统(2)中各部件的连接关系相同,所述一级冷凝器(2
‑
1)的出水口与所述二级冷凝器(7
‑
1)的进水口通过管道连接,所述二级冷凝器(7
‑
1)的高温出水口通过所述高温水供水管路(3)与所述硅片清洗系统(5)连接,所述一级蒸发...
【专利技术属性】
技术研发人员:齐伟,陈肇秋,王震祥,刘洋,毛永杰,陈琳,万晓峰,余剑波,
申请(专利权)人:晶科慧能技术服务有限公司,
类型:新型
国别省市:
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